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408件 - メーカー・取り扱い企業
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39件 - カタログ
371件
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超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』
PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…
『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと 楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。 加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。 ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。 はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...
メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社
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PR【変わる世界に、光でこたえを。】高出力Blueレーザによる高速・高品質…
『ALCIS』 日々進化する素材や工程に対応する柔軟な加工機 高出力Blueレーザ発振器/ファイバーレーザ発振器を搭載 「高出力Blueレーザ」 高出力BLUEレーザ（３kW/４kW）により、高速・スパッタレスの銅溶接を実現します。 「スキャナヘッド」 スキャナヘッドにより多数の加工点の高速加工を実現。 コンビ加工、オンザフライ加工、スキャナ加工の三つの加工方法で、 好適な加工方法を選択可能で...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アマダ（アマダグループ）
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実験・研究・評価・試作に好適！ガラス、金属などの平板基材に高速、高精度…
『VS-R400G』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、 超高速、高品質な真空成膜を実現するスパッタ装置です。 LIA方式の誘導結合型プラズマ(LIA-ICP)によるアシスト効果により、 成膜速度を落とすことなくダメージを低減し、高品質な成膜を実現。 また、高密度プラズマの特性を活...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ
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ガラスクロス・アラミド繊維を使用した耐摩耗・耐スパッタチューブ 溶接…
ガラスクロス・アラミド繊維を用いて作製された、耐摩耗・耐スパッタ用チューブです。 溶接によるスパッタから、配線の保護を行いたい、 マシニングロボット等の可動部にある配線を保護したい、 というニーズをお持ちの企業様にご採用いただいております。 ま...
メーカー・取り扱い企業： 日本ジッパーチュービング株式会社
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システムの導入で、飛散がなく均一かつ適量の塗布を実現した事例のご紹介
某メーカーの自動車組み立て工場へ、スパッタ付着防止剤の自動塗布 システムを導入した事例をご紹介いたします。 溶接ラインに粒子径が大きく飛散しづらい一流体方式を採用。 また、過剰な塗布を防ぎ適量をスプレーするため、塗布量を精密制御...
メーカー・取り扱い企業： スプレーイングシステムスジャパン合同会社
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実験・研究・評価・試作に好適！樹脂フィルムや金属箔に高速、高精度、低ダ…
『VS-R400F』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、 超高速、高品質な真空成膜を実現するスパッタ装置です。 LIA方式の誘導結合型プラズマ(LIA-ICP)によるアシスト効果により、 成膜速度を落とすことなくダメージを低減し、高品質な成膜を実現。 また、高密度プラズマの特性を活...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ
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「FHR.Star.600-EOSS」は、精密な光学フィルター成膜用と…
の安定成膜 ・最大４基のカソードの搭載による、幅広い多層膜の成膜 など、高品位な光学薄膜成膜に特化した装置です。 特徴 ■傑出した光学多層膜の再現性 ■優れた膜厚均一性 ■シリンダー型カソードとスパッタアップとの組み合わせによる 膜質の改善と欠陥の無い成膜 ■In-situモニタリングによる、成膜状態の連続監視 ■完全に自動化されたプロセス制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...
メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社
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コンパクトな卓上サイズで3源のカソードを搭載。絶縁薄膜、酸化物・窒化物…
『SVC-700RFIII』は、卓上に置けるコンパクトなサイズながらφ2インチのカソードを3基搭載。3種類のターゲットを使用した積層膜の形成が可能なRFマグネトロンスパッタ装置です。 ガス導入機構を増設でき、アルゴンガスを含めた最大3種類のガス導入が可能。 金属薄膜に加え、絶縁薄膜、酸化物・窒化物薄膜など様々な薄膜作製に対応できます。 【特長】 ...
メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社
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ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ーゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜プロセスの構築など、幅広い研究に対応できる装置です。 これまでのスパッタ装置で成膜が難しいとされる強磁性体ターゲットや、金属ターゲットとセラミックターゲットなどの異物質Co-スパッタ研究など、先端材料研究やプロセス構築研究を強力にサポートする装置です。 直進性の高い...
メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社
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スパッタカソード『ONYXシリーズ』販売・修理/メンテも対応可能
高機能・高品質なマグネトロンスパッタカソード！
安定した成膜とコストダウンの両立を実現します。 アメリカオングストローム・サイエンス社製の高機能・高品質な「マグネトロンスパッタカソード」です。 特許技術のShaped Magnet採用により、ターゲットの広い面積を利用するため、エロージョンの進行によるスパッタ状態の変化が起こりにくく、安定した成膜とターゲット交換のための...
メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社
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スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】
スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに…
抵抗加熱蒸着源（金属蒸着）、有機蒸着源（有機材料）、マグネトロンスパッタ（金属・絶縁材）、3種類の成膜コンポーネントをチャンバー内に設置、様々な薄膜実験装置に1チャンバーで対応が可能です。 ◉組み合わせは3種類 1. スパッタカソード + 抵抗加熱蒸着源x2 2...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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実験目的にあわせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置
☆金属薄膜は勿論、絶縁薄膜/酸化薄膜作製に対応した小型RFスパッタ装置☆ お薦めPOINT ＜実験目的にあわせたカスタマイズ!!＞ 1．試料サイズに合わせ3種類のチャンバーをご用意 2．カソードサイズは2〜6インチに対応 3．2インチカソードタイプは3源式にも...
メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社
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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…
ジ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） -3) Max1000℃（SICコーティング） ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(＜30W） システム主制御：'IntelliDep'制御システム Windows PC（又はTP HMI）インターフェイス...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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高機能織物を使用してスパッタ、火、熱を防ぎ、飛散防止用途にも！
スパッタや熱を持った飛散物がある環境で、弊社の高機能織物を、間仕切りシートの代わりなどにご使用いただけます。 こんなことでお困りではないでしょうか。。 火花やスパッタが思いのほか飛んでいて、周りにあるケーブルが溶けてダメになってしまう、周りの機械が劣化してしまう・・・。 短時間だが、炎があたる為に、何か簡単なもので保護したい・・・。 装置に火花があたるが、フレキシブルに動くも...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テイアイテイ 柏営業所
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フルオートで大気に曝されることなく成膜完了！ 〜サンプル測定実施中！…
従来のスパッタ装置では困難であった“1バッジ内での複数材料の成膜”をワークマスク採用で可能にし、フルオートモードで試料が大気に曝されることなく成膜完了します。 ○省スペースで作業スペースにメリット ○成膜の...
メーカー・取り扱い企業： 九州計測器株式会社
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硫化物対応も可 薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット～成膜…
薄膜固体二次電池の研究用の専用スパッタ装置 後処理が可能。多元カソードによる負極・電解質・正極の一括形成と成膜後の大気非暴露による基板の封止が可能。 Ｌｉの専用ターゲットによる事前成膜テストも対応可能（有償） 材料（ターゲット）...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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スパッタ成膜ユニット
マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した スパッタ成膜ユニット 【特徴】 ○優れた膜厚分布を実現 ○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて 使用する事が可能 ○2種類のスパッタ源...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル
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ALNコーティング装置（高密度プラズマスパッタADMS装置）
高密度プラズマスパッタで結晶性ＡｌＮ膜を形成、立体形状への全面コーティ…
独自開発の高密度プラズマスパッタ ADMS法（アーク放電型マグネトロンスパッタリング法）により従来に無い緻密なＡｌＮ膜を立体形状基板に成膜。 従来の10倍のイオン量の高密度プラズマスパッタを実現。他には無い高反応性スパッタで結...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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高レート イオンビーム・スパッタ高速成膜装置（HR-PVD）
誘電体、強磁性体成膜を高レートかつ高品位に高速成膜
従前のマグネトロンスパッタでは成膜レートが低くなるAl2O3、SiO2などの誘電体、 Feなどの強磁性体の成膜で力を発揮する高速イオンビームスパッタ（IBD)装置です。 ヘリコンプラズマソースをイオン源とし、そこから得ら...
メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社
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三元同時スパッタによる新素材の薄膜開発！実験内容や予算に応じてカスタマ…
『NS-023』は、三種のターゲットを同時に成膜可能な三元マグネトロン スパッタリング装置です。 多元同時スパッタ以外にも、白金ヒーターを採用することで、基板の高温活性化 （ヒータ温度：950℃）や反応性スパッタなど様々な使い方に対応しています。 また、アシスト...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング
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水素フリーDLCコーティング装置（高密度スパッタＡＤＭＳ装置）
独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優…
従来に無い水素フリーDLC膜（膜中水素含有量１％以下）を量産装置で実現 成膜プロセスに水素を使用しない高密度プラズマスパッタ技術を採用、新方式PVD装置（ADMS＝アーク放電式マグネトロンスパッタリング装置） 水素フリーの緻密なDLC膜は従来の水素含有DLC膜に比べＭｏ添加の潤滑油中の摺動特性を１／１５以下に低減（１...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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酸素や水分を排除したい研究製膜環境！多層膜、化合物製膜、反応製膜に対応…
当製品は、電池、触媒材料や有機デバイス開発用のスパッタ装置です。 スパッタ室にロードロック室とグローブボックスを連結。 UHV対応スパッタカソードを4本装着することができます。 また、多層膜、化合物製膜、反応製膜に対応しております。 ...
メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社
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蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム【MiniLab】
2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ、…
2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ - 蒸着、など）をロードロックでシームレスに連結。Moorfield社独自のロードロックシステムにより、左右・後方へのプロセス室への連結も可能です。...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES
樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！
新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。 射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
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逆スパッタも可能！500Wの高周波電源を1台搭載し、金属・酸化物・絶縁…
『SP-3400』は、3インチ用カソードを3源搭載したRFスパッタ装置です。 電源は500Wの高周波電源を1台搭載しており、金属・酸化物・絶縁物等の 成膜が可能となっています。 整合器は自動整合器を2台搭載することにより切替にて逆スパッタもでき、 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンバック 本社
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初期導入コストを抑え、拡張で高性能化が可能！研究ステージに合せてグレー…
『FDS/FRSシリーズ』は、必要な機能を備えた研究開発用の 卓上型マグネトロンスパッタ装置です。 基本仕様は、DCスパッタ/シングルカソード/ロータリーポンプで 構成される金属薄膜用スパッタ。 RF化、カソード増設、ターボ分子ポンプ仕様などの 拡張オプションにより、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社FKDファクトリ
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小型設計ながら性能はキープ！高温での基板加熱が可能なスパッタ装置
『SS-DC・RF301』は、2"マグネトロンカソードと基板加熱機構をそれぞれ 1基搭載した小型スパッタ装置です。 シンプルな設計により、事務机の約半分のスペースに設置可能。 基板上下機構を採用し、ターゲットと基板間の距離を任意に設定できます。 基板加熱を高温で行えるほか、電気とガスの...
メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社
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放電操作が容易！RF電源にオートマッチングを採用したコンパクトな設計
『FRS-HGシリーズ』は、2源/3源の同時スパッタ機能を搭載した 研究開発用の多源同時マグネトロンスパッタ装置です。 据付タイプながらコンパクト且つスタイリッシュな設計。 成膜ソース導入ポートは3ヶ所用意されており、スパッタリングカ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社FKDファクトリ
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1インチUHV対応スパッタカソード2源！ロードロック室は増設することが…
当製品は、RFスパッタと抵抗加熱蒸着をあわせもつ製膜装置です。 ロードロック室増設可能。2インチ基板対応加熱・回転基盤ホルダーの 仕様です。 また、1インチUHV対応スパッタカソード2源で、3源切替式抵抗...
メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社
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サンユー電子 真空応用機器／電子顕微鏡関連機器製品総合カタログ
スパッタ装置、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器のサンユー電子
1976年の創業以来一貫して、“使いやすい、簡単、便利”にこだわったものづくりを通じ、多くの方々に、スパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器をお使いいただいております。 SEM用前処理用としてのスパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、各種デバイスの電極付け...
メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社
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特殊材料の採用によりさらにメンテナンスが向上。5k・7kダイバーゼント…
『スパッタ付着低減ダイバーゼント火口』は、 内部火口に特許取得済みの特殊材料を採用した中圧火口シリーズです。 切断作業時のスパッタ付着を大幅に低減。 メンテナンス性や寿命が向上したことで 火口の...
メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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光学用の多層膜を高均一かつ再現性に優れた成膜を行う事を目的に開発！
当社では、独FHR社の『Star.500-EOSS(R)』を取り扱っております。 『Star.500-EOSS(R)』は、光学フィルター成膜用として設計された マグネトロンスパッタシステムです。 成膜用のパーティクルを最小限にするためスパッタアップの方式を採用。 200mm径までのフラット並びに曲面の基板まで対応しており、 基板加熱機構も組み込みできます。 ...
メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社
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R＆D用スパッタ装置『QAMシリーズ』※ユーザーボイス進呈中
「サンプル作業時間が1/3になった！」。コンパクト設計で自動化も推進。…
『QAMシリーズ』は研究開発、材料開発等の小規模実験で要求される様々な機能に対して、 アルバックの豊富な成膜技術と経験をもとに、幅広く対応できる低価格のスパッタ装置です。 約1Pa～0.1Paまでの放電維持圧力範囲を持ち、従来より低圧力でスパッタ成膜が可能。 従来に比べ更なる小型化、自動化を実現したうえに、磁性ターゲットにも対応しています。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…
高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション：上下・回...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）
サンプルテスト対応中 フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…
装置形態：巻取式マグネトロンスパッタリング装置 基板寸法：最大幅１０００ｍｍまで対応 カソード数：最大４元 膜種：金属・磁性膜・反応性酸化膜 オプション機構： プラズマ前処理機構・イオンガン・ランプヒータ・加熱ロール等...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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最大200mm径基板！ダブルリングマグネトロン(Fraunhofer …
『scia Magna 200』は、回転式単体マグネトロンの マグネトロンスパッタ装置です。 アプリケーションは、TC-SAW向け温度補償膜(SiO2)、AlN等圧電膜、 光学用高・低屈折膜、絶縁膜(Si3N4, SiO2, Al2O3)です。 また、プロセスはマ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ
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スパッタ成膜機を導入し自社内でもスパッタ成膜が可能に！お客様のご要望に…
弊社はこの度スパッタ成膜機を導入し 自社内でもスパッタ成膜が可能になりました。 〈こんな経験ありませんか？〉 ・基板洗浄もしてほしい ・1バッチ内での成膜条件は固定？ ・1バッチの枚数固定？1枚でも増え...
メーカー・取り扱い企業： テクノプリント株式会社
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TIG溶接やMIG溶接などで異物混入を製造段階で解決！適切な溶接方法考…
【メリット】 ■TIG溶接 ・不活性ガスを用いるため、スパッタ（溶接時に発生する金属の粒）がほとんど出ない ■プラズマ溶接 ・アークの指向性が高いため、すみ肉溶接に適しており、スパッタも発生しない ■サブマージアーク溶接 ・スパッタやヒュームがあ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社イコール 本社・営業部
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マグネトロンスパッタ用電源の世界市場：メーカー、地域、タイプ、アプリケ…
グローバル市場調査レポート出版社であるGlobaI Info Researchは「世界のマグネトロンスパッタ用電源の供給、需要、主要メーカー、2023 ～ 2029 年レポート」レポートには、世界市場、主要地域、主要国におけるマグネトロンスパッタ用電源の販売量と販売収益を調査しています。同時に、マグネト...
メーカー・取り扱い企業： GlobaI Info Research有限会社 Global Info Research
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最適形状でロボットをカバー！ 耐熱性や難燃性に優れた素材で溶接スパッ…
当社で扱う耐スパッタ用チューブの素材を加工し、ロボット用保護カバーに形状加工を行いました！ ロボットの形に形状を合わせますので脱着が容易で、取り換え時のメンテナンス性に優れた製品です。 ロボットカバーを取...
メーカー・取り扱い企業： 日本ジッパーチュービング株式会社
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酸化被膜除去に強いバリ取り機。用途に応じた研磨ブラシを使ってバリ取り効…
ackLine1100/650』は大物ワーク向けの酸化被膜除去に強いバリ取り機です。手作業の1/10程度にバリ取り時間を短縮！ 材料の特性や使用目的（酸化被膜除去・溶着ドロス / ノロ / スパッタ除去・バリ取り・R 面取りなど）に合わせ適した組み合わせを選択できます。 通常のバリ・酸化被膜除去はもちろん、溶着ドロス・スパッタ除去にも効果的で用途に応じた研磨ブラシを使ってバリ取り効果を...
メーカー・取り扱い企業： オーセンテック株式会社
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半導体、プリント基板、表面処理に！高い密着力を実現する室温スパッタ装置
L/S 2μm対応『室温スパッタ装置』は、 基板とプラズマ領域が分離されており、熱ダメージを抑えつつ、高い密着力を実現する装置です。 510mm×610mm（最大730mm×920mm）の大型基板に対応し、基板2枚並行処理も可...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマプレシジョン
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各種研究開発、材料開発等に幅広く対応できる成膜装置。多様性・拡張性を持…
料開発等の小規模実験用途から要求される様々な機能に対して、アルバックの豊富な成膜技術と経験をもとに、幅広く対応できる低価格のＲ&Ｄ装置。 【特徴】 ○低圧力プロセス ○多元同時/多積層膜スパッタ成膜 ○良好な膜厚分布 ○LTSの採用 ○磁性体薄膜への対応 ○フロントアクセス 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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溶接ロボットの生産性向上のため、社内要求から生まれた機械です。
〇開発の経緯 社内の溶接ロボットにおいて、スパッタがノズル部に付着し、溶接品質が低下。 その都度、自動運転を停止し、作業者がスパッタを除去していました。 『スパッタの除去と付着防止剤の塗布、ワイヤカット機能を搭載したクリーニングマシンができな...
メーカー・取り扱い企業： 大和精工株式会社
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PR
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【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用…
テルモセラ・ジャパン株式会社 -
リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバ…
ティー・ケイ・エス株式会社 -
オーダーメイド型スパッタリング成膜装置
難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに…
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社