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19件 - メーカー・取り扱い企業
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PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…
『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...
メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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加工の終了したφ300 mmウェーハを1枚ずつテフロンカセットへ収納し…
ウェーハは作業者により加工装置から吸着パッドでウェーハシュータ部へ置かれた後に ステージの傾斜と純水の吐出を利用してテフロンカセットへ滑り込ませ収納します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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一括カセットtoカセット移載
本機械は、φ200mmウェーハのカセットtoカセット移載を、手動操作にて行う装置です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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3種類の動作が行える装置
φ6、8インチウェーハのカセットから取出しを行う【ロードモード】、カセットへ収納する【アンロードモード】、ロードモードとアンロードモードを交互に行う【出し入れモード】の3種類の動作が行える装置です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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指定カセットに収納されたウェーハのノッチ及びオリフラの向きを整列させる…
・カセットを2個セット可能です。 2カセットにすることにより作業時間を大幅に削減できます。 ・回転ローラーに特殊樹脂整列バーはステンレス材に樹脂コートを行い、 耐摩耗性と低発塵を達成しま...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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大人気のTMEシリーズ
□TME-02A型/TME-02B型□ シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。 シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。 当社独自の「非接触ア...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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サファイアウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じたソーティングを行う…
仕分けすることにより厚さ異常のウェーハが次工程に流出することを防ぎます。 ウェーハ加工前後で厚さを測定することにより加工状態の管理も行えます。 また、カセットごとの厚さをそろえることにより、次工程での加工品質が向上します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です
、外周チャックを採用し、ジョイスティックにてウェーハ傾き,水平回転操作を行うことにより、ウェーハ表裏面の検査が可能です。 ・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能です。 ・ウェーハのカセットからの取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。 ・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送に対応します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です
カセット内ウェーハを検査ステージへ自動搬送を行います。 作業者による、合否判定結果によりウェーハを挿入するカセットを選択し搬送を行います。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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本機械は、半導体製造工程でφ８”ウェハのマクロ検査及びミクロ検査を行う…
マクロ検査ではジョイスティック操作によりウェハ角度を自在に可変可能です。 また顕微鏡観察によるミクロ検査では接眼鏡筒とモニターでの観察を切換え可能です。 ウェハカセットは2個搭載可能です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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本機械は、φ4、5、6、8インチウェーハの厚さ測定する装置です。
イ方式のハンドを用いて薄物ウェーハの搬送も可能です。 搬送部はφ4インチ、5インチ、6インチ兼用ハンドとφ8インチ専用ハンドを搭載し段取替え不要での運用が可能です。 ・TME-07型からカセット搭載数、アライメント機構追加、搬送部追加により、低コストでパフォーマンスに優れた装置仕様となっております。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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溶液をスピンコートにより塗布する装置です
・操作盤はハンディタイプで、本装置の各作業面四方向へ取り回し可能です。 ・ローダ側、アンローダ側のカセットは各2個セット可能です。 ・スピン部は最高回転数6,000rpmで、プログラムによる3段階の回転数制御を行います。 ・ベークは近赤外ランプ式で行います。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定さ…
シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。 当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。 ...バーコードリーダ及びレーザーマーク読み取り機能を装備し、読み取ったバーコードナンバー・二次元コードまたは文字をそれぞれExcelの指定セルに保存可能です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類
・カセットはローダ側12個アンローダ側15個設置可能です。 ・搬送はローダ、アンローダの搬送はシングルアームロボットを使用し真空吸着方式で搬送します。 ・測定データはパソコンに転送されます。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定したポイントの厚さを計…
・静電容量センサーにより非接触にて、ウェーハ厚さ測定を行います。 ・レシピ設定によりウェーハサイズ変更が可能で、段取り替え作業は不要です。 ・測定ポイントは中心1点、十字測定をレシピにて設定します。十字測定時のポイント数、位置の指定も可能です。 ・測定したデータは、付属パソコンに保存します。...ウェーハ厚さは100μm～1800μmに対応します。 （ウェーハサイズによります。）...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置で…
・ウェハーの厚さ測定位置は中心1点です。多点測定が必要な場合もご相談ください。 ・カセット30個まで搭載可能です。25枚入りなら最大750枚までセット可能です。 ・バーコードリーダ・ラベルプリンタをご希望により付属します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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ウェーハを1枚ずつローディングする装置です。
φ１５０ｍｍ用カセットを２個セットすることができ、装置からの信号により、ウェハーを１枚ずつ装置へ供給します。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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既存コンベア上を移動するご指定基板を別のコンベアに移載、もしくは専用カ…
・非接触 P&P方式により同時に3枚の基板を搬送します。 ・ワークサイズはご相談下さい。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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Siウェーハの厚さ測定、表裏面P/N判定
φ4”、5”、6”、8”インチSiウェーハの厚さ測定、表裏面P/N判定、比抵抗測定を行いその結果によりあらかじめレシピにて設定したカセットに仕分けを行います。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置で…
・ウェーハの厚さ測定位置は中心1点です。多点測定が必要な場合もご相談ください。 ・仕分けは同一ロットのカセットの中で並べ替えを行う方式ですので、仕分けランクが大きい場合は並べ替えを行わない割合が増え、従ってトータル処理時間は短縮します。 ・バーコードリーダをご希望により付属します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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