リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

【メタルシート洗浄機】ブランク材の加工油・指紋・鉄粉を一発洗浄！

PR半導体製造装置関連・精密板金加工の洗浄を効率化。危険な有機溶剤や洗剤を…

メタルシート洗浄機『MSW-1000HE』は、スーパーアルカリイオン水（アルカリ電解水）の洗浄効果と還元力により、パンチング・プレス・レーザー加工・バリ取り作業の油・粉塵・汚れなどを一回の通過で洗浄・乾燥し、防錆効果を発揮。 洗浄の通過速度は素材の汚れ具合によって無段階に調整可能。次工程のバリ取り機のブラシに油汚れが付着せず、快適な作業環境を実現。 ★ワークのテスト洗浄を受け付けております...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Eプラン

イオンビーム描画装置OMFシリーズ

ビューラー・ライボルトオプティクス（旧OPTEG社）のイオンビーム描画…

います。 研究開発用途から大量生産の大型設備まで様々な真空チャンバーサイズを取り揃え、お客様の多様なニーズにお応えいたします。 2018年より新たに真空中で超精密光学レンズの表面研磨をイオンビームにて行うIBF装置を世界に展開していきます。 【特長】 ■精密光学に用いられる各種基板材料の表面をイオンビームで処理加工しλ/200の超精密研磨が可能！ ■レーザー光学部品をはじめ...

メーカー・取り扱い企業： ビューラー株式会社

ミリング装置用アンペア級イオン源

MEMS加工装置用イオン源に！ご要望に合わせたオーダーメイドが可能です

当製品は、大面積イオンビームによる高速ミリング処理に 適用できる大型イオン源です。 耐熱/低スパッタ率電極材料の採用により、低エネルギー アンペア級イオンビームを発生。 ご要望に合わせオーダーメイドいた...

メーカー・取り扱い企業： ノベリオンシステムズ株式会社

ECRラインビームイオン源『ELBS-150』

ビームエネルギー100～2,000eV！独創的な磁路設計による均一長尺…

『ELBS-150』は、反応性イオンビームミリング装置に適用できる ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型のラインビームイオン源です。 新開発の大型同軸導入端子(7/16型)による大電力マイクロ波駆動。 磁気ヘッドのミ...

メーカー・取り扱い企業： ノベリオンシステムズ株式会社

リニアイオンソース『LION』

頑丈でスケーリング可能な設計！高エネルギーで強く集束されたビーム

『LION』は前処理と表面改質に適したコンポーネントです。 アルゴン処理で炭化水素を除去し、必要なら酸素追加が可能。イオンビームは 強く収束され、高エネルギー化しています。 物理的エッチングを必要とするインライン製膜システムに理想的なデバイスで、 シンプルで頑丈な設計のため、イオンソーズは容易にスケールアッ...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

表面処理装置　スパッタ用イオン銃　「40C1型」

表面処理装置　スパッタ用イオン銃

試料表面をクリーニングするためのコンパクトで簡便なイオン銃です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート

FIBイオン銃用＋30KV高圧電源・標準タイプ　IB303XS

開発期間の短縮にも役立つ、FIBイオン銃用の高圧電源装置「IB303X…

本製品は、加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源で構成されております。 ●お客さまの装置に合わせてカスタムが可能です。お気軽にお問い合わせください。...本製品は、加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源で構成されております。 ●お客さまの装置に合わせてカスタムが可能です。お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： フューテックス株式会社

電磁界解析ソフト　【μ-BEAM　3次元軌道解析ソフト】

静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…

μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです。 【特徴】 ・電界および磁界中の荷電粒子の軌道解析 ・荷電粒子の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧…

ります。 主なアプリケーション分野： 高密度 ■ スパッタリング装置 ■ ドライエッチング装置 ■ 露光装置用温度測定器 ■ 測長SEM他検査測定装置 高電圧 ■ イオン注入装置 ■ 高電圧・高周波電源装置 ■ PZT駆動装置 ■ 測長SEM他検査測定装置 気密（高真空）仕様 ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

表面処理装置　走査型イオン銃　「40E1型」

表面処理装置　走査型イオン銃

２段の射出レンズにより、イオンビームのスポット径が容易に調整できる収束型イオン銃です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート

３次元イオンビーム軌道解析ソフトウエア／μ-Beam

静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…

μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです。 【特徴】 ・電界および磁界中の荷電粒子の軌道解析 ・荷電粒子の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

FIBイオン銃用＋30KV高圧電源・高精度タイプ　IB303XP

開発期間の短縮にも役立つ、FIBイオン銃用の高圧電源装置「IB303X…

本製品は、加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源で構成されております。 ※左写真は、オプションのコントローラを本体パネルに組み込んだ例です。 ●お客さまの装置に合わせてカスタムが可能です。お気軽にお問い合わせください。...本製品は、加速電源、フィラメント電源、サプレッサ電源、エキストラクタ電源で構成されております。 ※左写真は、オプションのコントローラを本体パネ...

メーカー・取り扱い企業： フューテックス株式会社

磁場解析ソフト　【μ-BEAM　3次元軌道解析ソフト】

静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…

μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです。 【特徴】 ・電界および磁界中の荷電粒子の軌道解析 ・荷電粒子の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

軌道解析ソフト　【μ-BEAM　3次元軌道解析ソフト】

静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…

μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです。 【特徴】 ・電界および磁界中の荷電粒子の軌道解析 ・荷電粒子の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

電場解析ソフト　【μ-BEAM　3次元軌道解析ソフト】

静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…

μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです。 【特徴】 ・電界および磁界中の荷電粒子の軌道解析 ・荷電粒子の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

電界解析ソフト　【μ-BEAM　3次元軌道解析ソフト】

静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…

μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです。 【特徴】 ・電界および磁界中の荷電粒子の軌道解析 ・荷電粒子の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

電磁場解析ソフト　【μ-BEAM　3次元軌道解析ソフト】

静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…

μ-Beamは、空間電荷を考慮した荷電粒子の３次元軌道解析モジュールです。イオンビーム制御をシミュレーション出来ます。μ-Beamはミューテックの電磁界解析システムμ-ＭＦの中の軌道解析モジュールです。 【特徴】 ・電界および磁界中の荷電粒子の軌道解析 ・荷電粒子の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

【資料】真空コネクタソリューション

今後の装置に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「お客様の多様な…

ります。 主なアプリケーション分野： 高密度 ■ スパッタリング装置 ■ ドライエッチング装置 ■ 露光装置用温度測定器 ■ 測長SEM他検査測定装置 高電圧 ■ イオン注入装置 ■ 高電圧・高周波電源装置 ■ PZT駆動装置 ■ 測長SEM他検査測定装置 気密（高真空）仕様 ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社