カセット | イプロスものづくり

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。独自技術により高温プロセスも効率化。パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速加熱処理が必要な方に好適な装置です。【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

フラットパネル製造関連製品　「搬送/洗浄工程用カセットなど」

搬送工程や製造工程上のあらゆる難問を高機能樹脂を駆使し解決

フラットパネル製造関連製品「搬送/洗浄工程用カセットなど」は、各種フラットパネルの製造工程で要求される大型化、軽量化、クリーン化、静電気対策に対応した搬送工程用カセットと液晶ガラス基板の洗浄工程に使用される洗浄工程用カセットです。液晶ガラス基板の液...

メーカー・取り扱い企業：関西理工株式会社

ウェハー　一括移し替え器

簡単操作でイージーハンドリング！ウェハーをカセットから別のカセットへ移送することができます。〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜 ■操作が簡単！ガイドに従ってレバーが動きますので、簡単な操作によりウェハーを移送するこ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンワハイテック

自動搬送カセットクリーンオーブン

一度に1セット分を処理できる！搬送機付自動カセットクリーンオーブンのご…

当社が取り扱う、『自動搬送カセットクリーンオーブン』をご紹介します。 8″ウェハ25枚1カセットを6個1セットとし、1台のクリーンオーブンとローダ、アンローダ側の搬送ロボットを使用。一度に1セット分を処理できる搬送機...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダン科学

エイ・ケイ・システム　液晶カセット運搬ロボット

テレスコピックアーム機構による、高速、高剛性のカセット搬送装置です。

テレスコピックアーム機構による、高速、高剛性のカセット搬送装置です。可搬重量最大300kg...

メーカー・取り扱い企業： AKシステム

薄型ウェハー搬送装置『TWH150/200/300』

化合物半導体ウェハーの搬送やオートメーションにも適した移載機

『TWH150/200/300』は、極薄ウェハー対応独立移載機としてカセットから カセット、カセットからポッド、ポッドからカセット、ポッドからポッドへ全自動詰め替え搬送を可能にします。分析計やプロセス装置と組み込みモジュールシステムとして薄型ウェハー搬送を ...

メーカー・取り扱い企業：デリクソンテクノロジージャパン株式会社

卓上型ソーター『SYAR110』

ファイバセンサ搭載！卓上型6、8インチ対応アライナ付ソータ装置

『SYAR110』は、卓上型ロボットとアライナ、カセットステージを組み込んだソータ装置です。ウェハをカセットから抜き取り、アライナでセンタリングとオリフラ位置決め後に、他方のカセットに移し替えができます。また、帯電防止塩ビカバー...

メーカー・取り扱い企業：アテル株式会社

ウエハチップ自動搬送・自動撮影システム『YATシリーズ』

顕微鏡メーカーを問わず搬送可能！

自動ステージとの組合せでフルオート搬送でき、マニュアル搬送モード単体機としても搬送可能です。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。【特長】 ■専用ソフトウエアによるカセット単位での完全自動搬送 ■搬送側での測定ウエハの選択・マニュアル搬送可能 ■ウエハ検出システムにより無駄のないタクトを実現 ■自動ステージ・カメラ制御による25枚自動撮影可能 ■ウエハ以外で...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤマトハンズ

バッファーコンベアII型『TB-9819』

ワークに衝撃振動を与えることなく搬送可能！クリーンルーム仕様のコンベア

『TB-9819』は、ハードディスクアルミニウム製造ラインのサブストレート収納カセット自動搬送、前後工程の受渡し用コンベアです。クリーンルームクラス10,000対応。移載部コンベア部はワークに衝撃振動を与えることなく搬送します。【特長】 ■クリーンルームクラス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トーテック城岡工場

無人搬送車『Intelligent AGV』

作業エリアのマッピングをもとに自律走行できる無人搬送車！

1,760mm（参考値） ■移載機能：マニピュレータロボット搭載（可搬重量10kg） ■搬送対象：FOUPまたはSMIF（2ロット）　　　　　　その他：マガジン、BOX、レチクル、トレイ、カセット ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：ユースエンジニアリング株式会社

『無人搬送台車』『重量物 / 特殊搬送台車』

自動倉庫とのトータルシステムを構築する無人搬送台車！重量物や特殊物の専…

Ｙ台車 ◆大型重量物搬送台車 ◆トロコン／床面レール埋設構造 ◆搬送ロールの無人搬送システム ◆紙ロールV型バケット移載装置AGV ◆織布工場における縦糸ビーム、オサ、およびドロッパーのカセット搬送 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マダックス

【省人化・自動化に】自動車分野の量産で培われたFA技術

産業装置、自動機の設計・製作等幅広く対応。自動車分野で培われたノウハウ…

ハウと技術力でより完成度の高い製品を開発。メインが、激化する自動車業界、半導体業界であることも当社の誇りです。【取扱製品（抜粋）】 ■ポストカード貼付機「PC9000」 ■カセット（ウエハー）搬送装置 ■組立用ストッカー ■自動梱包システム ■カメラによる検査装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ネクサス株式会社

株式会社メックシステム　事業紹介

メカトロニクス分野の自動化装置・ポジショナー・検査装置はお任せ下さい

内ポジショナー　・ロータリーポジショナー　・ポジションコントローラ　・3軸ポジショナー　他 ■クリーンルーム内搬送　・ガラス移載フォーク　・液晶基板移載フォーク　・ウェハカセット移載装置 ■電波暗箱・シールドボックス　・手動電波特性暗箱　・自動扉付シールドボックス　・アクチュエータ付暗箱　他 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メックシステム

卓上型ソーター『SYAR100』

レシピ選択により移載パターンの選択が可能！卓上型8インチウェハ対応ソー…

『SYAR100』は、卓上型ロボットとカセットステージを組み込んだソータ装置です。ウェハを1つのカセットから他方のカセットに移し替えできるほか、パソコン画面のレシピ選択により移載パターンの選択が可能です。帯電防止樹脂カ...

メーカー・取り扱い企業：アテル株式会社

【受託開発事例】M8011(OEM製品)シリコンウェハー搬送装置

シリコンウェハー搬送装置の受託開発事例をご紹介！

コンウェハー搬送装置』についてご紹介いたします。【概要】 ■開発製品：M8011(OEM製品)シリコンウェハー搬送装置 ■特長・シリコンウェハーの切り欠き部を検出し、一方に揃えカセット内に積み重ねていく装置・SH2マイコン＋PPMC312＋FPGAにより、多軸のACサーボ、ステッピング・モータを制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アンペール友部事業所/産業機器部