各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

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【レンタルラインナップ】 ＜A3カラーレーザープリンター＞ ■Canon・LBP841C ・印刷速度：26枚/分 ・給紙枚数：カセット 250枚、手差し 100枚 ・外形寸法：545(W)×591(D)×361(H)mm ■EPSON・LP-S6160 ・印刷速度：25枚/分 ・給紙枚数：カセット 305枚、手差し 19...

メーカー・取り扱い企業： エム・シー通商株式会社 本社・営業部