半導体製造装置、精密光学機器向け高精度『シム・スペーサー』

PR公差や累積誤差の最終調整にエッチング加工の高精度シム・スペーサーをご活…

『シム・スペーサー』は、精密機械を組み立てる際に発生する 公差や累積誤差を調整する精密部品です。 対応が難しいとされる板厚と材質の組み合わせも、 当社の“カスタマイズエッチング加工”では、ミクロンレベルで調整可能。 フォットエッチング加工による、 バリ・変形・歪・ドロス・デブリの無い高精細な仕上がりは、 半導体製造装置にもお勧めです！ また光学部品・機器などの特殊用途では、 ...

メーカー・取り扱い企業： ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社 本社

【サンプル進呈】5μm微細・極薄・極小のエッチング加工をお手元に

PR毎月先着50社限定｜短納期、小ロットから対応の「エッチング加工」サンプ…

エッチング加工をご希望の企業様向け！ 毎月先着50社様限定で、ケミカルプリントが誇る技術を詰め込んだ無料サンプルを進呈致します！ 切削加工や機械加工に比べ、エッチング加工は加工精度が高く、 また、ケミカルプリントなら短納期・小ロットから対応が可能です。 サンプルご希望の企業様はイプロスもしくは、下記お問い合わせからとご連絡くださいませ。 https://www.chemical-print.c...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケミカルプリント

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。…

LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

スの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。 特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工具や金型・半導体用治具の生産に多数使用中。 Ｓｉエピタキシャル成長時やエッチング時のの塩素系ガスの排気にも応用可能。 主ポンプのの水封式真空ポンプもALLステンレス製を採用し耐食性にも優れた専用真空排気システム...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

クライオポンプ総合カタログ

【無料贈呈】アルバック・クライオのポンプ総合カタログ！

【特長】 ◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ ◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ ◆極高真空用にベーカブルタイプ ◆分析機器、実験装置などのために防振型 ◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社