シリコンウエハ | イプロスものづくり

PR吸水性、洗浄性、清浄度向上、ソフトな風合いの２種類のＰＶＡスポンジをラ…

シリコンウエハやフォトマスク、ＦＰＤ用ガラス基板等で使用実績のあるPVAスポンジと吸水・吸液・洗浄などに使用されるPVAスポンジと特にシリコンウエハやフォトマスク、FPD用ガラス基板等で使用実績のあるPVAスポンジの2種類をラインアップ【ベルイータDシリーズの特長】 ■ウエット状態(含水状態)では、柔軟性、弾力性を持ち、吸水性にも優れる ■気孔径のバリエーションが広く、目的に応じた品番...

メーカー・取り扱い企業：アイオン株式会社

【EBSDによる解析例】シリコンウエハ

測定したシリコンウエハは単結晶！IPFマップ、極点図、逆極点図は比較的…

EBSDで解析したシリコンウエハの事例をご紹介いたします。ウエハから小片を切り出し、中央50×50μmの領域にてIPFマップを取得。測定範囲内は、{001}面を表す赤色を示し、また、粒界が見られないことから単...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

落下塵カウンターDTSP10シリーズ　測定サービス

ゴミブツ不良でお困りの方、必見！！

【手順】 1.メール、ＦＡＸにて測定サービスのお申し込みをお願い致します。　折り返し、支払い方法等の連絡をとらさせて頂きます。 2.落下塵収集用のシリコンウエハを送付致します。 3.添付の測定マニュアルに従いシリコンウエハをセッティング・回収。 4.弊社までシリコンウエハを送付して下さい。 5.実働10日程度で測定結果をデータにて送付致します。...

メーカー・取り扱い企業： NCC株式会社

【分析事例】貼り合わせウエハ内部の空隙調査

超音波顕微鏡による内部空隙の観察事例

パワーデバイスやMEMSデバイスなどに用いられる、貼り合わせシリコンウエハを作成する際、貼り合わせ工程において界面に局所的に空隙が発生する事があります。 300mm貼り合わせウエハ内部を超音波顕微鏡を用いて観察しました。その結果、複数箇所にて1mm～20mm程度の...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ウエハ表面の金属・有機物汚染評価

複数手法の分析結果より、複合的に評価

評価することで発生原因を究明し、不具合を改善することができます。本資料では、Siウエハ表面に付着した汚染をICP-MSとSWA-GC/MS※で複合的に分析した事例をご紹介します。 ※SWA（シリコンウエハアナライザー）-GC/MSとは、ウエハごと電気炉で加熱して有機物をガス化し、GC/MSで測定する手法です。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ウエハー平坦度測定機『Wafercom 300』

シリコン透過式変位センサーを用いて、シリコンウエハ厚みを非接触で検出し…

『Wafercom 300』は、ベアーウエハー対応の多機能な計測装置です。シリコン透過式変位センサーを用いてシリコンウエハ厚みを非接触で検出。測定時の揺れを最小限にする為、Y 軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)にはインド産黒御影石を使用した高精度なエアーベアリングを採用しており、ウエハの厚みデータを正...

メーカー・取り扱い企業：土井精密ラップ株式会社

技術情報誌 201909-01 シリカ表面のシラノール基の定量

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

する重要な因子である。本稿では、精度および感度が高く、安定的にシラノール基を定量する手法を紹介する。【目次】１．はじめに２．原理３．シリカ粒子の反応性シラノール基の定量４．シリコンウエハの表面シラノール基の定量５．シラノール基量の加熱による変化６．まとめ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東レリサーチセンター

高精度高機能低抵抗率計『ロレスターGXII MCP-T710』

カラー液晶タッチパネルにより高性能・簡単操作！4端子4探針法

、データ管理をタッチで実行します。【特長】 ■測定範囲を0.001×10^-4～9,999×10^7Ωまで拡大 ■スタートボタン押すだけで自動的に測定可能 ■シリコンモードによりシリコンウエハの測定も可能 ■印加電流可変機能により電流を流し難い試料にも対応可能 ■電流の極性反転により更に安定な測定が可能 ■PCへの測定結果のリアルタイム出力可能(別売のデータロガーソフト使用)...

メーカー・取り扱い企業：日東精工アナリテック株式会社

薄ウエハー厚み測定機『Real BG300』

Y軸とθ軸にてスパイラル軌道による全面の厚み測定も可能な測定機をご紹介

『Real BG300』は、バックグラインド工程後の多機能な厚み計測装置です。高精度なX軸(左右軸)、Y軸(前後軸)とθ軸(回転軸)を有し、XYθ軸にて 2本の中心ライン測定、切断されるチップ間のスクライブライン測定が可能。また、透過式変位センサーを使用している為、バックグラインドフレーム付きウエハ・保護膜付きウエハも測定出来ます。【特長】 ■シリコン透過式変位セン...

メーカー・取り扱い企業：土井精密ラップ株式会社

抵抗率・厚み測定器【EC-80SCAN】

【面内直線上をスキャン測定可能な、非接触抵抗率/厚さ測定器】 ◆抵抗率・厚さセンサーを搭載し、１度に２種類の測定データ表示可能なので、太陽電池シリコンウエハの測定に最適 ◆抵抗率・厚さ測定は１点測定の他に、面内直線上を測定し、グラフ表示可能な『スキャン測定モード』を搭載 ◆エアーフローティングステージにより、ウエハ取扱いが容易 ◆測定データ...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など厚さ数nm以下の極薄膜について、XPS分析によって膜厚を算出した事例をご紹介します。Siウエハ最表面のSi2pスペクトルを測定し、得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程から膜厚を見積もることが可能です（式１）。 XPSでは非破壊かつ簡便に、広域の平均情報として基板上の薄膜厚みを算出す...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

抵抗率／シート抵抗測定器【CRESBOX】

ション：オートステージシャッター） ●ユーザーフレンドリー性の高いパソコン+専用ソフトウェアでの操作システム ●測定パターンプログラマブルのため、円型・角型測定可能 ●セルフテスト機能、シリコンウエハ測定用厚さ・周辺位置・温度補正機能 ●シート抵抗・メタル膜厚表示可能 ●円型：最大1,225点、角型：最大1,000点の2-Ｄ/3-Ｄマッピングソフトウェア（オプション） ●対象ウエ...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

リアルタイム放射率補正型半導体プロセス温度モニター

半導体プロセス中の対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うた…

当温度モニターは、今までに解決できなかった放射率に対する問題とシリコンウエハのプロセス中の測温に対する問題を一挙に解決できる、次世代の非接触半導体プロセス温度モニターです。　ウエハの放射率もリアルタイムにモニタリング。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイ・アール・システム

ＰＮ判定器【PN-12α】

【広範囲な抵抗レンジで測定可能な接触型PN判定器】 ◆判定方式：熱起電力方式（ホット＆コールドプローブ） ◆ペン型のプローブを当てるだけで判定が可能 ◆ほとんどの試料（シリコンウエハ、バルク、インゴット）に対応（表面が酸化している試料は判定不可能） ◆温度計、アナログメーターを標準装備 ◆自動ウエハ搬送装置に組込使用が可能（PN-12β） ●対象ウエハサイズ...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

金 /銀 / アルミ / ITO コート基板

金 /銀 / アルミ / ITO コート基板 (スライドガラス / …

回折(XRD)、半導体等、多種多様な研究用途に原子間力顕微鏡(AFM)、走査型電子顕微鏡(SEM)、透過型電子顕微鏡(TEM)他電子顕微鏡全般でご使用ください。スライドガラスのみならずシリコンウエハや雲母基板もございます。金(Au)/銀(Ag)/アルミ(Al)/ITOコートがメインです。高反射率の金蒸着スライドはSEMによる反射電子像【BSE(Back Scattered Ele...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和貴研究所千葉県松戸市小金原7-10-25

シリコンウエハー専用　酸素分析装置『O836Si』

非分散型赤外線検出法を採用！高精度の酸素分析装置をご紹介

『O836Si』は、シリコン業界における低濃度・高精度酸素分析の需要に応えるために開発された、シリコンウエハー専用酸素分析装置です。高い精度を誇る非分散型赤外線検出器、最新のサンプルローディングシステムとプログラム可能なインパルス炉の組み合わせで正確・高精度な酸素分析を可能にします。 ...

メーカー・取り扱い企業： LECOジャパン合同会社

抵抗率／シート抵抗測定器【NC-10】

接触の渦電流法なのでダメージを与えることなく測定が可能 ◆測定レンジにより、MiddleとHighの組み合わせセンサー交換式（オプションでLowセンサーもお選び頂けます） ◆温度補正機能（シリコンウエハ） ●対象ウエハサイズ：3インチ〜8インチ、または〜140mm角（オプション：2インチまたは12インチ対応、140mm以上の角型基板）（※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

【分析事例】撥水箇所の成分分析

TOF-SIMSは複数成分の広域イメージング評価が可能です

密着不良などの不具合の原因を探るためには、ウエハやデバイスの表面の知見を得ることは重要です。今回、シリコンウエハ上に撥水箇所が確認されたため、TOF-SIMSで広域イメージングを実施しました。その結果、撥水箇所からはシリコーンオイル、CF系グリース、パラフィンオイルと推定される成分が確認されました。TO...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

Lumetrics 非接触多層膜厚測定器『OPTIGAUGE』

お手持ちのPCに接続可能！12μm～16mmの厚さをインラインで簡単測…

ム、粘着テープからレンズまで、あらゆる測定ができ、各層の厚さを順番どおりに表示するため、結果も見やすく便利です。【使用例】 ●FPD用部材 ●光学レンズ厚、コーティング厚測定 ●シリコンウエハ厚測定 ●各種チューブの肉厚、内径、外径測定 ●各種フィルム・シートの多層膜厚測定 ●医療用バルーンの膜厚、コーティング厚測定 ●ガラス膜厚測定　※カタログでは、　　「多層...

メーカー・取り扱い企業：伊藤忠マシンテクノス株式会社

マニュアル型透明基盤検査装置

ニーズにお応えする基板異物検査装置

「マニュアル型透明基盤検査装置」はYGK（山梨技術工房）製の、ワーク設置マニュアル形式ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置です。小型、安価でありシリコンウエハ、ガラス基板の異物測定が可能で、これまで難しかったガラス基板の表裏分離測定やSiC表面の潜傷の検出を可能にしました。また、お客様のシリコンウェハ／ガラス基板等、製品サンプル及び製品...

メーカー・取り扱い企業：ファーストゲート株式会社本社、大阪オフィス、笹目倉庫

OGP マルチセンサー三次元測定機スマートスコープZIP250

多くのユーザーが信頼を寄せる測定機のベストセラーモデル

【実績の多い業種・部門など】プラスチック成形品、各種金型、基盤、シリコンウエハ 微細プレス（コネクタ端子）、切削加工品（マシニングセンター、旋盤など）ゴム製品、医療部品など ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業：ＹＫＴ株式会社

［AFM］原子間力顕微鏡法

ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測

AFMは、微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。・金属・半導体・酸化物など、絶縁体から軟質の有機物まで幅広い試料を測定可能・接触圧力が弱いタッピングモードを用いることで、試料ダメージを最小限に抑えることが可能...■使用する探針シリコン単結晶ウエハを加工して作られた鋭い探針で試料表面を走査します。先端径は10nm未満にまで加工されています...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

平板型赤外線加熱炉　IR-FP Series

赤外線集光加熱により秒速・高温・均一加熱が可能です。お客様のニーズに合…

は、Max1100℃まで加熱可能な平板型の赤外線加熱炉です。各ゾーンごとの出力調整が可能なため、色々な温度環境での加熱が可能です。クリーンな加熱で真空対応やガスフロー、観察も可能です。シリコンウエハ、化合物半導体及び薄版鋼板加工の加熱に最適です。樹脂やフィルム、接着剤の耐熱・変形・観察の用途に使用できます。試料サイズにより炉サイズの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、ま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社米倉製作所

【分析事例】XPS多点測定による広域定量マッピング

最大70×70mm領域の組成分布評価

XPS多点測定による広域定量マッピングの事例をご紹介します。 シリコンウエハ上の有機物残渣について、以下の手順で評価いたしました。ピーク強度ではなく存在量（原子濃度）をグラフ化するため、試料凹凸等の影響を受けにくく、且つ広域でのデータ取得が可能です。試料表面付着物...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

マイクロツール『ハードメタルツール』

切削・マーキングに最適

対象物を突付く・押し退ける・擦る・切削する・こそぐ・切る等、大変多用途に使用可能なハードメタル製のプローブです。 5μmのプローブは、金属・シリコンウエハ・硝子の様な硬質材料の微小エリア切削や、FIB加工前のターゲット用マーキングが実現できます。マイクロピーラーは、先端が彫刻ノミ形状になっておりますので、高分子材料表面の平面切削や、微小埋没...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マイクロサポート本社営業部・開発部

超微量分析サービス

クリーンルームの環境評価分析も承ります！

を用いた『超微量分析サービス』を提供しております。試料に含まれるきわめて微量の元素やイオンの種類・濃度を調べ、純度評価や超微量不純物の分析を実施します。【分析例】 ■シリコンウエハ表面の微量金属および陰イオンの分析 ■高純度試薬中の微量金属の分析 ■セラミックスの中の微量特定有害金属の分析 ■RoHS指令関連分析 ■クリーンルーム中の金属元素および陰イオンの分析...

メーカー・取り扱い企業：株式会社UBE科学分析センター名古屋営業所

原子間力顕微鏡『ハンディAFM』

圧倒的な分解能を実現！今まで隠れていた微少な現象を測定

【測定検査例】 ■ソーラーセル ■炭化珪素薄膜 ■量子ドット ■シリコンウエハ ■プローブ痕 ■ICパターン ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ソフトワークス株式会社

Si フォトダイオード (TOパッケージ) (Si PD)

◆逆バイアス状況下で駆動◆大口径、四角形もラインナップ◆低ダークカレン…

■スペクトル検出範囲：400nm～1100nm LD-PDはMIL-I-45208に準拠した検査システムを導入しており、 Telcordia試験要件（TA-NWT-00093）およびMIL-STD-883試験方法に準拠しています。【パラメータ：Typical値・シンボル・試験条件】 ●丸形φ0.2～φ8.0mm ディテクタサイズ(mm)：φ0.2、φ0.5、φ1、φ2、φ4、φ5、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オプトロンサイエンス

非接触ウエハソーティングシステム【NC-3000R】

【ロボット搬送による非接触ウエハソーティングシステム】 ◆シリコンウエハの抵抗・厚さ・P/Nタイプを非接触センサーで測定 ◆標準カセット数：7（ローダー/アンローダー合計、各カセット数は任意に設定可能） ●対象ウエハサイズ：12インチ（または、6インチ＆8...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

ＰＮ判定器【ＰＮ-50α】

【センサーに近づけるだけで瞬時に判定可能な非接触ＰＮ判定器】 ◆判定方式：光パルス照射による光起電力方式 ◆非接触方式のため、シリコンウエハにダメージを与えません ◆表面に酸化膜のあるウエハも判定可能 ◆光パルス照射のため、瞬時に判定可能 ◆ＰＮ判定可能な抵抗率範囲：0.1〜1,000Ω/cm 　　　　（ただし、ウエハの表...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

ＰＮ判定器【ＰＮ-1Ｓ】

【スピーディーな測定が可能な接触型PN判定器】 ◆判定方式：整流電力方式 ◆ほとんどの試料（シリコンウエハ、バルク、インゴット）に対応（表面が酸化している試料は判定不可能） ◆測定ステージに載せ、0.2mmの細い2本の探針部に軽く接触させるだけで、瞬時に測定が可能 ◆自動ウエハ搬送装置に組...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器【WS-8800】

【4探針測定器にロボットとアライメントユニットを搭載した全自動システム】 ◆厚さ測定、P/N判定、温度測定に対応可能（シリコンウエハ） ◆セルフテスト機能、校正機能、広範囲測定レンジ ◆厚さ・周辺位置・温度補正機能（抵抗率測定時） ◆シート抵抗・膜厚表示が可能（メタル膜測定時） ◆カセット数はご要望により、いくつで...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

【分析事例】極薄SiON膜の組成・膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など、厚さ数nm以下の極薄膜について、サンプル最表面のSi2pスペクトルを測定します。得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程から膜厚を見積もります（式１）。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST