- 製品・サービス
82件 - メーカー・取り扱い企業
企業
33件 - カタログ
244件
-
-
-
洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」
ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、…
度化する環境の中で求められる更なる歩留り向上、これらの問題をクリアーするソリューションの一つにコンタミネーションコントロールが最重要課題として位置付けられています。 テクノビジョンが提供するカセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、この様な高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウが凝縮されています。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社
-
-
-
-
ウェハー 一括移し替え器
簡単操作でイージーハンドリング！ ウェハーをカセットから別のカセットへ移送することができます。 〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜 ■操作が簡単！ ガイドに従ってレバーが動きますので、簡単な操作によりウェハーを移送するこ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンワハイテック
-
-
-
-
ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」
カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変…
ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。 【特徴】 ・4インチ～8インチウェハ用移載機 ・CR内でのウェハの自動移載が可能 ・2カセット同...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行
-
-
-
-
カセット搬送システム
チルト機構によりウェーハのズレがなくスムーズなカセット搬送が可能 様々なカセット仕様にもカスタマイズ対応 バッチや枝葉処理の装置どちらにも対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
-
-
-
-
Premtek RTP-1200A（SEC）（SEF）
4～8インチに対応した、シングルチャンバ全自動RTP装置です。搬送方式はオープンカセット・SMIFどちらかの選択で、カセットステーションは2台になります。 ウェハをサセプタに格納してプロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現しま...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
-
-
-
-
フルオートマティックスピン洗浄装置 300mm/8インチウエハー、ガラ…
本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。...
メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
-
-
-
-
洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…
多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種キャリア（カセット）の洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能出です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット
-
-
-
-
ダイシングフレームサイズ200mm・300mm。タクトタイム・搬送時間…
『PCT2022』は、所定のカセットに収納された200mm・300mm用 ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるウェーハカセット チェンジャーです。 使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセット。 各カセッ...
メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社
-
-
-
-
スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型
対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！
自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
切削・押出し加工のウエハーリングカセット！
当社では、アルミ製『ウエハーリングカセット』の設計・加工・製造を 行っております。 12インチ、8インチ、6インチ。各サイズでの製品がございます。 面取り加工（入口テーパー加工）、各種ストッパー加工、各種表面処理まで全て承ります...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファーストメタル
-
-
-
-
6・8インチ用 ウェハソータ W-ST-200A
8種類までのレシピ登録が可能な 6・8インチ用ウェハソータ 【特徴】 ○3軸円筒座標型ロボットにて、ウェハカセット間でウェハを移載 ○カセットは抜き取り用を含む3カセット仕様 ○番号に対するスロットの指定が可能 ○OCR、アライメントのON/OFFの設定が可能 ○クリーンルーム内での使用が可能 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング
-
-
-
-
テープ剥がし機
テープ剥がし機は、ウエハー上に貼られた保護フィルムを剥離する装置です。カセットで供給されたウエハーをアライナーで位置決めし、テープ剥離後同一カセットに排出します。 ■薄厚ワーク対応■ 独自の剥離機構と全面吸着テーブルの採用によりウエハへのストレスを最小限に抑え、薄ウ...
メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課
-
-
-
-
コンパクトな小口径薄物ウェハ用移載装置
『Sicホルダー移載機』は、横型酸化/拡散炉用のウェハーボートから プロセスカセットへの移し替え装置です。 受注後3ヶ月と立上調整3日でご提供いたします。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ECP
-
-
-
-
【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…
自動フォトリゾ装置は、カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。 勿論工程の選択も出来ます。 ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 ...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
6インチ用 ウェハローダー WR-100A
6インチ用、マニュアルタイプのウェハローダー 【特徴】 ○ウェハをカセットから顕微鏡の受け渡し位置へ渡し 作業終了後、カセットへ収納 ○検査するウェハは選択可能 ○オリフラ角度の設定が90度単位で可能（オプション） ●その他機能や詳細については、カタログ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング
-
-
-
-
加工の終了したφ300 mmウェーハを1枚ずつテフロンカセットへ収納し…
ウェーハは作業者により加工装置から吸着パッドでウェーハシュータ部へ置かれた後に ステージの傾斜と純水の吐出を利用してテフロンカセットへ滑り込ませ収納します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
-
-
-
-
EFEM
300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。 水平多軸ロ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
-
-
-
-
プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました…
プロトス、カセット間をダメージなく自動移載 ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応 ウェーハとプロトススペーサを自動識別 ワークの高さも自動認識 複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
-
-
-
-
一括カセットtoカセット移載
本機械は、φ200mmウェーハのカセットtoカセット移載を、手動操作にて行う装置です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
-
-
-
-
【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…
本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・…
【特長】 ■多孔質シリコンを全自動にて形成します。 ■裏面保護用治具を使用しない為カセットto カセットを可能にしました。 ■N型、P型両方に対応出来ます。 ■2～6インチまで各種サイズ対応いたします。8インチ以上はご相談ください。 ナノシリコン技術としてバイオメディカル・二...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン
-
-
-
-
【デモ機貸し出し可能！】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です
SFH typeは卓上型のスピンドライヤーです。 特に150mm□以下の基板をカセットに収納し、2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです。 蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入する事によりチャンバー内のク...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
3種類の動作が行える装置
φ6、8インチウェーハのカセットから取出しを行う【ロードモード】、カセットへ収納する【アンロードモード】、ロードモードとアンロードモードを交互に行う【出し入れモード】の3種類の動作が行える装置です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
-
-
-
-
指定カセットに収納されたウェーハのノッチ及びオリフラの向きを整列させる…
・カセットを2個セット可能です。 2カセットにすることにより作業時間を大幅に削減できます。 ・回転ローラーに特殊樹脂整列バーはステンレス材に樹脂コートを行い、 耐摩耗性と低発塵を達成しま...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
-
-
-
-
【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なカセットタイプのバッチ式…
300mmウエハ自動洗浄装置は、カセットタイプのバッチ式洗浄装置です。 Φ300まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能
カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。 チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場
-
-
-
-
フルオートUV照射機
ブラックライト仕様フルオートＵＶ照射機は、カセットにより供給されたウエハーフレームを自動で取り出し、ＵＶ照射・収納する装置です。ダイシング後、ピックアップしやすいようにUVを照射することでテープの粘着力を低下させます。 ８インチ、１２インチのウ...
メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課
-
-
-
-
UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー
光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、…
【主な仕様】 ■マスクサイズ：□3"～□7" ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ6", 角基板 □2"～4" ■カセットステージ：2組 ■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き：1組 ■露光光源：i線LED光源(500W相当) ■オートアライメント機能搭載(FAST社製) ■装置サイズ：(例)...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
【デモ機貸し出し可能！】蓋にULP又はHEPAフィルターを内蔵し、クリ…
本機は、ガラス基板やセラミックス基板、フィルム基板等の乾燥を行う装置です。 乾燥物は、専用カセットに入れた物をスピンドライヤーのローターにカセット枠を設け、其処にセットします。 チャンバー内は回転で陰圧となり、蓋に組み込まれたHEPAフィルターを通過したクリーンの風により、チャンバー内のクリ...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
FOUPオープナー
の必要機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。各カスタマイズ仕様につきましては、お気軽にお問い合わせ下さい。 ■特長 ・コンパクトサイズを実現したことにより、容易に設置が可能です。 ・カセットドア開閉動作を10秒以内で行います。 ・カセットを設置し、OPEN/CLOSEボタンを押すだけの簡単操作でドア開閉動作を行います。...
メーカー・取り扱い企業： レイリサーチ株式会社
-
-
-
-
大人気のTMEシリーズ
□TME-02A型/TME-02B型□ シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。 シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。 当社独自の「非接触ア...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
-
-
-
-
サファイアウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じたソーティングを行う…
仕分けすることにより厚さ異常のウェーハが次工程に流出することを防ぎます。 ウェーハ加工前後で厚さを測定することにより加工状態の管理も行えます。 また、カセットごとの厚さをそろえることにより、次工程での加工品質が向上します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
-
-
-
-
ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理
交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH…
組立可能）し、 ロボット機種及び製造メーカー別の主要機能の各種検査を行います。 各種検査をクリアしたロボットに対し、レベル調整(製造メーカーのスペックに合わせて、レベル調整作業) ウェーハ・カセットを使用し、サイクルテストを行います。 （ロボットアームでの繰り返し精度測定、プログラムにてOH後の品質及び精度確認を行います） ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードして...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行
-
-
-
-
-
ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です
、外周チャックを採用し、ジョイスティックにてウェーハ傾き,水平回転操作を行うことにより、ウェーハ表裏面の検査が可能です。 ・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能です。 ・ウェーハのカセットからの取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。 ・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送に対応します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
-
-
-
-
ファインソニックを使用しダメージを与えずにパーティクルの除去が可能
＜特長＞ ・カセット接触部の洗浄ムラも解消。 ・少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに。 ・消費電力を大幅にカット。 ・ 槽間移動時の薬液量を少量化。 ・ファインソニック（高周波発振器／振動子）を...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック
-
-
-
-
ウエハ移載機（ウエハソーター）
本装置は、2ステーションオープンカセット対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。 スループット： 350wph OCR / 850wph transfer...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー
-
-
-
-
φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です
カセット内ウェーハを検査ステージへ自動搬送を行います。 作業者による、合否判定結果によりウェーハを挿入するカセットを選択し搬送を行います。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
-
-
-
-
IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…
■仕様 乾燥対象：６インチ １カセット相当 シリコンウエハー、ガラス、部品等 槽構成：ステンレス製蒸気乾燥槽１層 アルミヒートブロック間接加熱方式 装置寸法（WxDxH）：1,050x1,200x2,000m...
メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
-
-
-
-
高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』
クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…
■装置構成 ・薬液 APM、HPM、SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水 ・搬送状態 カセット／ドラムならびにキャリアレス（※搬送ロボットは上部／下部の2種類があります。） ・乾燥 スピンドライヤー／リンサードライヤー／IPAドライヤー（※IPAは内製品です。） ※詳しくはPDF...
メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
-
-
-
-
デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず 、高純度のIPA…
装置仕様：IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥 乾燥対象：６インチ １カセット相当 シリコン、ガラス、部品等 槽構成：ステンレス製蒸気乾燥槽１層 アルミヒートブロック間接加熱方式 装置寸法：幅1,050(mm)× 奥行1,200(mm)× 高さ2,...
メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社
-
-
-
-
・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
-
