各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

石英カセット・石英ボート

２，４，６, ８inchウエハ用各種石英ボード、石英カセット

２，４，６, ８inch、各サイズのウエハ用 耐高熱石英ボード、石英カセットを加工いたします。 安価に挑戦します。...

メーカー・取り扱い企業： ルータ株式会社