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25件 - メーカー・取り扱い企業
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半導体周辺機器検査の新スタンダードを目指して！広視野撮像によってタクト…
ンピンホールを測定・検査します。 特注対応も行っております。お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■各種メーカーのFOUP/FOSB/OCに対応 ■φ300mmの定型サイズ以外やカラーカセットも検査可能 ■2500万画素カメラ＋専用光学エンジンにより、超高画質での外径寸法が可能 ■超広視野で行う高速処理でスループットは業界最速クラス ■特注も対応 ※詳しくはPDF資料をご覧...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所
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ベルト搬送による非接触ウエハソーティングシステム！
【ベルト搬送による非接触ウエハソーティングシステム】 ◆抵抗・厚さ・PN判定を全て非接触測定 ◆標準カセット数：ローダーカセット×4、アンローダーカセット×6 （カセット数は変更対応可能です） ◆ガラスマップ（サーチ）機能 ◆CIM通信、2-D/3-Dマッピングウェア ●対象ウエハサイズ：3...
メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社
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加工の終了したφ300 mmウェーハを1枚ずつテフロンカセットへ収納し…
ウェーハは作業者により加工装置から吸着パッドでウェーハシュータ部へ置かれた後に ステージの傾斜と純水の吐出を利用してテフロンカセットへ滑り込ませ収納します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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3種類の動作が行える装置
φ6、8インチウェーハのカセットから取出しを行う【ロードモード】、カセットへ収納する【アンロードモード】、ロードモードとアンロードモードを交互に行う【出し入れモード】の3種類の動作が行える装置です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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広い範囲で優れた測定直線性！三次元グラフィックマップとしてPCモニター…
【機能詳細】 ■最大300点まで計測可能 ■自動ドリフト補正 ■ソフトウェアで抵抗の測定範囲を選択可能 ■カセットToカセット式ソーティング ■外部膜厚入力 ■ウェーハマッピング(2次元等高線、3次元グラフィック） ■SPC(Statistical Process Control)統計管理ソフト ...
メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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電磁スキャナー式（特許取得済み） ダメージレスで非破壊で測定可能 …
初心者でも正確な測定が可能です！ サンプルをセットするだけで非破壊で測定できます！ ハンディタイプからカセット付の全自動測定までラインナップがあります。 【製品特徴】 ・奥行幅、共に１５cmの超小型でどこにでも手軽に持ち運び可能 ・評価、デモ機貸出可能。豊富な測定検査実績 ・低コストを実現。...
メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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大人気のTMEシリーズ
□TME-02A型/TME-02B型□ シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。 シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。 当社独自の「非接触ア...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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サファイアウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じたソーティングを行う…
仕分けすることにより厚さ異常のウェーハが次工程に流出することを防ぎます。 ウェーハ加工前後で厚さを測定することにより加工状態の管理も行えます。 また、カセットごとの厚さをそろえることにより、次工程での加工品質が向上します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です
、外周チャックを採用し、ジョイスティックにてウェーハ傾き,水平回転操作を行うことにより、ウェーハ表裏面の検査が可能です。 ・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能です。 ・ウェーハのカセットからの取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。 ・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送に対応します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です
カセット内ウェーハを検査ステージへ自動搬送を行います。 作業者による、合否判定結果によりウェーハを挿入するカセットを選択し搬送を行います。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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圧倒的なシェアを誇るCDSEM、日立S8000＆S9000シリーズ。装…
【装置改造】 ■ 中古装置リファービッシュ販売 ■ 小口径・化合物ウェハ対応改造 ■ SMIF→オープンカセット改造 ■ 複数ウェハタイプ（トレイ使レイ使用）改造 【定期メンテナンス】 ■ チップ交換 【移設業務】 ■ 構内移設 ■ 工場移設 【トラブル対応】...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
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バラバラになったウェハーをロットナンバー順に整列させる装置
ウェハに印字されたロットナンバーを読み取り、生産工程で順番がバラバラになったウェハーをロットナンバー順に整列させる装置です。昇順・降順の整列はもちろん、必要ウェハの抜き取り、１個のカセットから２個への分割、２個から１個への集約など３０パターンのレシピ設定が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： 玉川エンジニアリング株式会社
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ウェハ・ガラス基板+鏡面基板上の膜厚測定も可能な膜厚測定装置
定が測定可能 ■薄膜酸化膜、SOI、EG膜、カラーフィルター等の測定に優れる ■標準として3・4・5・6・8・12インチウェハに対応したオートステージ ■ローダ仕様にもオプションで対応可能(カセット・FOUP、ポート数にも応相談） ■測定ヘッド仕様よって、薄膜から厚膜の膜厚測定に対応 ■GEM通信はオプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラポールシステム
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本機械は、半導体製造工程でφ８”ウェハのマクロ検査及びミクロ検査を行う…
マクロ検査ではジョイスティック操作によりウェハ角度を自在に可変可能です。 また顕微鏡観察によるミクロ検査では接眼鏡筒とモニターでの観察を切換え可能です。 ウェハカセットは2個搭載可能です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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本機械は、φ4、5、6、8インチウェーハの厚さ測定する装置です。
イ方式のハンドを用いて薄物ウェーハの搬送も可能です。 搬送部はφ4インチ、5インチ、6インチ兼用ハンドとφ8インチ専用ハンドを搭載し段取替え不要での運用が可能です。 ・TME-07型からカセット搭載数、アライメント機構追加、搬送部追加により、低コストでパフォーマンスに優れた装置仕様となっております。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定さ…
シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。 当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。 ...バーコードリーダ及びレーザーマーク読み取り機能を装備し、読み取ったバーコードナンバー・二次元コードまたは文字をそれぞれExcelの指定セルに保存可能です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類
・カセットはローダ側12個アンローダ側15個設置可能です。 ・搬送はローダ、アンローダの搬送はシングルアームロボットを使用し真空吸着方式で搬送します。 ・測定データはパソコンに転送されます。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定したポイントの厚さを計…
・静電容量センサーにより非接触にて、ウェーハ厚さ測定を行います。 ・レシピ設定によりウェーハサイズ変更が可能で、段取り替え作業は不要です。 ・測定ポイントは中心1点、十字測定をレシピにて設定します。十字測定時のポイント数、位置の指定も可能です。 ・測定したデータは、付属パソコンに保存します。...ウェーハ厚さは100μm～1800μmに対応します。 （ウェーハサイズによります。）...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置で…
・ウェハーの厚さ測定位置は中心1点です。多点測定が必要な場合もご相談ください。 ・カセット30個まで搭載可能です。25枚入りなら最大750枚までセット可能です。 ・バーコードリーダ・ラベルプリンタをご希望により付属します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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ウェーハを1枚ずつローディングする装置です。
φ１５０ｍｍ用カセットを２個セットすることができ、装置からの信号により、ウェハーを１枚ずつ装置へ供給します。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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Siウェーハの厚さ測定、表裏面P/N判定
φ4”、5”、6”、8”インチSiウェーハの厚さ測定、表裏面P/N判定、比抵抗測定を行いその結果によりあらかじめレシピにて設定したカセットに仕分けを行います。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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非接触ウエハソーティングシステム【NC-3000R】
【ロボット搬送による非接触ウエハソーティングシステム】 ◆シリコンウエハの抵抗・厚さ・P/Nタイプを非接触センサーで測定 ◆標準カセット数：7（ローダー/アンローダー合計、各カセット数は任意に設定可能） ●対象ウエハサイズ：12インチ（または、6インチ＆8インチ）...
メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社
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抵抗率／シート抵抗測定器【WS-8800】
定、温度測定に対応可能（シリコンウエハ） ◆セルフテスト機能、校正機能、広範囲測定レンジ ◆厚さ・周辺位置・温度補正機能（抵抗率測定時） ◆シート抵抗・膜厚表示が可能（メタル膜測定時） ◆カセット数はご要望により、いくつでも対応可能 ◆通信ソフトウェア、SMIFまたはFOUP対応（オプション） ◆最大1,225点のマッピングソフトウェア（オプション） ●対象サイズ：3インチ〜8イ...
メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社
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抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RG-1000F】
抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RG-1000F】
【ガラスカセットエレベーターとガラス搬送機構を搭載した全自動システム】 ◆セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ ◆0.1mm分解能で、測定パターンを任意に設定可能 ◆ガラスマップ（サーチ）機...
メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社
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シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置で…
・ウェーハの厚さ測定位置は中心1点です。多点測定が必要な場合もご相談ください。 ・仕分けは同一ロットのカセットの中で並べ替えを行う方式ですので、仕分けランクが大きい場合は並べ替えを行わない割合が増え、従ってトータル処理時間は短縮します。 ・バーコードリーダをご希望により付属します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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