エッチング | イプロスものづくり

PR公差や累積誤差の最終調整にエッチング加工の高精度シム・スペーサーをご活…

『シム・スペーサー』は、精密機械を組み立てる際に発生する公差や累積誤差を調整する精密部品です。対応が難しいとされる板厚と材質の組み合わせも、当社の“カスタマイズエッチング加工”では、ミクロンレベルで調整可能。フォットエッチング加工による、バリ・変形・歪・ドロス・デブリの無い高精細な仕上がりは、半導体製造装置にもお勧めです！また光学部品・機器などの特殊用途では、 ...

メーカー・取り扱い企業：ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社本社

【スーパーマイクロシーブ】5ミクロンの丸穴微細加工技術とは？

PR従来の微細穴加工の工法とは異なる　セムテックエンジニアリング　独自の技…

従来のエッチング、レーザー、ドリル、フライス、放電加工では行えない、精度の高い微細な穴加工が行えます。弊社のスーパーマイクロシーブはエレクトロフォーミング技術による加工により生成されています。『穴径　5μm～30μm以上の加工』　製造過程で混在する粗粒子を個数レベルで完全に除去できます。『最小ピッチ　穴径＋10μmの狭さ』　一枚面積における穴数が多いため高効率の分級が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社セムテックエンジニアリング

エッチング処理による金属間化合物の観察例

奥方向と表面から化合物の状態を観察！加⼯、前処理、観察⼿法や組み合わせ…

疑問に思われたことはありませんか。当資料では、Cuパッドとはんだの接合部の観察例をご紹介。「断面観察」と「平面観察」を掲載しております。【掲載内容】 ■断面観察　・エッチング処理前　・エッチング処理後 ■平面観察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

マイクロプレート

アンカー効果で狙った位置に適した形状で検体を保持出来ます。

・プラズマ製法親水/撥水のコントラストが得やすく、アンカー効果が見込めます。・ブラスト製法プラズマエッチングが不要です。粗面化によりアンカー効果が見込めます。・蒸着製法プラズマエッチングが不要です。 エッチングマスクも不要です。粗面化によりアンカー効果が見込めます。 ...

メーカー・取り扱い企業：シチズンファインデバイス株式会社

A-23　塩化銅エッチング液分析器

塩化銅エッチング液中の塩化第二銅及び塩酸濃度の測定

株式会社　山本鍍金試験器より、「A-23　塩化銅エッチング液分析器」のご案内です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社山本鍍金試験器

イオンミリング装置による受託サービス｜JTL

機械研磨では潰れて観察できない構造をきれいに面仕上げします。

イオンミリング装置とは試料の表面に非常に弱いアルゴンイオンビームを照射することで、観察・分析用の研磨・エッチングを行う断面研磨装置です。従来の機械研磨では、銅やアルミ材などの軟質材では研磨面が潰れたり、ダレが発生し、セラミックやシリコンなどの硬質材では割れやクラックが発生しましたが、イオンミリング装置...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社本社

フラットミリングとSEM観察

とはんだの境界面の状況がより緻密に観察できます。【特徴】 ○アルゴンイオンの均一な照射によってSEM観察にも耐える完璧な覆面仕上が可能です。 ○5mm径の広い範囲を均一にスパッタエッチングでき、50nm/min(Cu)の高いミリングレートで処理します。 ○安定した放電電流（2～6kV）によって再現性のよい試料を提供できます。 ○光学顕微鏡に比べ分離機・焦点深度に優れ、微小領域...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クオルテック

リアクティブプロセスガスモニタQulee RGM-202/302

エッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付プロセスモニ…

Qulee RGM-202/RGM-302は、Qulee シリーズのエッチング、CVD 等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。アルバック独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能です。【仕...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

JPS-9030 光電子分光装置(XPS)

「誰もが、簡単に、直ぐに使えること」

電子株式会社 JPS-9030 光電子分光装置(XPS)は、日本語環境で操作できる新設計のユーザーインターフェースを採用し、「誰もが、簡単に、直ぐに使えること」を実現しました。また、カウフマン型エッチングイオンソースやツインアノードを標準装備の上、汎用XPSでありながら高温加熱システムやガスクラスターイオンソース等幅広い拡張性も備えています。〇特長・nmからμmまで幅広い目的に対応したデプ...

メーカー・取り扱い企業：アズサイエンス株式会社松本本社

電位差自動滴定装置 Ecoタイトレーター【90万９千円～】

自動滴定装置が電極とビュレット付きで税抜き価格83万円～！

マグネシウム硬度塩化物硫酸塩臭素価【石油化学】酸/アルカリ価メルカプタン塩化物臭素価【めっき/表面処理】酸の総含有量金属含有量塩化物脱脂およびエッチング液の分析【界面活性剤】アニオン/カチオン界面活性剤ノニオン界面活性剤【光度滴定（滴定試薬使用）】 Ecoタイトレータにオプトロードを接続すると、以下のような光度滴定が行えます：...

メーカー・取り扱い企業：メトロームジャパン株式会社

微小異物分析のためのサンプリング技術

エレクトロニクス製品の歩留に大きな影響を与える異物について、各種サンプ…

■多層膜中異物の特殊サンプリング技術・基板上金属膜に埋もれた異物　金属膜エッチング⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析・多層薄膜中の異物　表面層の切り取り⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析　ミクロトーム/FIB　薄片化⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

高透明度のポリカーボネート製薄膜フィルター

【サンプルプレゼント】直孔性で表面補足可能！各種検査・研究に最適なメン…

■ニュクリポアー(ニュークリポアー、ヌクレポア)トラックエッチメンブレンフィルターは、ポリカーボネートおよびポリエステルの薄膜を重イオンで照射後、エッチング工程を経て製造された非常にユニークな直孔性のメンブレン（メンブラン）・フィルターです。 ■１０μｍ程の薄く平滑な膜に均一でシャープな円筒状の直孔を多数持ち孔径よりも大きな微粒子などを表面上...

メーカー・取り扱い企業：日東機器ファインテック株式会社

『MEMSセンシング＆ネットワークデバイス向け装置ラインアップ』

MEMS展で大好評だった装置を紹介。分極処理やエッチング、焼成などのプ…

当社では、ウェハの洗浄からエッチング、剥離、検査まで MEMS生産における各プロセスで活躍する装置を取り揃えています。今回、「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展 2020」にてお立ち寄りいただいた方からの反響...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日立ハイテク

ウェットバス監視分析計『TALYS ADP300シリーズ』

昨今の製造ニーズにお応え！低コストで高精度なウェットバス監視分析計

『TALYS ADP300シリーズ』は、ウェットエッチング、クリーニング、またはフォトレジスト(PR)除去プロセスのリアルタイム、バッチ式、またはシングルウエハツールの監視に適したデュアルチャンネル分析システムです。リアルタイムでの薬液...

メーカー・取り扱い企業： ABBジャパン

くし形電極加工（オーダメイドでパターンチップを作成します）。

各種金属を薄膜〜パターン加工した「くし型電極チップ」です。電極構成…

が、成膜材料のアドバイスがほしい。・パターン加工だけでも、受けて頂けますか？・ラインアンドスペース(L/S)が、10μmでも対応できますか？ ■微細加工技術フォトリソグラフィ、エッチング、メタルマスクによる微細パターニングを実現しております。お客様のご要望に応じて、ベストな加工方法やレジストを選択致します。但し、成膜物質や基板、膜厚や薄膜の積層構成などの条件すり合わせが必要です...

メーカー・取り扱い企業：安達新産業株式会社本社

電気化学測定用分析チップ受託加工：求めた静電容量から誘電率を計算

電気化学（バイオ）測定用の分析チップを受託加工致します。 …

スがほしい。・パターン加工だけでも、受けて頂けますか？・ラインアンドスペース(L/S)が、10μmでも対応できますか？１）微細パターン加工を実現致します。フォトリソグラフィ、エッチング、メタルマスクによる微細パターニングを実現しております。お客様のご要望に応じて、ベストな加工方法やレジストを選択致します。２）基板調達から成膜まで一貫生産が可能です。安達新産業では、...

メーカー・取り扱い企業：安達新産業株式会社本社

ガス分析用質量分析装置 ASTON Plasma

フィラメント交換不要のイオン源搭載！半導体プロセスガスモニタリングに好…

社従来機同様、大気圧環境下からのサンプリングも可能です。半導体製造プロセス、工業製品製造プロセスのリアルタイムプロセスモニタとして使用いただけます。【主なアプリケーション】 ■エッチング、エンドポイントモニタ ■チェンバ汚染モニタ ■ガス除害システムの残留ガス分析 ■環境モニタ ■発酵プロセスモニタ ■天然ガス分析モニタ ■Lyophilization (Free...

メーカー・取り扱い企業：アトナープ株式会社

プラズマモニタ

エッチング・スパッタ・CVD等プラズマモニタに好適！

オーシャンオプティクス社製の小型分光器は、リアルタイムでチャンバ内のプラズマ発光スペクトルを取得するために多くのお客様から選ばれています。これらの発光スペクトルから求めたプラズマ特性を監視し、半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に好適です。『プラズマモニタ』は、スタンダードモデルのFLAMEをはじめ、高分解能モデルの HR4000またはバッファリング対応UV高...

メーカー・取り扱い企業：オーシャンフォトニクス株式会社

【infiTOF】半導体プロセスガスモニタリングソリューション

飛行時間型高分解能質量分析計で、プロセスガスのin-situモニタリン…

半導体プロセスには結晶成長(エピタキシャル成長)、成膜(CVD,ALD)、 エッチング、クリーニングなど様々な工程があります。また、これらのプロセスでは多種の原料ガスが使われております。プロセスチャンバー内における反応生成物、分解物、残留成分をリアルタイムでモニ...

メーカー・取り扱い企業：カノマックスアナリティカル株式会社

試験研究用試薬・電子工業用薬品

試験研究用試薬・電子工業用薬品・理化学機器のことなら当社にお任せ下さい…

【その他取扱製品】 ■高純度薬品/酸・アルカリ類 ■高純度薬品/各種溶剤類 ■高機能薬品　・各種洗浄液　・ドライエッチング残渣除去液　他 ■CMP用スラリー・研磨パッド ■各種レジスト　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：中国ケミー株式会社

【infiTOF】半導体製造プロセスガスの分析

「infiTOF」を用いた半導体製造プロセスガスの分析について詳しく解…

当資料は、マルチターン方式飛行時間型質量分析装置「infiTOF」を用いて N2をベースとしたシランガスの高分解能分析について解説した技術資料です。半導体は、成膜・エッチング・クリーニングなど様々な工程を経て製造されています。30種類以上のガスが使われており、その中の一つシランガスは反応性に富んでおり、空気に触れると自然発火してしまうため、取扱いには注意...

メーカー・取り扱い企業：カノマックスアナリティカル株式会社

分析・解析機器　全自動気相分解装置「Expert(TM)」

シリコンウェーハ中の不純物分析に欠かせない全自動気相分解(VPD)装置…

◯VPDシステムからICP-MSへの移送中に起こる汚染のリスクを回避 ◯二段構造のスキャンノズルを用いて、高濃度サンプル溶液の自動希釈が可能 ◯特殊VPDチャンバーにより、ポリシリコンのエッチングが可能 ◯12インチFOUPに対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社IAS Inc. IAS Inc.

【資料】半導体産業におけるイオンクロマトグラフィーの応用

陰イオンの不純物を的確に測定できるツールとして応用されています！

プロセス材料におけるイオンクロマトグラフィーの応用・リソグラフィ材料中の陰イオンの測定・ポリイミド中の塩化物イオンとナトリウムイオンの定量・水酸化テトラメチルアンモニウムの測定・エッチング液中の陰イオンの測定・N-メチルピロリドン中の陰イオンの測定 ■3つ目：回路基板へのイオンクロマトグラフィーの応用 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資...

メーカー・取り扱い企業：科健化学株式会社 Science and Health with Chemistry CO., LTD.

薄膜測定システム

分光放射照度測定をはじめ、多様なアプリケーションにお応え致します

光・反射光ファイバープローブ、豊富なデータベースをもつ専用ソフトウェアからなります。ソフトウェア上で、物質を選択し、n、k値を入力するだけで、簡単に単層膜厚の測定が可能です。主な用途に、プラズマエッチングやデポジションプロセスのモニタリングが必要とされる半導体基盤、金属への透明コーティング、ガラス基盤などです。オプションでアダプターとファイバーと組み合わせれば、真空チャンバー中でのモニタリングも...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ミロクロ

エッチング液中の過酸化水素と硫酸の定量【電位差自動滴定装置】

水酸化ナトリウム標準液による中和滴定で硫酸を定量！装置構成および試薬な…

硫酸-過酸化水素エッチング液は、銅の表面洗浄用やハーフエッチング用として使用され、硫酸および過酸化水素を主成分とするものです。含有する過酸化水素が自然に分解しやすい性質から、一定のエッチング速度を維持す...

メーカー・取り扱い企業：株式会社HIRANUMA

ガス分析用質量分析装置 ASTON Impact

大気圧からサンプリングOK！コンパクトな高感度質量分析装置

イオン化イオン源、二次電子増倍管を搭載した四重極型の小型センサーと、ポンプをパッケージングした省スペース設計になっています。【主なアプリケーション】 ■プロセスコンディションモニタ（エッチング・成膜） ■エンドポイントモニタ（エッチング・クリーニング） ■チェンバ汚染モニタ ■ガス除害システムの残留ガス分析 ■環境モニタ ■発酵プロセスモニタ ■天然ガス分析モニタ ■...

メーカー・取り扱い企業：アトナープ株式会社

XPS角度分解法による薄膜層の深さ方向分析

非破壊でnmオーダーの薄膜の深さ方向分析が可能！分析事例もご紹介いたし…

との角度を変えることにより、光電子の検出深さを変えることが可能。これより得られたデータをシミュレーションにより数値的に解析し、深さ方向のプロファイルに変換します。通常のイオンエッチング法では測定が困難な表面付近nmオーダーの、均一な薄膜の深さ方向分析を実現します。 HDD磁気面の深さ方向を分析した事例もございます。【特長】 ■非破壊でnmオーダーの薄膜の深さ方...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス