• 各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』 製品画像

    各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

    PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール!4-8…

    『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

    メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

  • 油煙・オイルミストを完全除去 アブソレント Absolent 製品画像

    油煙・オイルミストを完全除去 アブソレント Absolent

    オイルミスト・油煙を徹底的に除去します 24時間フル稼働の生産現場で…

    なオイルの粒子はフィルタ内部の繊維部分に固着します。その結果、油滴となって、フィルタユニットの底部に落下してきます。その油分を回収し、マシンに還流させることも可能となります。 当社のフィルタカセットはスウェーデンのLidkopingに所在する自社工場で製造され、当社特許Catch & Release R機能を備えています。アルミニウム製セパレータの間に織り込まれた、綿密に選定されたフィルタ素...

    メーカー・取り扱い企業: ダイナミックツール株式会社

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