エッチング装置 | イプロスものづくり

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

イオンビームミリング・エッチング装置-伯東/エヌエス

Au, Pt, 磁性材料等の難エッチング材料の加工に最適なドライエッチ…

イオンビームミリング装置は、ドライプロセスでの微細加工装置として、研究開発から生産まで幅広い用途で使用されています。化学反応を伴わない物理的なエッチングプロセスの為、Au, Pt, 磁性材料、金属多層膜なども簡単に加工可能です。【特徴】（１）難エッチング材料を微細加工可能（２）金属多層膜をワンステッププロセスで加工可能（３）自公転ステージにより、複数ウエハを均一に同時処理可能 ...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応しコンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCのグ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【エッチング装置の冷却に最適】アピステのチラーPCUシリーズ

アピステのチラーはノンフロン・高耐久・超ワイドレンジの3シリーズ展開！…

【エッチング装置の冷却に最適】ステージの高精度な温調と、熱源であるランプへの安定した冷却水の供給が可能です。これによりロット間のばらつきを最小限に抑え、品質向上を実現します。ーーーーーーーーーー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アピステ

【英文市場調査レポート】半導体エッチング装置の世界市場

『無料サンプル』進呈中！【PDFダウンロード】ボタンからお申し込み方法…

半導体エッチング装置の世界市場規模は、2028年には333億米ドルに達し、予測期間中にCAGR8.4%の市場成長率で上昇すると予測されています。また、少量多品種生産が進む中、半導体エッチング装置には安定した需...

メーカー・取り扱い企業：株式会社グローバルインフォメーション

【英文市場調査レポート】半導体エッチング装置の世界市場

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世界の半導体エッチング装置の市場規模は、2022年に227億3,454万米ドルとなり、2029年には493億3,380万米ドルに達すると予測され、予測期間中 (2023年～2029年) に11.22%のCAGRで成長す...

メーカー・取り扱い企業：株式会社グローバルインフォメーション

【英文市場調査レポート】中国のエッチング装置輸入の分析

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得る工程で、IC製造の前工程の一つです。エッチング工程は主にドライエッチングとウェットエッチングに分けられ、半導体エッチングではドライエッチングが主流を占めています。当レポートでは、中国のエッチング装置輸入市場について分析し、全体的な輸入量・輸入額や主な輸入元 (2018年～2022年)、種類別の詳細動向、輸入価格の推移、主な市場促進・抑制要因、主要企業のプロファイルと戦略、今後の輸入動向の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社グローバルインフォメーション

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の表面処理などの特殊プロセスにも...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

エッチングマシン

塩化第２鉄溶液などを用いたウエットエッチングマシンです。汎用コンベ…

ローラコンベア型の汎用エッチングマシンからシールラベル用抜刃を製作する特殊エッチングマシン、グラビア印刷用シリンダロールのエッチング製版装置、透明導電体のエッチングなど様々な処理方式・基材に対応したエッチングマシンを製作いたします。...塩化第２鉄溶液などを用いて金属エッチングをおこなう装置です。【処理方式】・ロールコンベア搬送式（汎用）・ロール to ロール式...

メーカー・取り扱い企業：進和工業株式会社本社工場

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけでなくＣｕ薄膜などの難エッチング材のエッチングに対応。新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。３００ｍｍウェハや積層基板、最大１ｍ□までの基板のメタルエッチングに対応。近年ニーズが高まっている半導体周辺部材（フォトマスク、高密度実装基板）をカバーする従来のプラズマエッチングにとらわれない新型エッチング装置

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

ICP エッチング装置

ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！

8"工程用Pishowシリーズ：・Pishow：シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能；幅広く温度の工程に対応可能；エッチングの速度と均一性を精密制御； BOSOH工程に対応可能・Pishow A： HEMT工程のソリューションを提供、SiNx、TiN、pGaN、AlGaN層の特別処理が可能； pGaNの高エッチング選択比を実現、AlGaN層に低損失制...

メーカー・取り扱い企業：日星産業株式会社

【調査資料】化合物半導体用ドライエッチング装置の世界市場

化合物半導体用ドライエッチング装置の世界市場：物理的エッチング、化学的…

本調査レポート（Global Dry Etching Machine for Compound Semiconductor Market）は、化合物半導体用ドライエッチング装置のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の化合物半導体用ドライエッチング装置市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】誘電体エッチング装置の世界市場

誘電体エッチング装置の世界市場：酸化物エッチング、窒化ケイ素エッチング…

本調査レポート（Global Dielectric Material Etch Equipment Market）は、誘電体エッチング装置のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の誘電体エッチング装置市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】半導体用湿式エッチング装置の世界市場

半導体用湿式エッチング装置の世界市場：シリカ湿式エッチング装置、メタル…

本調査レポート（Global Semiconductor Wet Etch Equipment Market）は、半導体用湿式エッチング装置のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の半導体用湿式エッチング装置市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】乾式エッチング装置の世界市場

乾式エッチング装置の世界市場：誘導結合プラズマ（ICP）、容量結合プラ…

本調査レポート（Global Dry Etching Equipment Market）は、乾式エッチング装置のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の乾式エッチング装置市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】半導体用エッチング装置の世界市場

半導体用エッチング装置の世界市場：湿式エッチング装置、乾式エッチング装…

本調査レポート（Global Etch Equipment in Semiconductor Market）は、半導体用エッチング装置のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の半導体用エッチング装置市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】半導体エッチング装置の世界市場

半導体エッチング装置の世界市場：ドライエッチング装置、ウェットエッチン…

本調査レポート（Global Semiconductor Etch Equipment Market）は、半導体エッチング装置のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の半導体エッチング装置市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【英文市場調査レポート】ドライエッチング装置の世界市場

『無料サンプル』進呈中！【PDFダウンロード】ボタンからお申し込み方法…

世界のドライエッチング装置の市場規模は、2022年から2027年の予測期間にCAGR6.88％で成長する見通しで、2021年の177億6000万米ドルから、2027年には264億7000万米ドルに達すると予測されていま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社グローバルインフォメーション

プラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』

表面の単原子層のエッチング！エッチング対象物へのダメージを抑える事が出…

当社が取り扱うプラズマベースの原子層エッチング装置 『Takachi ALE』をご紹介します。 Takachiシステムは、ALEキットを搭載することにより、 ALEプロセスが可能です。表面の単原子層毎にエッチングしていく為、...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

卓上タイプエッチング・成膜装置『Plasma POD シリーズ』

教育機関や小規模施設などに！タッチパネルで簡単操作が可能な卓上型システ…

)】 ■PECVD装置・SiN3膜形成・SiO2膜形成・サンプルサイズ最大240mm ■スパッタ装置・金属膜・有機膜・サンプルサイズ最大150mm ■反応性イオンエッチング装置 ・表面処理・故障解析・サンプルサイズ最大200mm ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

実験用ドライエッチング、成膜装置

ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応…

当社は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。【ドライエッチング機種（一例）】 Pishowシリーズ： ■シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に...

メーカー・取り扱い企業：日星産業株式会社

ドライエッチング装置

MRAM用ドライエッチング装置！

反応性イオンエッチング装置(RIE)、誘導結合プラズマ (ICP)エッチング装置、イオンビームエッチング装置(IBE)等のドライエッチング装置など各種取り揃えております。...

メーカー・取り扱い企業：日星産業株式会社

【調査資料】ウェットエッチング装置の世界市場

ウェットエッチング装置の世界市場：固定型、携帯型、鉄精錬業、機械工業、…

本調査レポート（Global Wet Etching Equipment Market）は、ウェットエッチング装置のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のウェットエッチング装置市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

大型プラズマエッチング装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

実績豊富なバッチタイププラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ」をベースとし最大Φ６００ｍｍもしくは５００ｍｍ□までステージを拡大。大型ステージでファインピッチのエッチング・各種有機物のアッシング・表面改質・クリーニングなど幅広いプロセスに...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

マイクロチャネル付コールドプレート

精密機械、小型放熱システムを要する装置にはマイクロチャンネルを有するワ…

精密機器の高度化は熱との戦いです。特に情報通信機器は5Gに移行し、使用される様々な部品が高精度化、複雑化、集積化してます。これに伴い部品自体から発せられる熱をどのように放熱するかが課題になってきてます。【ご提案】精密機械、小型放熱システムを要する装置にはマイクロチャンネルを有するUnion Cooling Techをご提案いたします。複雑な流路形成も『エッチング＋拡散接合』の工法によるマ...

メーカー・取り扱い企業：ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社本社

『エッチング装置、洗浄装置』

最適なノズル配置！あらゆる幅・厚みのワークに対応可能なエッチング装置！

『エッチング装置、洗浄装置』は、エッチングの工程を、巻き出しからエッチング、水洗い、乾燥、巻取りまでを一連で行う装置です。開発装置から量産装置に対応したオーダー設計です。【特長】 ■エッ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンワマシナリー

プラズマ装置(表面改質・エッチング・成膜)のレンタル・受託処理

今なら無償デモ中！各種プラズマ装置のレンタルや受託処理を承ります(7日…

表面改質(洗浄・表面改質・親水化・接着強化)やエッチング・製膜に優れた各種プラズマ装置のレンタル・受託処理・研究・開発など様々なニーズにお応えしております。プラズマ表面処理は、素材の表面に独自の個性をもたせ、製品の高機能化、高付加価値化を図る次世代表面処理技術として、現在、幅広い分野(エレクトロ二クス～医療・バイオなど)の応用技術として注目されています。魁半導体では創業以来の知見を...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体

ICPプラズマエッチング装置『SERIO』

平滑なエッチング面と高い加工精度を実現！サンプルテスト対応いたします！

『SERIO』は、Si深掘り、石英の垂直加工、有機膜のエッチングなど幅広い用途に対応する高密度プラズマエッチング装置です。実績豊富なICPプラズマ電極を搭載し、平滑なエッチング面と高い加工精度を実現。スキャロップの無い平滑なエッチングが可能で、ナノインプリントモールドの作成に適しています。平滑な...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50Ｗ型で、操作も簡単、気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解析用試料の前処理（配線の露出）から、各種プラズマ加工に幅広く対応致します。また小型のため、スペースの限られた研究...

メーカー・取り扱い企業：ナラサキ産業株式会社メカトロソリューション部　機能材料課

【調査資料】金属＆ハードマスクエッチングシステムの世界市場

金属＆ハードマスクエッチングシステムの世界市場：シリコンエッチング装置…

場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チャネル分析などの情報を収録しています。金属＆ハードマスクエッチングシステム市場の種類別（By Type）のセグメントは、シリコンエッチング装置、誘電体エッチング装置、金属エッチング装置、ハードマスクエッチング装置を対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、フロントエンドオブライン（FEOL）、バックエンド...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【半導体】製造装置用の部品

最短半日見積り／半導体関連部品の製作実績が多数！部品１つから調達可能…

半導体関連装置では、ワイヤボンディング（ボンダ）装置、フォーミング機・専用治具、モールディング装置、レーザーマーカ、X線検査装置、スパッタリング装置、エッチング装置 等半導体製造装置に必要な多品種少量の精密機械加工部品を1個から調達する事ができます。 ◎独自の強み・取引企業数は3、420社以上！　半導体製造メーカー様との取引多数あり！・多...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エージェンシーアシスト京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

エッチング装置

塩化第二鉄及び、塩化第二銅を使用し現像後の銅箔をエッチングする装置【特徴】 ○Lane構成：2Lane ○搬送速度：2.0m/min ○材料幅：TAB/CSP/COF用 35mm〜160mm（FPC用　250〜300mm） ○材料厚み：PI 25μm〜 ○加工面：片面 ○装置構成：巻出〜エッチング〜水洗〜液切り〜乾燥〜巻取 ○ユーティリティー　・電源　AC200V...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

半導体故障解析用プラズマ・エッチング装置

ICの絶縁層を除去！フットプリントが小さく、費用対効果の高いシステム

当社では、半導体故障解析用プラズマ・エッチング装置を取り扱っております。電気的な特性を維持するために金属層を侵食させない、マルチレベルのデプロセッシングから、金属エッチングを含む、高い選択比で損傷のないプロセスまで、RIE...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ロールtoロール エッチング装置

薄物製品を当社の搬送技術により、キズ、シワなく搬送し連続処理をする装置…

『ロールtoロール エッチング装置』は、薄物製品を当社の搬送技術により、キズ、シワなく搬送し連続処理をする装置です。搬送速度は、常用5.0m/minです。対象とする樹脂フィルム材質（アルミ・銅・ステンレス等...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

HCD型高密度プラズマエッチング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓ…

従来型の容量結合型プラズマエッチング装置にくらべ一桁高い密度のプラズマを実現。高周波アンテナや磁石を使用せず、電極構造のみの工夫によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置（CCP型・ICP型）とのハード上の互換性も高く低...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

基板制作装置　スプレー式小型エッチング装置

まだ手動ですか？卓上サイズで試験・実験に適した『スプレー式小型エッチン…

『スプレー型小型エッチング装置』は、プリント基板などのエッチング処理や、現像処理をする卓上サイズの基板制作装置です。エッチング液（塩化第二鉄）の化学反応を使って、銅箔を回路パターン通りにエッチング（化学腐食、蝕刻）加工...

メーカー・取り扱い企業：サンハヤト株式会社

エッチング装置（2）

搬送速度は1.5m/min、材料幅は350mmまで対応！薬液温度・圧力…

当装置はFPC等の薄い枚葉基板をロールtoロール搬送し連続にてエッチングを行います。装置は、巻出（基板投入）～ラミネート～エッチング～水洗～酸洗～水洗～巻取（基板剥がし）～水洗～乾燥～基板積載の構成。また搬送機構以外にも薬液温度・圧力を精度よくコントロールを行います。【仕様】 ■Lane構成：1Lane ■搬送速度：1.5m/min ■材料幅：MAX350mm...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

PECプロセス装置

シンプル構造で低価格を実現！GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹…

当社が取り扱う『PECプロセス装置』をご紹介します。光源・波長はUVA、UVCから選択でき、エッチング溶液加熱により高速な深堀エッチングが可能。タッチパネル入力でエッチングリンスをパラメータ設定できます。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。【特長】 ■10mm□小片チップからφ6インチウェハ ■GaN 低ダメージエッチングが可能 ■シンプル構造で低価格...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三明本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

イオンビームエッチング・ミリング（IBE）装置

高レート・高信頼性を実現した生産用イオンビームミリング装置

AVP Technology社製イオンビームエッチング装置はICPイオンソースを搭載した高均一・高エッチングレート、かつ稼働再現性・安定性に優れた製造装置です。他社IBE装置に較べ卓越した制御システムにより、製造設備に必須である安定稼働を実現してい...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

光学式エンコーダ向け微細加工スリットソリューション

小型高精度の光学式エンコーダには、高精度製作が可能なエッチング、または…

産業用ロボットが日本で初めて登場したのが1969年。半世紀以上経った2022年の今ではロボットと人が共存し始める協働ロボットの導入も定着し、その活躍の場は製造工場を主とした従来の産業用ロボットのフィールドのみならず、農業、飲食業といった分野へと広範囲に及んでいます。ロボット制御の重要な技術の一つである位置検出。その精度を高めてきた開発者の不断の努力が今のロボット、自働機械の活動領域を広げて...

メーカー・取り扱い企業：ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社本社

プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ」サンプルテスト受付中

コンパクトなバッチタイプでサブミクロンのエッチングに対応、サンプルテス…

バッチタイプでサブミクロンのＳｉ酸化膜のエッチングに対応。ＳｉＮ、Ｓｉ系薄膜だけでなく高融点金属や難エッチング材にも対応石英の垂直性エッチング、厚膜レジストの微細加工等ニッチデバイスの加工に最適。プラズマモード切替によるマルチステッププロセスでアッシングやクリーニングまで幅広い用途に積極対応...標準仕様ステージ寸法：２５０ｍｍ□　エッチング方式：ＲＩＥ　ＣＦ系ガス標準シンプル...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

【英文市場調査レポート】エッチングプロセスの世界市場

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構築するために使用されるパターンや特徴を形成します。世界のエッチングプロセス市場の主な原動力は、電子機器の需要の増加、半導体製造への投資の増加、自動車用エレクトロニクスの需要拡大です。さらに、エッチング装置やプロセスの技術進歩、先進パッケージング技術への需要の高まりが、予測期間2023-2030年にかけて市場に有利な成長機会を生み出しています。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社グローバルインフォメーション

エッチング装置　高精度エッチングライン

上エッチングは独立圧調でさらに高精度。FPC搬送対応可能。

高精度エッチングラインは、最適なノズル配列とオシュレーションシステムで均一な面精度を実現した、薄板搬送可能な高精度エッチング装置です。PCBのエッチング（塩化第二鉄、塩化第二銅、硫酸ー過水系、アルカリエッチング時）や、ケミカルミーリング（各種金属エッチング　鉄、アルミ、銅、チタン等）に最適です。詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

【英文市場調査レポート】半導体誘電体エッチング装置市場

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世界の半導体誘電体エッチング装置市場規模は2023年に13億米ドルに達しました。今後、IMARC Groupは、2024年から2032年にかけて3.26%の成長率（CAGR）を示し、2032年までに18億米ドルに達すると予測...

メーカー・取り扱い企業：株式会社グローバルインフォメーション

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。半導体の微細化は急速に進んでいます。半導体製造競争は歩留まりと装置の稼働時間が大きなカギを握っています。エッチング装置部品の保護膜は、溶射やエアロゾルデポジションによる酸化イットリウム膜が使われていましたが、エッチング装置...

メーカー・取り扱い企業：つばさ真空理研株式会社横浜ラボラトリー

半導体関連装置「ウェット式エッチング装置」

ドラフト構造でクリーンルーム仕様！エッチング処理やレジスト除去する装置

「ウェット式エッチング装置」は、半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状...

メーカー・取り扱い企業：オーエヌ総合電機株式会社