リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

水漏れをセンサーと検知器で確実に把握『3M漏水検知システム』

データセンター、病院、マンション、半導体等の製造現場などの装置内や配管…

イントセンサーは漏水が想定される特定個所や、漏液が溜まるドレインなどに取り付けることで、ピンポイントで効率的な監視が可能となります。また、漏水検知時にセンサーについた液体は、センサーに染み込まずにウエス等で簡単に拭き取れる構造なので、漏水発生後でも通常監視状態にスムーズに復帰できます。 【固定具】 固定具は両面粘着テープ付きで、3M製センサーを確実に固定できます。...

メーカー・取り扱い企業： スリーエム ジャパン株式会社

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

し除去します。 ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長 ・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着がありません。 ・有機溶剤を使用した薬液洗浄方式 ・縦型回転機構による薬液高回収率の実現 ・1,000mm×1,500x2,000...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室