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DLCコーティング, DLC装置「低温成膜」「はがれにくい」
PRプラズマイオン注入方式により、様々な形状の金属、樹脂、ゴム素材にダイヤ…
DLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティングは、プラズマイオン注入成膜装置を使用し低摩擦なDLC膜を成膜します。 【特徴】 ■複雑形状のワークにも対応可能 ・ワーク自体をプラズマの生成源とすることで形状に沿ってプラズマが形成され、 複雑な形状や内部にもガスが回り込み成膜が可能 ■潤滑性に優れる ・低摩擦係数膜の形成により潤滑性に優れる ■金属、アルミ以外に樹脂やゴムに...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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【メタルシート洗浄機】ブランク材の加工油・指紋・鉄粉を一発洗浄!
PR半導体製造装置関連・精密板金加工の洗浄を効率化。危険な有機溶剤や洗剤を…
メタルシート洗浄機『MSW-1000HE』は、スーパーアルカリイオン水(アルカリ電解水)の洗浄効果と還元力により、パンチング・プレス・レーザー加工・バリ取り作業の油・粉塵・汚れなどを一回の通過で洗浄・乾燥し、防錆効果を発揮。 洗浄の通過速度は素材の汚れ具合によって無段階に調整可能。次工程のバリ取り機のブラシに油汚れが付着せず、快適な作業環境を実現。 ★ワークのテスト洗浄を受け付けております...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社Eプラン
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日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です…
・真空装置部の大型が容易に可能で最大長さ4m、直径1.2mの大型装置の納入実績もあります ・完全自動運転のためコスト低減が可能です ・DLC成膜のほかに簡易なイオン注入も可能で新しい材料の開発も可能です ・自転公転機構やヒーターが必要ないため真空装置内のパーティクルの発生を最小限に抑えることが可能です...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部
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先進プラズマ技術で微細加工の未来を拓く!当社の受託サービスについてご紹…
当社では、「プラズマ・イオンビームに関する新技術開発」を 行っております。 お問合せをいただいた後、詳細な打ち合わせと提案書・見積もりを 提出させていただき、ご契約後、開発装置設計を開始。 設計にご承認いただきま...
メーカー・取り扱い企業: ノベリオンシステムズ株式会社
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微細加工装置に適用可能!ECR放電型の高出力プラズマ源をご紹介します
クロトロン共鳴) 放電型の高出力プラズマ源です。 複数配置により大面積プラズマを実現するモジュールコンセプト。 ドライエッチング装置やアッシング装置のソースパワーをはじめ、 反応性イオンビーム加工装置(RIBE)のイオン源などに応用できます。 【特長】 ■独創的な磁石構成による大容積ECR磁場 ■強力な冷却システムによるkW級大電力動作 ■メタルコンタミフリーの誘電体...
メーカー・取り扱い企業: ノベリオンシステムズ株式会社
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ダメージレスで接着性&濡れ性向上!大気圧広幅低温プラズマ処理機
デモ機有り! 初回は無償でサンプル作成いたします。 安価なガスで低温…
高周波発振機によりガスプラズマを発生させ、活性化したイオンを基材に照射して表面活性・クリーニングを行います。特許取得済みの特殊形状電極を使用することで、従来の表面処理よりも均一な低温プラズマ処理を可能にしました。 電極自体が小型のために既存ラインへ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社
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高機能・低価格 タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あら…
特 徴 ★ホローカソード試料台による低電圧放電CVD法(特許)を採用、試料にやさしく金属オスミウムをコーティングします。 ★ホローカソード円筒内全体にオスミウムプラズマイオンが発生しますので試料の大きさ、高さの影響を受けません。 ★プラズマ放電に最適な真空度に達してから、コーティング中のみオスミウムガスを注入するので結晶オスミウムの消費を節約できます。(1g使用時1...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社真空デバイス
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ホットワイヤーソース『HWCV/DCAT-CVD/ICVD』
触媒CVDおよびiCVDアプリケーション向け!統合されたガス分配システ…
ワイヤーが取り付けられた分割ソース設計 ■真空フランジは蓋またはドアから外さず作業可能 ■ワイヤーは通電の有無を選択できるので、製膜装置の生産稼働時間延長に役立つ ■プラズマ不使用プロセス:イオン衝撃や、磁場で加速された電子がないため、薄膜内部 応力が低い、滑らかでコンフォーマルな膜を製膜 ■本質的に異物発生無し ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい...
メーカー・取り扱い企業: フォンアルデンヌジャパン株式会社
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プロセス適合のために電極間隔を自由に調整可能!低放電電圧で穏やかな処理…
『HCS』は、ホローカソードとアノードの組込みが特長の表面処理 コンポーネントです。 電子はカソードの深い溝壁の電位降下間に制限されています。これにより、 ガスのイオン化が促進され、プラズマ密度も増加。溝の中にプラズマを押し込むと、 電極プレートの下に非常に強力で明るいプラズマが生まれます。 シンプルでスケーリング可能な設計で頑丈の挙動および簡単なカスタ...
メーカー・取り扱い企業: フォンアルデンヌジャパン株式会社
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Openair-Plasmaによる完璧な品質自動化そしてコスト管理!
な品質を確実に達成することができます。 基板コストを大幅に削減しながら、細部まで鮮明な印刷が可能です。 【特長】 ■Openair-Plasmaを活用して物理洗浄(サンドブラスト+イオン)で 深層までクリーニング ■表面張力を高め、塗料の付着と濡れ性を最適化し長期的な安定化を実現 ■化学残留物、溶剤を含む汚水を発生させない ■完全な乾式工程 ■自動監視機能によるフルオ...
メーカー・取り扱い企業: 日本プラズマトリート株式会社
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製膜スピードUP&高い密着性!導入コストや維持費も低いDLCコーティン…
『CARBOZEN ハイブリッドPVDシステム』は、製膜スピードを飛躍的に向上させた新型DLCコーティング装置。優れた密着性が特長です。 リニア・イオン・ソースとUBMスパッタ、FCVAソースの適切な組み合わせで、基材との密着性が高い、様々なDLC膜をコーティングすることができます。 【特長】 ■装置とオペレーターのためのロック機能 ■...
メーカー・取り扱い企業: パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所
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変寸のない低温処理で、後工程を減らし、貴社製品の長寿命化に貢献します。
Rubig製プラズマ窒化装置は、高度な温度制御システムによって、 量産性と高品質性を兼備しており、貴社製品の離型性・潤滑性・耐摩耗性・耐腐食性等の向上に好適です。 プラズマ窒化処理は、イオン窒化とも呼ばれています。 減圧下で水素・窒素雰囲気中で処理部品を陰極、炉壁を陽極として電圧を印加してグロー放電を発生させ、表面に窒化層を形成させる方式です。歪みが少なく、後工程が不要となります...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社
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アジア有力企業において多数の実績あり。
を完全に乖離します。 処理はラジカル成分のみで実施します。 ■処理対象 対象ワーク表面の改質(接合強度の向上、密着性の向上) 対象ワーク表面の有機物除去 【特徴】 ■電子・イオンのアタックがなくラジカルのみでの化学的な処理のため処理膜へのダメージを低減 ■電極形成後の導電フィルム・ガラスの処理に最適 ■各種反応ガスの使用が可能: CDA(Clean Dry Air),...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社日立ハイテク
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