エッチング | イプロスものづくり

PR毎月先着50社限定｜短納期、小ロットから対応の「エッチング加工」サンプ…

エッチング加工をご希望の企業様向け！毎月先着50社様限定で、ケミカルプリントが誇る技術を詰め込んだ無料サンプルを進呈致します！切削加工や機械加工に比べ、エッチング加工は加工精度が高く、また、ケミカルプリントなら短納期・小ロットから対応が可能です。サンプルご希望の企業様はイプロスもしくは、下記お問い合わせからとご連絡くださいませ。 https://www.chemical-print.c...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケミカルプリント

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応しコンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。世界で広く採用されており、Plasma-Th...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ドライエッチング装置

MRAM用ドライエッチング装置！

反応性イオンエッチング装置(RIE)、誘導結合プラズマ (ICP)エッチング装置、イオンビームエッチング装置(IBE)等のドライエッチング装置など各種取り揃えております。...

メーカー・取り扱い企業：日星産業株式会社

基板制作装置　スプレー式小型エッチング装置

まだ手動ですか？卓上サイズで試験・実験に適した『スプレー式小型エッチン…

『スプレー型小型エッチング装置』は、プリント基板などのエッチング処理や、現像処理をする卓上サイズの基板制作装置です。 エッチング液（塩化第二鉄）の化学反応を使って、銅箔を回路パターン通りにエッチング（化学腐食、蝕刻）加...

メーカー・取り扱い企業：サンハヤト株式会社

エッチング装置　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

理想的なノズル配置により技群の面精度を実現、小径孔も確実に洗浄

ソフトエッチング・小径穴洗浄ラインは、理想的なノズル配置により技群の面精度を実現したエッチング装置です。直進性の高いスリットで小径孔を洗浄し、高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施します。板厚50μmのワーク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

プリント基板製造装置　現像・エッチング・剥離ライン

ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せる

現像・エッチング・剥離ラインは、ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せるプリント基板製造装置です。上エッチングは独立圧調でさらに高精度です。板厚50μmのワークが安定して流せます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

剥離装置　剥離・アルカリエッチングライン

高精度なアルカリエッチングが可能な、高精度処理タイプです。

剥離・アルカリエッチングラインは、高精度なアルカリエッチングが可能な、剥離装置です。ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せます。上エッチングは個別圧調でさらに高精度です。スプレー除去中に発...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

Inception 枚葉式スピンプロセッサー

R＆Dからパイロット生産への移行に適切なInception

■ 量産ベースとなるプロセス開発に安定したプロセスを実現 ■ 最短のプロセス開発を可能にする柔軟性の高いソフトウェア ■ 標準仕様でタンク2基を搭載し多様なプロセスをサポート ■ エッチングレート100Å/Secにおいても優秀なユニフォーミティ ■ 搬送系はマニュアル・自動に対応 ■ 初期投資が抑えられる ■ 省スペース ■ 小ロット生産向け ■ 酸とソルベントのプロセス ■ スピ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターテック販売東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

Prestige エッチング加工製品、半導体外観検査装置カタログ

半導体の欠陥、ムラ、シミの検査を同一の検査工程で一度に行うことが可能。…

半導体の各製造工程、成膜、レジスト塗布、リソグラフィー、エッチング、CMPなど、ウェア上の各ダイに均一な製造工程を行いたいもの。しかし、現実には異物混入、パターン欠陥や膜厚などのばらつきにより、ウェハー上にムラが発生します。その各工程に自動化した検...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッ…

FA-1は、ICチップ上の各種不良解析のためのパッシベ-ション膜の剥離や各種シリコン薄膜のエッチング、フォトレジストのアッシングなどを効率よく、かつ低損傷で行うドライエッチング装置です。操作方法は簡単で、試料をセットしてボタンを押すだけで使用できます。また、省スペースで場所を選ばず、床置型、卓...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50Ｗ型で、操作も簡単、気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解析用試料の前処理（配線の露出）から、各種プラズマ加工に幅広く対応致します。また小型のため、スペースの限られ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三友製作所テクノセンタ

自動現像/エッチング装置

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…

スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...

メーカー・取り扱い企業：アクテス京三株式会社技術センター

二宮システム製　現像・エッチングライン・剥離ライン

【特長】 ○ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せます ○上エッチングは独立圧調でさらに高精度 ○板厚50μmのワークが安定して流せる ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

小型エッチング装置

基板を回転させながらエッチング液をスプレーするスピンエッチャー

対象基板を回転させながらエッチング液をスプレー塗布するスピンエッチャーです。...

メーカー・取り扱い企業：アクテス京三株式会社技術センター

BS-ET処理　アルミ用特殊エッチング　化学ブラスト調処理

接触帯電を防止します

BS-ET処理（アルミ用特殊エッチング　化学ブラスト調処理）は、半導体やFPDの製造工程における静電気による不具合などの防止に適しています。各種アルマイトやめっき処理などのアルミの前処理として併用します。ブラスト調に表面を荒らし...

メーカー・取り扱い企業：株式会社熊防メタル

スピン枚葉処理装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置

ピン系の各種要素技術の全ては、　　《新型》のスピンプロセッサーに発展応用させて搭載済みです。 ■SPM、APM、HPM、DHFといったRCA処理に最適。 ■塩化第2鉄、HF/HNO3等のエッチングプロセスにも対応 ■リフトオフ・レジスト剥離にも対応。 ■従来型平置きSpin枚葉として、安価システム構築可能 ■薬液の掛捨て処理に最適 ■クロスコンタミフリー　◎SPM処理時は基板...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

FPDウェットラインLCD/PDP用各種枚葉式ウェット処理装置

FPDウェットライン　LCD/PDP用　各種枚葉式ウェット処理装置

現像・エッチングのファイン化技術や高度な薄板搬送技術を駆使してお客様の付加価値向上に貢献します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

『塩化第二鉄溶液電解再生システム』

安全でクリーンな塩化第二鉄エッチング液電解再生装置

『塩化第二鉄溶液電解再生システム』は、老化したエッチング液の再生を電気化学的な方法で処理することにより、安全でクリーンな液の維持管理の安定を実現した装置です。特殊電極の採用により処理能力が向上。さらに、電解槽の増減によりあらゆるエ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社長井製薬所

Ion Beam Delayering装置/半導体物理解析

半導体故障解析歩留まり解析リバースエンジニアリングマイクロ…

半導体故障解析における材料層の層剥離や除去に対して、迅速な結果を提供する費用対効果の高いソリューションです。広い面積にわたって、優れた均一性と最小限のダメージを実現します。複数のイオンビームエッチング技術を使用することにより、単一層の異なる材料のエッチングレートを一致させることができ、化学組成に関係なく層全体を均一に除去することが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。【特長】・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。【仕様】ワークサイズ：Φ8...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

ICP-RIE『SI 500』

高選択性エッチング！ICPソースと基板電極間の間隔調整によるラジカル供…

独自のPTSA200ICPソースによる10＾12[イオン/cm3]の高いプラズマ密度により高エッチレートを実現。また、バイアスパワーによるイオンエネルギーの制御で低ダメージエッチングとなっております。【特長】 ■ICPパワーによるイオン密度の制御 ■バイアスパワーによるイオンエネルギーの制御 ■ICPソースと基板電極間の間隔調整によるラジカル供給の最適化 ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ

平井精密工業株式会社　事業紹介

豊富な実績と管理から生まれる品質。幅広い分野の期待にお応えし続けます！

平井精密工業株式会社は、フォトエッチング加工品、機械加工品、メッキ加工品、セラミック基板等の製造を行っている会社です。長年にわたって培ってきた独自の加工技術は、半導体、LED、自動車、医療など、あらゆる分野のモノづくりの現...

メーカー・取り扱い企業：平井精密工業株式会社

プラズマエッチャー【CPE.S-200A】

有機・無機問わず高いエッチング効果！

Siやカーボン膜のエッチング！その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途にお使い頂けます♪...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体

スパッタ成膜ユニット

DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて　使用する事が可能 ○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能 ○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリーニング・エッチングが可能 ○ツーモーションシャッター採用によりコンタミおよび発塵を防止 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メープル

Revolution セミオートウェットプロセッサー

省スペースなマルチステップウェットプロセッサー

■ 2-5ポジション、2軸設計 ■ プロセスタンク複数搭載可 ■ 150～300mmウェハ対応 ■ タンクカバー（オプション ■ 圧力式または光学式タンクレベルモニタリング【その他】 ■ エッチング、剥離、洗浄の多彩なアプリケーション ■ 分かりやすいレシピ構成 ■ 薬品添加、注入、充填オプション ■ 酸、溶解モデル ■ タンク5つまで搭載可 ■ マランゴニ乾燥組み込み可【専用ソフトI...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターテック販売東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処…

大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および研究開発向けに提供します。主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています...

メーカー・取り扱い企業：大村技研株式会社

多目的処理装置（スピンエッチャー）

温度管理、廃液選択機能が搭載！多目的処理装置

可能(写真はテフロン+PVCボディー) =============================================== ＜仕　様＞ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ エッチング液…酸、アルカリタイプオプション…廃液選択２〜４液、薬液用ノズル等電源…AC100v or 200v CDA…0.5MPA.以上 DIW.…0.2MPA.以上その他...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

Advancer セミオートウェットプロセッサー

省スペースながら精密なパフォーマンス

コストながら高いパフォーマンス ■ 前後側面マウントロボット ■ 大きな薬液容量 ■ 薬液投入、タンク内で混合 ■ 素早いリンス【生産性】最適なパフォーマンスのための各種モデル ■ 洗浄、エッチング、剥離など多様なアプリケーション ■ タンク数1-6によって3種類のプラットフォームをご用意 ■ 酸、ソルベントプロセス ■ ロボットはオプションで２機まで搭載 ■ 4，5，6，8インチに対応 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターテック販売東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

G8対応　枚葉スピン式　大型マスク洗浄装置　MSC-1500

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

【特徴】 ■塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスに対応 ■　レジスト残渣／有機物残渣の剥離洗浄 ■　金属粒子や研磨、ダイシング後などの粒子除去洗浄 ■　固着微粒子、吸着微粒子の除去洗浄 ■　受け入れ洗浄、各種工...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場

『クロムマスク自動現像機』

現像／エッチングを完全に自動化！一貫した良質の製品の生産を保証します

当社では、コレンタ社製が開発した『クロムマスク自動現像機』を取扱っています。当製品は、あらかじめ露光されたクロムマスクを「ハンガー」に装填、レジスト現像-水洗-クロムエッチング-水洗-レジスト剥離-クリーニング-乾燥の各工程をオペレーターの関与を最小限に抑え、クロムマスクの処理を行います。適切な化学薬液処理（補充、抗酸化プログラム）を備えた循環および濾...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ラットコーポレーション本社：営業部・業務部

チャッククリーニングウェハ(CCW)　技術ハンドブックVol.1

技術ハンドブックプレゼント！種類・他社品比較の優位点・品質、導入効果な…

当資料は、ウェハチャック上のゴミ／パーティクルを除去するためのお掃除用ウェハについてご紹介している技術ハンドブックです。フォトリソ工程やエッチング工程、スパッタ工程での優れた効果をはじめ、種類・他社品比較の優位点・品質、導入効果などを掲載。ぜひ、ご一読ください。【掲載内容(一部)】 ■チャッククリーニングウェハ(CC...

メーカー・取り扱い企業：株式会社協同インターナショナル

中古製造装置設置提案サービス

酸化拡散、注入装置、エッチングなど！当社で行う製造装置設置などをご紹介

半導体、125mmまたは 150mmの化合物半導体、および第3世代の半導体への中古製造装置設置、再生装置販売を行っております。製造装置には酸化拡散、注入装置、リソグラフィーマシン、エッチング、洗浄装置、薄膜、CMP、測定などを含んでおります。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。【対象の半導体】 ■150mmまたは200mmのシリコン半導体 ■125m...

メーカー・取り扱い企業： TST SEMICONDUCTOR株式会社

マントルヒータ　Mantle heater

配管部品の均一加熱を実現！CVDエッチング・アッシング装置に適していま…

ワッティーが提供する『マントルヒータ』は、配管・容器加熱用にご使用いただけます。発熱体を使用しない断熱材、保温材の設計製作も承っており、クロス材質も複数ご用意しているので、ご希望の仕様で製作が可能。（400℃以上のご希望の際はご相談ください。）また、サーモスタット、ヒューズ等の過昇温防止素子、及び熱電対、 Ptセンサ等の温度制御素子の取り付けなどオプションで承ります。...

メーカー・取り扱い企業：ワッティー株式会社

高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…

ております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。ウエハー（RCA）洗浄装置、精密部品洗浄装置、インゴット洗浄装置、エッチング装置、IPAドライヤー装置など各種装置を取り揃えております。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

前工程の歩留まり改善が期待できる真空・耐熱用グリース

LOGENEST LAMBDA AEP-4は真空かつ150℃以上の高温…

T LAMBDA AEP-4」は下記のような特徴があり、コンタミ改善に取り組まれている方や大切な機械をメンテナンスしている方へ推奨しております ■ 特殊フィルム製造の前工程（成膜、エッチング等）の搬送部（ベアリング等）やシール部（Oリング等）に最適なグリースです ■ 特徴は、従来のフッ素グリースより劣化を抑え、ロングライフが期待されます【用途】各種下記前工程の製造装置...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニッペコ本社

スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

・完全室温洗浄の実現(高温プロセス不要) ・マスク上の薬液残留量減少・廃液処理の安全化(ISO14000対策) SC-1 → アンモニア添加水素水・MoSiハーフトーンマスクのエッチング防止 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

ナノリソグラフィシステム『NanoFrazor Scholar』

卓上型ナノリソグラフィ直描システム

ナノパターンの描画およびイメージングに使用される超シャープな加熱可能なプローブにあります。加熱されたチップは、レジストの局所昇華によって任意の高解像度ナノ構造を作成します。その後リフトオフやエッチングのような標準的なパターン転送方法を適用することができます。またプローブ先端近傍に備えられたセンサーでイメージングを行いながら、パタニングへのフィードバックとトポロジー情報を取得でき、高精度の...

メーカー・取り扱い企業：ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

スの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工具や金型・半導体用治具の生産に多数使用中。Ｓｉエピタキシャル成長時やエッチング時のの塩素系ガスの排気にも応用可能。主ポンプのの水封式真空ポンプもALLステンレス製を採用し耐食性にも優れた専用真空排気システム...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン

フィジカルファインエッチャー（PFE）

プリント配線板やフィルムなど薄板材の表面を一括で均一に梨地加工な物理的…

リント配線板などの薄板材表面の精密物理洗浄をおこなう表面処理装置。薄板材両面を均一に処理し、水洗、水切り乾燥までを連続自動処理可能。プリント配線板の洗浄、異物・酸化膜除去、デスミヤ、表面粗化、エッチングなどに使用可能。 ...

メーカー・取り扱い企業：マコー株式会社

プラズマ装置プラズマクリーナープラズマ洗浄装置カタログ

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…

デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー（エッチング）、アッシャー（アッシング）の処理目的に合ったプラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。企画から提案まで一環してお引き受けしています。【掲載内容】 ■市場・用...

メーカー・取り扱い企業：ヤマトマテリアル株式会社

株式会社メイコー　事業紹介

「創造力」「開発力」「技術力」と「スピード」で新技術・新製品の価値を創…

→納品後のハード・ソフト両面に渡る充実したフォローアップ ○半導体関連事業 →各種半導体製造装置のEMS（電子機器受託製造サービス）による生産　・ウェーハポリッシング装置　・プラズマエッチング装置　・レーザーマーカー　・ウェーハボンダー　・各種ウェーハ検査装置　・洗浄装置 ○FPD関連事業 →国内最大級のクリーンルームを備える新工場を保有 →LCD生産ラインに向...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メイコー

スピン洗浄装置　スピナー MSC-200型

小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能！

重視し開発されている製品です。研究所、学校等に使用して頂く実験用のマニュアルスピンナーです。主にシリコンウェハー（ガリ砒素、ガラス、セラミック）等のレジストコーティングをはじめとして、現像装置、エッチング装置、剥離装置、スピン乾燥装置等の応用も可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

チャッククリーニングウェハ(CCW)

生産用シリコンウェハと同様、自動搬送で流すだけで効果を発揮します。

ついてご紹介します。当技術は、チャック上のゴミ/パーティクルを除去。簡単な使用方法でダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減を実現します。フォトリソグラフィーのほか、エッチングやスパッタリングのプロセスにおいて効果が期待できます。【特長】 ■チャックの表面形状に合わせた3D加工も可能 ■専用のメンテナンスシートでクリーニングウェハの再生も可能 ■チャ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社協同インターナショナル

枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可…

【ラインアップ】『RCAウエハ洗浄装置』のほかにも多数ラインアップしています。 ■自動ウエハ洗浄装置 ■自動エッチング装置 ■自動基板用現像装置 ■自動ウエハレジスト塗布装置 ■自動角型基板レジスト塗布装置 ■自動レジスト塗布現像装置 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

分析・解析機器　全自動気相分解装置「Expert(TM)」

シリコンウェーハ中の不純物分析に欠かせない全自動気相分解(VPD)装置…

◯VPDシステムからICP-MSへの移送中に起こる汚染のリスクを回避 ◯二段構造のスキャンノズルを用いて、高濃度サンプル溶液の自動希釈が可能 ◯特殊VPDチャンバーにより、ポリシリコンのエッチングが可能 ◯12インチFOUPに対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社IAS Inc. IAS Inc.