リアルタイム放射率補正型半導体プロセス温度モニター

半導体プロセス中の対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うた…

当温度モニターは、今までに解決できなかった放射率に対する問題とシリコンウエハのプロセス中の測温に対する問題を一挙に解決できる、次世代の非接触半導体プロセス温度モニターです。　ウエハの放射率もリアルタイムにモニタリング。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム