電子線描画装置『CABL-UH』

微小放電がほとんど発生しない構造の鏡筒を新たに開発し、長時間安定稼動を…

『CABL-UH』は、高加速電圧の採用により、レジスト内の電子線の 前方散乱が少なく、より微細な加工が可能な電子線描画装置です。 130kVの加速電圧は1段加速で生成し、従来の多段加速による電子銃よりも 短い構造となっています。この1段加速の設計により、低収差で クーロンぼけの少ない電子光学系が実現しました。 また、お客様の用途、予算に応じて110kV、90kVのラインアップも ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クレステック 本社