各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

サファイア自動検査機

検査データファイル、欠陥画像ファイルを判定やマクロMAPで表示可能

サファイアウェハの傷、異物欠陥の高速自動検査機です。 ダブルカセット式でロード/検査/アンロードをタクト30秒枚で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

自動赤外顕微鏡

ウエハ表面に可視でAFフォーカス！赤外顕微鏡でパターン寸法を画像…

製の 『自動赤外顕微鏡』を取扱っています。 当製品は、8”貼り合わせウエハの表面に可視でAFフォーカスして 赤外顕微鏡でSi内部パターンのパターン寸法を画像測定します。 2カセット、エッジグリップチャック、エッジアライナを搭載しています。 【特長】 ■対象ウエハ 8” ■2カセット ■位置決め精度±1μm ■軸ズレ測定±0.5μm ■線幅測定 0....

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

ウエハチップ自動搬送・自動撮影システム『YATシリーズ』

顕微鏡メーカーを問わず搬送可能！

自動ステージとの組合せでフルオート搬送でき、マニュアル搬送モード 単体機としても搬送可能です。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■専用ソフトウエアによるカセット単位での完全自動搬送 ■搬送側での測定ウエハの選択・マニュアル搬送可能 ■ウエハ検出システムにより無駄のないタクトを実現 ■自動ステージ・カメラ制御による25枚自動撮影可能 ■ウエハ以外で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤマトハンズ

ウエハ欠陥自動検査機　WEG8000

カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。

カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。 1枚の検査時間10秒、タクト30秒の高スロープットを実現。 25枚の収納カセットからウェハを1枚ずつロボットが取り出して自動調芯後、検査をしてカセットに収納します。操作が簡単です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック