SSY-21000カセット搬送システム

カセット搬送システム

チルト機構によりウェーハのズレがなくスムーズなカセット搬送が可能 様々なカセット仕様にもカスタマイズ対応 バッチや枝葉処理の装置どちらにも対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ジェーイーエル　ソーターシステム6インチ

装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載

ソーターシステム6インチは、カセット2個を2段（計4個）に配置することで幅方向はインラインタイプの50％に縮小します。装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載しております。多軸型GCRタイプを搭載することによ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-10010　EFEM

EFEM

300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。 水平多軸ロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-10010プロトスワーク自動移載システム

プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました…

プロトス、カセット間をダメージなく自動移載 ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応 ウェーハとプロトススペーサを自動識別 ワークの高さも自動認識 複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

プロトスキャリア対応自動移載システム『SSY-20010』

ワークの高さを自動で認識できるプロトスキャリア対応自動移載システム

『SSY-20010』は、プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送する 自動移載システムです。 プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載でき、ベルヌーイチャックを 搭載しているので、薄物ウェーハにも対応しています。 また、ウェーハとプロトススペーサ(層間紙)の自動識別が可能で、ワークの高さを 自動...

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GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

【オプション】ベルヌーイピンセット

吸着保持ではないため、ウェーハ破損のリスクを最小限にできます

どをベルヌーイ保持できる軽量、コンパクトなピンセットです。 吸着保持ではないため、ウェーハ破損リスクを最小限にできます。先端部がフレキシブルに動き、平置きはもちろん、ウェーハケースやウェーハカセットからの取出・収納が可能です。又、ウェーハのみならず、様々な特殊ワークに対応が可能です。 【特徴】 ■サイクロン効果によりワークを吸着せずに保持可能 ■ワークとの接触はパッド（材質：フッ素...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 5...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-10020

ロード/アンロードシステム

ワークサイズ、カセット数、アライナなど各種対応致します。 仕様につきましてはお問合せ下さい。...

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