MBE関連製品　MBE装置

基板サイズ1”～6”、Ⅲ－Ⅴ族、Ⅱ－Ⅵ族対応等お客様の使用環境・使用目…

す。 ○分子線セル、基板回転加熱機構等主要部品は、加熱脱ガス処理を行っています。 ○RHEED、BFM、ラジカル源等豊富なオプションが選べます。 ○排気操作、プロセス操作は、タッチパネル、シーケンサーによる自動運転が可能です。 ○搬送は、トロッコ搬送、トランスファー搬送に対応できます。又、自動搬送も可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社