高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

がない部品で構成されている為 →半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10～50倍微粒子の発生が減少する ○保守コストを削減 →軸受･バルブ･軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為 ○装置の稼働率が高められる ○磁気軸受内蔵のため汚染リスクが減少 ○剪断等で影響を受けやすい流体に対し穏やかなポンプ ○粒子やコンタミがポンプ内に滞留しにくい構造 ○脈動...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社