新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M～1307M』

設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能！

従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。 また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。 【特長】 ■省電力設計 ■稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能 ※詳しくはカタログ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気浮上型ベアリングレスポンプ　BPS-600

Better pump for Better Yields !

がない部品で構成されている為 →半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10～50倍微粒子の発生が減少する ○保守コストを削減 →軸受･バルブ･軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為 ○装置の稼働率が高められる ○磁気軸受内蔵のため汚染リスクが減少 ○剪断等で影響を受けやすい流体に対し穏やかなポンプ ○粒子やコンタミがポンプ内に滞留しにくい構造 ○脈動...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社