エッチング | イプロスものづくり

PR難めっき樹脂・難接着樹脂へ「非粗化による直接めっき」や「接着剤レス直接…

弊社改質技術では、基材表面へ官能基を強固に結合して付与することで、一般的なプラズマ表面処理（有機物除去、一時的な親水性の向上など）ではできない表面改質処理を提供できます。【特長】 ○低誘電材および難めっき材への非粗化直接めっき技術　フッ素樹脂、LCP、COP、ポリイミド樹脂などへ非粗化でシード層が介在しない直接銅めっきが可能 ○難接着材の非粗化接着剤レス・直接接着技術　各種フッ素樹脂、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

【サンプル進呈】5μm微細・極薄・極小のエッチング加工をお手元に

PR毎月先着50社限定｜短納期、小ロットから対応の「エッチング加工」サンプ…

エッチング加工をご希望の企業様向け！毎月先着50社様限定で、ケミカルプリントが誇る技術を詰め込んだ無料サンプルを進呈致します！切削加工や機械加工に比べ、エッチング加工は加工精度が高く、また、ケミカルプリントなら短納期・小ロットから対応が可能です。サンプルご希望の企業様はイプロスもしくは、下記お問い合わせからとご連絡くださいませ。 https://www.chemical-print.c...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケミカルプリント

【資料】Cu/Moエッチング液 SDM ver.70

Cu/Mo膜をエッチングすることが可能な薬液をご紹介します！

当資料は、「Cu/Moエッチング液」のSDMをご紹介している、バージョン70です。「PESENG基板実験条件概要」では、今回の試作内容が、T角が40(±10)、 CDロスは0.9～1.1(±0.1)であること...

メーカー・取り扱い企業：パナソニック環境エンジニアリング株式会社本社

【資料】Cu/Moエッチング液 SDM ver.69

Cu/Mo膜をエッチングすることが可能な薬液をご紹介します！

当資料は、「Cu/Moエッチング液」のSDMをご紹介している、バージョン69です。「PESENG基板実験条件概要」では、膜構成がCu/Moで、膜厚は560/25、 T角は45(±10)、CDロスは1.0～1....

メーカー・取り扱い企業：パナソニック環境エンジニアリング株式会社本社

フォトエッチング加工サービス【エッチング加工の基礎知識】を進呈！

試作から量産まで可能。バリのない平滑な外縁のノーブリッジエッチングなど…

当社では、カットシート・ロール材などの金属板・金属箔に エッチング加工を施す『フォトエッチング加工サービス』を手がけています。加工歪みやバリのないフラットな加工が可能なほか、片側のみにパターンを作製する「ハーフエッチング」や「テーパー加工」にも対応...

メーカー・取り扱い企業：日本フイルコン株式会社

イオンビームミリング・エッチング装置-伯東/エヌエス

Au, Pt, 磁性材料等の難エッチング材料の加工に最適なドライエッチ…

イオンビームミリング装置は、ドライプロセスでの微細加工装置として、研究開発から生産まで幅広い用途で使用されています。化学反応を伴わない物理的なエッチングプロセスの為、Au, Pt, 磁性材料、金属多層膜なども簡単に加工可能です。【特徴】（１）難エッチング材料を微細加工可能（２）金属多層膜をワンステッププロセスで加工可能（３）...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

回路形成材料　電子部品、ウェハーレベルパッケージ工程エッチング液

ウェハーレベルＣＳＰや精密電子部品をはじめとするあらゆる分野で

ウェハーレベルＣＳＰや精密電子部品をはじめとするあらゆる分野でのウエットエッチング剤です。各種機能を有したエッチング剤、ソフトエッチング剤、ハーフエッチング剤なども取りそろえています。銅再配線工程や素子電極形成等に各種金属膜のエッチング液を提供しています。詳しくはカタログをダ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ADEKA

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の表面処理などの特殊プロセスに...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

ローカソード放電）型電極搭載。無磁場・無アンテナのシンプルなk構造で従来型電極より一桁高いプラズマを密度を実現。独自開発高密度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけでなくＣｕ薄膜などの難エッチング材のエッチングに対応。新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。３００ｍｍウェハや積層基板、最大１ｍ□までの基板のメタルエッチングに対応。 ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

プラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』

表面の単原子層のエッチング！エッチング対象物へのダメージを抑える事が出…

当社が取り扱うプラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』をご紹介します。 Takachiシステムは、ALEキットを搭載することにより、 ALEプロセスが可能です。表面の単原子層毎にエッチングしていく為...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ICP エッチング装置

ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！

8"工程用Pishowシリーズ：・Pishow：シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能；幅広く温度の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； BOSOH工程に対応可能・Pishow A： HEMT工程のソリューションを提供、SiNx、TiN、pGaN、AlGaN層の特別処理が可能； pGaNの...

メーカー・取り扱い企業：日星産業株式会社

板厚はご相談ください！小ロットからも対応可能なエッチング加工

小ロットの時は厳しい要求のご相談に対応！エッチング加工

『エッチング加工』は、主に金属の表面や形状を、化学的あるいは電気化学的に溶解除去し、金属表面を任意の形状に加工するものです。クロダ精機では、寸法公差は一般的に板厚±10～15％が標準ですが、 ...

メーカー・取り扱い企業：クロダ精機株式会社

ICPプラズマエッチング装置『SERIO』

平滑なエッチング面と高い加工精度を実現！サンプルテスト対応いたします！

『SERIO』は、Si深掘り、石英の垂直加工、有機膜のエッチングなど幅広い用途に対応する高密度プラズマエッチング装置です。実績豊富なICPプラズマ電極を搭載し、平滑なエッチング面と高い加工精度を実現。スキャロップの無い平滑なエッチングが可能で、ナノ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

大型プラズマエッチング装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

実績豊富なバッチタイププラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ」をベースとし最大Φ６００ｍｍもしくは５００ｍｍ□までステージを拡大。大型ステージでファインピッチのエッチング・各種有機物のアッシング・表面改質・クリーニングなど幅広いプロセス...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

実験用ドライエッチング、成膜装置

ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応…

当社は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。【ドライエッチング機種（一例）】 Pishowシリーズ： ■シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料...

メーカー・取り扱い企業：日星産業株式会社

ドライエッチング装置

MRAM用ドライエッチング装置！

反応性イオンエッチング装置(RIE)、誘導結合プラズマ (ICP)エッチング装置、イオンビームエッチング装置(IBE)等のドライエッチング装置など各種取り揃えております。...

メーカー・取り扱い企業：日星産業株式会社

マイコン制御式プリント基板用エッチングマシーン　ES-800M

マイコン制御により、短時間で高品質のエッチングを実現

両面をスピード処理できる、シャワー式小形半自動式のエッチングマシーン...

メーカー・取り扱い企業：サンハヤト株式会社

卓上タイプエッチング・成膜装置『Plasma POD シリーズ』

教育機関や小規模施設などに！タッチパネルで簡単操作が可能な卓上型システ…

『Plasma POD シリーズ』は、小型でコンパクトな卓上タイプエッチング・成膜装置です。設置スペースに限りがあり、低コストでエッチング・成膜装置の導入をご検討されている方にお勧め。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■装...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

フォトエッチング技術／拡散接合

幅広い金属に対応可能！フォトエッチング技術の利点や拡散接合についてご紹…

『フォトエッチング』とは写真の原理を応用して、金属などの材質を化学的に腐食させることで複雑・微細な形状を作り出す精密加工技術です。極小・極薄・極細部品や特殊な形状の製品の製造に好適。その他の加工法 ...

メーカー・取り扱い企業：ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社本社

HCD型高密度プラズマエッチング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓ…

従来型の容量結合型プラズマエッチング装置にくらべ一桁高い密度のプラズマを実現。高周波アンテナや磁石を使用せず、電極構造のみの工夫によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置（CCP型・ICP型）とのハード上の互換性も高く...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

エッチング装置

塩化第二鉄及び、塩化第二銅を使用し現像後の銅箔をエッチングする装置【特徴】 ○Lane構成：2Lane ○搬送速度：2.0m/min ○材料幅：TAB/CSP/COF用 35mm〜160mm（FPC用　250〜300mm） ○材料厚み：...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

エッチング装置　高精度エッチングライン

上エッチングは独立圧調でさらに高精度。FPC搬送対応可能。

高精度エッチングラインは、最適なノズル配列とオシュレーションシステムで均一な面精度を実現した、薄板搬送可能な高精度エッチング装置です。PCBのエッチング（塩化第二鉄、塩化第二銅、硫酸ー過水系、アルカリエッチング...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ」サンプルテスト受付中

コンパクトなバッチタイプでサブミクロンのエッチングに対応、サンプルテス…

バッチタイプでサブミクロンのＳｉ酸化膜のエッチングに対応。ＳｉＮ、Ｓｉ系薄膜だけでなく高融点金属や難エッチング材にも対応石英の垂直性エッチング、厚膜レジストの微細加工等ニッチデバイスの加工に最適。プラズマモード切替によるマルチステッ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

エッチング装置（2）

搬送速度は1.5m/min、材料幅は350mmまで対応！薬液温度・圧力…

当装置はFPC等の薄い枚葉基板をロールtoロール搬送し連続にて エッチングを行います。装置は、巻出（基板投入）～ラミネート～エッチング～水洗～酸洗～水洗～巻取（基板剥がし）～水洗～乾燥～基板積載の構成。また搬送機構以外にも薬液温度・圧力を精度よくコ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

ガラス表面処理剤ーガラスエッチング剤

フロステックのガラス表面処理剤は、自然環境と作業環境にやさしいゼロエミ…

（有）フロステックのガラスエッチング剤は全て自社開発です。 ●フッ酸は使用していません。また、フッ化物の使用量も低減しています。 ●様々なガラス種、ソーダガラス、再生ガラス、クリスタルガラス、セミクリスタルガラス、強化ガラ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社フロステック

エッチング加工サービス

型の費用がかかりません！変形ものの小ロット製作にも対応可能

株式会社重森産業社は、エッチング加工を承っております。 エッチング加工の変形ものの小ロット製作なら、加工してからのほうがお安いかもしれません。基材はステンレスのみで、型の費用がかかりません。ご用命の際は、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社重森産業社

金属組織エッチングの受託サービス｜JTL

薬品での表面腐食による、金属組織検査用の前処理を行います。

エッチングとは、薬品などの化学反応による腐食作用を利用した表面加工の手法です。この原理を利用した観察用の前処理が金属組織のエッチングです。金属表面をエッチングすることで結晶方位の違いや組成の違いにより凹凸が付き、金属組織の観察を行うことができます。 エッチング可能な試料サイズはおおよそ50mm角になります。金属顕微鏡での観察であれば、試料サイズで50mm角程度まで、倍率で1,000倍までの...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社本社

アルマイトエッチング銘板 [レジストエッチング]

装飾性と耐久性を兼ね備えた銘板！！シャープな表現が可能！！

アルマイトエッチング銘板とは、ネーミングの通りアルマイトとエッチングの技法を合わせた銘板です。エッチング部分（凹部）や素地部分（凸部）にアルマイト処理を施し、文字や図柄を表現する製品です。詳しくはお問い合わせ、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トーホー本社

PECプロセス装置

シンプル構造で低価格を実現！GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹…

当社が取り扱う『PECプロセス装置』をご紹介します。光源・波長はUVA、UVCから選択でき、エッチング溶液加熱により高速な深堀エッチングが可能。タッチパネル入力でエッチングリンスをパラメータ設定できます。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。【特長】 ■10mm□...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三明本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

ソフトエッチング装置【nanoETCH】＜30W低出力

＜30W（制御精度10mW）低出力RFエッチングによる、精細でダメー…

【nanoETCH（ナノエッチ）】Model. ETCH5A ＜30W（制御精度10mA）低出力RFエッチングによる、精細でダメージレスなエッチング処理を実現。 2010年グラフェン発見でノーベル賞受賞者率いるマンチェスター大学グラフェン研究グループとの共同開発製品。 ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

【エッチング銘板の事例】エッチング銘板

ステンレスの使用頻度が高い！エッチング銘板を加工した事例をご紹介

屋内外に関わらずステンレスの使用頻度が高いエッチング銘板を加工した事例をご紹介いたします。主に機械などの製造者、型式、製造年月日、用途などの情報を掲示するための銘板。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 ※詳...

メーカー・取り扱い企業：株式会社重森産業社

回路形成材料　アデカエイフェススーパーシステム

自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理

回路形成材料「アデカエイフェススーパーシステム」は、専用エッチング液「アデカケルミカＴＦＥ－３０００シリーズ」により、サブトラクティブ法による微細配線を実現します。ピッチ２５μｍ以下ＣＯＦにおいて、高エッチファクターの回路形成を可能にします。自動管理装置「アデ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ADEKA

エッチング装置　スプレー式ウエハーエッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾…

スプレー式ウエハーエッチング装置は、一連の洗浄・エッチング処理を行い、その後、純水処理・乾燥までを処理する装置です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。ディスクリートＩＣ、パワーデバイス、化合物半導体...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

FPCエッチング装置

当社独自の搬送ロール配列及びスプレー配置！回収部分は作業者がアクセスし…

『FPCエッチング装置』は、FPC（Flexible Printed Circuits）をRtoR方式で連続エッチングする製品です。レジスト種類に問わず剥離カスを連続回収。回収部分は作業者がアクセ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トーア電子

イオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』

高いスループットを実現！大面積イオンソースと高度なモーションコントロー…

当社のイオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』をご紹介いたします。大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、高いスループットを実現。特にMarathon(TM)グリッド...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。半導体の微細化は急速に進んでいます。半導体製造競争は歩留まりと装置の稼働時間が大きなカギを握っています。エッチング装置部品の保護膜は、溶射やエアロゾルデポジションによる酸化イットリウム膜が使われていましたが、エッチング装置...

メーカー・取り扱い企業：つばさ真空理研株式会社横浜ラボラトリー

バルクエッチング装置『BEM-301』

エッチング量（深さ）とウェーハの材質を指定するだけで何方でも容易に使用…

『BEM-301』は、オゾンと気化したフッサンを使用してエッチングする装置です。 エッチング量をモニターしながらエッチングを行いますので、高精度のエッチングが可能。また、1枚目からでも正確なエッチングを行うことが可能です。【仕様】 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社NAS技研

石英ガラス用エッチング剤

フロステックの石英ガラス用エッチング剤は、自然環境と作業環境にやさしい…

光学用レンズ、各種理化学実験用器具、ＣＶＤ・拡散用各種炉芯管、各種ボード・治具、フォトマスク基板、光源ユニット、各種ランプ用管などに使用されている石英ガラス用のエッチング剤です。 ●クリアタイプでエッチングすることにより、石英ガラス基板に微細なパータンを施すことができます。 ●フロストタイプでエッチングすることにより、石英ガラス製品や基板へ微細な凹凸を付...

メーカー・取り扱い企業：有限会社フロステック

小型イオンビームエッチング装置

イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチン…

小型イオンビームエッチング装置は、DCイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載したイオンビームエッチング（IBE）装置です。微細加工、金属及び磁性体材料もエッチング可能です。【特長】 ○Au...

メーカー・取り扱い企業：アールエムテック株式会社

【エッチング銘板の事例】表彰状

金属独特の光沢！表彰状をエッチング製に加工した事例をご紹介

「表彰状」をエッチング製に加工した事例をご紹介いたします。屋内向けにはアルマイトにての製作も可能。紙の印刷物とは異なりエッチング製の表彰状は、飾る場所も年月も選びません。金属独特の光沢が、表彰の栄...

メーカー・取り扱い企業：株式会社重森産業社

小型超高精度エッチング装置　ＭＰＥ４０

【工程】投入→エッチング→液切→酸洗→液切→循環水洗→直水洗→絞り→取出し【基板サイズ】Max.W400×L500ｍｍ　厚み0.4〜2.0ｍｍ【ノズル揺動】首振揺動【装置サイズ】W1530×L2830×H1860ｍｍ ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

エッチングマシン『YCE-500WA』

当社独自のノズル配置とオシレーション機構により高精度にムラなくエッチン…

『YCE-500WA』は、ボタンひとつで高精度なエッチングが可能な エッチングマシンです。本体およびその他の箇所も酸、アルカリの両エッチャントに対応できる完全耐蝕性材料を採用しております。また、作業の安全性を保証する大きな点検窓や...

メーカー・取り扱い企業：株式会社山縣機械ＦＴＰ事業部

エッチング銘板【特殊メッキによる超耐候性を実現！】

ステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより、超耐候性を実現！最大150…

ステンレス・アルミニウム・真鍮・銅などの金属板の表面を薬品処理することによって腐食（エッチング）させ、そこにできた凹部に塗料を入れて、文字や線・図柄を表現する方法です。当社のエッチング銘板の特徴は、腐食しやすいステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより超耐候性を実現し、耐久性を要求される...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トーホー本社