洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」

ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、…

度化する環境の中で求められる更なる歩留り向上、これらの問題をクリアーするソリューションの一つにコンタミネーションコントロールが最重要課題として位置付けられています。 テクノビジョンが提供するカセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、この様な高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウが凝縮されています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトッ…

ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。 剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄～スクラブ...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」

【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ

2インチから18インチのウエハ及び300mm口基板をローダーより多関節ロボットを使用し各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理する「枚葉式ウエハ処理装置」の総合カタログを無料配布中です！ デモも随時ご相談受付ておりますので、ぜひお気軽にお問合せ下さい！ ※詳しくはカタログをダウンロードもしくはお問合...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』

IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…

■仕様 乾燥対象：６インチ　１カセット相当 　　　　　シリコンウエハー、ガラス、部品等 槽構成：ステンレス製蒸気乾燥槽１層 　　　　アルミヒートブロック間接加熱方式 装置寸法（WxDxH）：1,050x1,200x2,000m...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…

■装置構成 ・薬液 APM、HPM、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水 ・搬送状態 カセット／ドラムならびにキャリアレス（※搬送ロボットは上部／下部の2種類があります。） ・乾燥 スピンドライヤー／リンサードライヤー／IPAドライヤー（※IPAは内製品です。） ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

バッチ式洗浄装置

クリーン化技術・搬送／制御 技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗…

装　置　仕　様 【洗 浄 対 象】 ～12 インチカセット（※対象サイズはご相談ください） 【槽構成】 ローダー（水中も可）→処理槽（最大９槽）→アンローダー ※乾燥は上記乾燥方式により選定...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

イノラス社製　ウェーハマーキング装置　IL2000

InnoLas Semiconductor社はドイツのミュンヘンに本社…

・対応ウェーハ：２インチ～200ｍｍ ･光源（レーザー）を変えることにより多種類の素材に印字可能 ・4つのカセットステーションで高スループットを実現 ・吸着式又はエッジハンドリングによるウェーハのロボット搬送 ・精度の高いアライナーによる高い印字位置精度 ・印字後、印字文字の読取及び位置計測（オプション...

メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社

完全自動化ダイシング装置『7220シリーズ』

開発から量産へ！効率的なウエハ運搬や迅速正確な位置合わせにより生産性ア…

ペースな完全自動化装置です。 効率的なウエハ運搬装置での流れ作業をはじめ、迅速正確な位置合わせや ブレード磨耗予告アルゴリズムで高さ測定時間を短縮し、生産性を高めます。 専用のドレスカセットで自動ブレード研磨が行えるほか、 タッチパネルディスプレーで操作性にも優れています。 【特長】 ■効率的なウエハ運搬装置による流れ作業 ■連続的なデジタル画像拡大装置で迅速正確な位置合...

メーカー・取り扱い企業： 日本技術産業株式会社

少数枚、特殊仕様に対応可　シリコンウエーハ販売

アズスライス、アズラップ、エッチドウエーハや低抵抗、高抵抗ウエーハも対…

ハの製作 ・異形、特殊サイズ（Ｍａｘ　Φ450ｍｍ）のウエーハ製作 ・厚さの薄いウエーハ、厚いウエーハの製作 ・ザグリ、切り抜き、穴あけ、溝入れ、サイズダウン加工等 ・ウエーハの再生 ・カセット洗浄 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

スピンコータ（SSC-01型）

溶液をスピンコートにより塗布する装置です

・操作盤はハンディタイプで、本装置の各作業面四方向へ取り回し可能です。 ・ローダ側、アンローダ側のカセットは各2個セット可能です。 ・スピン部は最高回転数6,000rpmで、プログラムによる3段階の回転数制御を行います。 ・ベークは近赤外ランプ式で行います。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

シリコンウェーハ用装置　製品カタログ

高平坦度なウェーハ加工を実現！当社が取り扱うシリコンウェーハ用装置を多…

ご紹介しています。 φ300mmシリコンウェーハ用の両面同時鏡面研磨のためのポリッシング装置 「DSM20B-5P-4D-AL」や、ドライイン-ドライアウト構造の「EP-300-X」、 カセットtoカセット、スロットtoスロットのウェーハ搬送が可能な 「EP-200-XW-II」などを掲載。 製品の選定に是非、ご活用ください。 【掲載内容】 ■DSM20B-5P-4D-A...

メーカー・取り扱い企業： スピードファム株式会社