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19件 - メーカー・取り扱い企業
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半導体ウェーハ搬送システムに関するグローバル市場分析、市場規模、販売量…
2023年8月14日に、QYResearchは「グローバル半導体ウェーハ搬送システムに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。半導体ウェーハ搬送システムの市場生産能力、生産量、...
メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research
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最大16個のFOUPストッカー！300mmウェーハ対応のラージバッチ縦…
『VF-5900』は、大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現した フラッグシップモデルのラージバッチ縦型炉です。 300mm・12インチウェーハ最大100枚、FOUP16個の一括処理が可能。 LGOヒータの採用で低温～中高温まで優れた温度特性を発揮します。 シリコンウェーハ以外にもIGBT、ポリイミド、薄ウェーハなどの熱処理に 適しています。 【特長】 ■ラージバッ...
メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
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自動搬送システムを搭載！各種難削材料ウェーハを高精度に研削加工できます
『R631DF』は、高精度研削に対応する一頭超精密平面研削盤です。 ビルトインサーボモータ式のエアースピンドルを採用。 高剛性(μm／300N)エアー静圧軸受けで、高ダンパー効果がございます。 また、従来のラップ工程を研削工程に置き換え、高効率・全自動化を 実現しました。 【特長】 ■立軸形 ■各種難削材料、ウェーハ研削に対応 ■自動搬送システムを搭載 ■各種難削材料...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェイテクトマシンシステム 旧）光洋機械工業株式会社
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ワークの高さを自動で認識できるプロトスキャリア対応自動移載システム
『SSY-20010』は、プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送する 自動移載システムです。 プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載でき、ベルヌーイチャックを 搭載しているので、薄物ウェーハにも対応しています。 また、ウェーハとプロトススペーサ(層間紙)の自動識別が可能で、ワークの高さを 自動で認識します。 【特長】 ■プロトスキャリア内の薄物ウェ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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R&D～量産まで使用可能な～Φ200mmウェーハ対応の自動搬送搭載縦型…
『VF-3000』は、後工程ユーザーにもご採用いただける低コストを実現した ミニバッチ縦型炉です。 ミニバッチ、50～75枚の選択処理が可能なほか、～Φ200mmまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 超高温処理が可能でパワーデバイス製造やVCSEL用縦型熱処理システムに 適しています。 【特長】 ■ミニバッチ、50～75枚処理の選択が可能、R&Dから量産ラインに対応 ...
メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
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PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトッ…
ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。 剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄～スクラブ洗浄～リンス洗浄～吸水ローラ乾...
メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社
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カセット搬送システム
チルト機構によりウェーハのズレがなくスムーズなカセット搬送が可能 様々なカセット仕様にもカスタマイズ対応 バッチや枝葉処理の装置どちらにも対応...被搬送物（※1） 200mmウェーハ用オープンカセット（25段） 動作範囲 アーム (R軸) 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) カセットチルト角度 (チルト軸) 590mm −350mm 200mm 980mm...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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450mmウェーハ搬送システム
450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能 可搬重量：アーム第3関節換算5k...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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300mm(12インチ)ウェーハ対応の半導体製造向けクリーンオーブン
『SO2-12-F』は、FPD製造装置のベストセラー、枚葉式クリーンオーブンの 技術を取り入れた半導体製造向けのクリーンオーブンです。 300mm(12インチ)FOUP対応で全自動での運用が可能。50枚/1チャンバーの 処理が可能で、2チャンバーまでの増設ができます。 ポリイミドキュアなどの低温処理で高スループット、短タクトタイムを実現します。 【特長】 ■FOUP対応全自...
メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
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ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応 卓上ローダーシ…
ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能 ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現 ...○被搬送物 ～1...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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搬送ロボットは、確かな実績と高い品質のジェーイーエルにおまかせください…
ジェーイーエルは、1993年の創立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶硝子基板搬送用ロボットの専業メーカーとして、お客様のより良い製品づくりのお手伝いをして参りました。おかげさまで国内外1,800社を超えるお客様とお取引をいただいており、確かな実績と高い品質が「搬送ロボットはジェーイーエル」と言わる所以です。 弊社では生産システムと連携して一貫した工程管理を行い、短納期を実現しております。自...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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コンタクトアニール用ランプアニール装置『RLA-3100-V』
GaN基板の処理も可能！コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装…
『RLA-3100-V』は、6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応可能な コンタクトアニール用ランプアニール(RTP)装置です。 耐真空設計された石英チューブの採用でクリーンな真空(LP)環境、 N2ロードロック雰囲気での処理が可能です。 また、自動ウェーハ載せ替え機構を装備し、C to C搬送を実現します。 【特長】 ■～6インチまでの幅広いウェーハサイズに対応 ■自...
メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
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プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました…
プロトス、カセット間をダメージなく自動移載 ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応 ウェーハとプロトススペーサを自動識別 ワークの高さも自動認識 複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応... 対応カセット 150mmプロトスケース, 150mmカセット 搬送物 150mmシリコンウェーハ, プロトススペーサ（挿間紙） ワークサイズ、プロトス数、カセット数、アライ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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EFEM
300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。 水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能 ロ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…
従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク無し ◆ 超低エネルギー搬送技術 ◆ 超低ランニングコスト ◆ 基材へ余計な負荷をかけずに搬送・低破損率 ....
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社
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R&D～量産まで使用可能！3～6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉
『VF-3000H』は、超高温処理が可能で、パワーデバイス製造に適した 活性化アニール炉です。 ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ～6インチまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまで お使いいただけます。 また、活性化後の炭化除去も可能な「VF-5100」もご用意しております。 【特長】 ...
メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
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お客様の要望を的確に反映した機械の開発・設計を、優秀な技術者が実現いた…
当社では、省力機械（工作機械、自動組立装置）、 物流関連設備（自動倉庫・搬送システム）、半導体・液晶製造装置、 包装関連設備など、様々な業種の生産設備を設計しております。 お客様の要望だけでなく、付加価値を付けられるような設計を心がけ、 お客様に信頼されるより良いサポーターとなれるよう業務を行います。 【業務内容】 ■専用機・設備設計：様々な業種の生産設備の構想設計・詳細設計、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイワイテック
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ロード/アンロードシステム
LED用をはじめとする新しい搬送方式のウェーハ用搬送システムで、複数枚処理用のサセプタ・トレイへのウェーハの自動供給、自動回収が可能です。 ウェーハ用、サセプタ用にそれぞれアライナを搭載し、ウェーハのオリフラ位置やサセプタのセンタリング及びインデキシングを行います。...ワークサイズ、カセット数、アライナなど各種対応致します。 仕様につきましてはお問合せ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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200・300mmウェーハ対応ソルダーバンプ形成用N2リフローシステム
『NRY-103V6W/LU』は、メッキバンププロセス後のウェットバック装置としても 対応可能な200・300mm印刷バンプ対応N2リフロー装置です。 プリヒートゾーンのホットプレートピンは、当社独自の昇降式ピンを採用し、 温度プロファイルの2段階加熱を可能にしております。（PAT.P） 【特長】 ■加熱方式は、ホットプレートと上部遠赤外線ヒータを併用 ■ホットプレートは、ウェ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社大和製作所
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