各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

鍵管理装置　キーステーション

「キーステーション」は、星光メンテナンス株式会社が取り扱っている鍵管理…

【特長】 ○キーホルダーはポケットに入れて持ち出しにくい、適度な大きさの「カセット」方式を採用しています。 ○テナントあたりの鍵収納スペースが小さく、場所を取りません。 ○鍵の保管状況が一目で確認できます。 ○「鍵の収納」「鍵の取り出し」 操作は、開始/解除信号として個別...

メーカー・取り扱い企業： 星光メンテナンス株式会社 星光FBセキュリティ事業部

鍵管理装置　キーステーション

「キーステーション」は、エフビーオートメが考案したの鍵管理システムです…

【特徴】 ○キーホルダーはポケットに入れて持ち出しにくい、適度な大きさの「カセット」方式を採用しています。 ○テナントあたりの鍵収納スペースが小さく、場所を取りません。 ○鍵の保管状況が一目で確認できます。 ○「鍵の収納」「鍵の取り出し」 操作は、開始/解除信号として個別...

メーカー・取り扱い企業： エフビーオートメ株式会社