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PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール!4-8…
『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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コンベアラインが変わる!ベルトに優しくコンベア周辺環境をクリーンアップ…
に適度な角度を保ちクリーニング効果を持続させることが出来ます。 「スプリングテンショナー構造」は、シンプルな構造ながらも常に適度な面圧を維持出来、基本的にテンションの調整は不要です。 「アルミカセット方式」は、ブレードを予め付属のアルミカセットにセットした後メインフレームに取付ける事で交換作業が短期間で安全に行うことが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: マクセル株式会社 / マクセルクレハ株式会社 / マクセルフロンティア株式会社
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