各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

安定化　直流電源　高圧・中圧・低圧

安定化　直流電源　高圧・中圧・低圧

高性能、安定化直流電源装置で低電圧(350V迄)、中電圧(2KV迄)、高電圧(200KV迄)のいずれもカバー。他に特注品も製作。コンデンサ充電用、超伝導用、2極性のもの、カセット式のもの等、用途に特化した製品。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トランシー