超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』

PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…

『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと 楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。 加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。 ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。 はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

スパッタの基礎と装置の改善策 ～トラブルから見た膜厚分布改善

★スパッタプロセス時に要求される、膜厚分布の改善、パーティクルの低減改…

講　師 株式会社アルバック 　半導体電子技術研究所　研究部　部長　様　 対　象 スパッタリング、薄膜技術に関心のある技術者・研究者・担当部門・初心者など 会　場 東京中央区立産業会館 4F　第2集会室【東京・日本橋】 都営新宿線 馬喰横山駅 地下通路経由　　B4出口 5分　(道...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech

『高速スパッタリングによるさまざまな用途への成膜技術および装置面

※9月3日までに初めてお申込いただいた新規会員様は早期割引価格⇒42,…

第1部　スパッタの基礎と装置から見た改善策 1.スパッタリングの基礎 2.スパッタ装置の改善と変遷 3.膜厚分布の改善 4.ステップカバレージの改善 　4-1　ステップカバレージの改善要求 　4-2　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech

【セミナー8/28】『スパッタリング』の基本と考え方 ， 膜の

スパッタリング率の測定法は？

名古屋大学 客員教授】 　 <経歴> 1977年 キヤノン(株)にて半導体露光装置用光学薄膜プロセス， 膜設計の開発に従事 　　　　　　 1982年 旭硝子(株)にて建築・自動車用硝子スパッタ，膜開発に従事 　　　　　　 2003年 (有)アーステックを設立 　　　　　　 2009年8月より 名古屋大学 客員准教授を経て客員教授 ■　開催要領 日　時 ： 2023年8月...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No79

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.79です。【アルバッ…

ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.79は、真空に関する最新技術資料です。 大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術や、結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発、OLED用薄膜封止装置 CEE-950の開発、リークディテクタ HELIOT900シリーズの開発、マグネットカップリング搭...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

【書籍】透明導電膜有力材料の実力とプロセス技術、実用・製品化

より低コスト、高性能な透明導電膜を＜作る・使う＞ための最新技術集成

究開発の最前線 　酸化亜鉛　グラフェン　ＣＮＴ　銀ナノワイ　PEDOT　…etc ◆ 高品質成膜、大面積、量産化目的に応じたプロセス技術 　水熱法　ソルボサーマル法　大面積・量産スパッタリング　ECRスパッタ法　RPD法　CVD法　　ロールtoロール　インクジェット法　塗布形成　エレクトロスプレーデポジション法　…etc ◆ 乾式・湿式に応じた成膜材料 　ターゲット　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社情報機構

次世代住宅に採用される高遮熱・透明断熱フィルム・シートの最新技術

★「省エネ住宅」で注目が集まる次世代住宅市場! ★市場に必要とされる…

結露を防止する断熱機能があり安価で簡単な工事ができる。２商業ビルや公共ビルにあっては特に夏の日射エネルギーを室内に持ち込まない省エネ効果と熱割れ危険のない遮熱フィルムであると考える。本講演では、新スパッタ技術による透明断熱フィルムの特徴について従来技術による製品との類似点、相違点について述べる。 【第３講　講演趣旨】 本発表では、レビューを含めた調光ガラスの概要や調光ミラーデバイスの諸特性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech

【技術セミナー】薄膜技術の高度化と素材デバイスへの応用の最新動向

薄膜形成・品質制御の高度化から先端分野の最新活用事例まで

ィスプレイ材、半導体フォトマスク、タッチパネル、次世代FPD用薄膜の技術開発に従事。 現在、技術士事務所ソメイテック、アイアール技術者教育研究所所長。 電子デバイス・半導体技術に携わり、蒸着、スパッタ、めっき、エッチング、フォト／電子線リソグラフィ、コンバーティング、表面分析に関する技術経験を有する。 薄膜プロセスは半導体用バッチ試作機による基礎開発から世界最大クラスのインライン、ロールツー...

メーカー・取り扱い企業： 日本アイアール株式会社

ウエハ加工　基板・実績

シリコンウエーハ、ガラスなどを主に、お客様のニーズに応じた加工サービス…

)ホールパターンウエハ上にバリア層/Cuめっき膜製作(200/300mm) ○シャロートレンチアイソレーションCMP評価用ウエハの製作 ○層間絶縁膜 CMP評価用ウエハの製作 ○各種金属膜(スパッタ)の堆積 ○Cuメッキ膜の堆積 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： グローバルネット株式会社