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PRエアステージLBTシリーズ
エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50mm~500mm エンコーダは用途により1um~0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...
メーカー・取り扱い企業: TOYO ROBOTICS株式会社
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PR【動画有り】面倒な金型の交換作業が要りません。 1台に最大12の金型…
金型の交換作業はボタンを押すだけ。 テーブルが回転し、使いたい金型が10秒かからずに作業者の前に移動します。 ページ下部に動画を掲載していますので是非ご覧ください。 富士機工は1973年創業以来、板金加工のための、安全で効率よく誰にでも簡単に扱えるアイデア金型を多数生み出してきました。 また、独特かつ画期的な油圧プレス機、パンチングプレス機、バリ取り機等を製造販売し、全国各地で...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社富士機工
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エンコーダ内蔵!高分解能位置決めステージ
ダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルの特注例です。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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手動動作タイプ!各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測…
高解像度赤外線CMOSカメラとイメージ エンハンサソフトにより各種シリコンデバイス界面の各部寸法を鮮明な 画像で計測することができる赤外線透過反射顕微鏡システムです。 フォーカス軸は長ストロークになっていますので高さのある冶具に 搭載したままウエハーの検査、計測が可能です。 【特長】 ■X軸、Y軸、Z軸にリニアスケールを搭載しているため視野外の精密な 計測が可能 ■X軸...
メーカー・取り扱い企業: ディスク・テック株式会社 本社
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