リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔ

多目的、実験用全自動成膜装置。マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔ型…

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔは多目的､多金属､実験用イオンスパッタ成膜装置です。電極分離型試料台で試料損傷回避、高速排気・簡易操作で能率的成膜、低価格・コストパフォーマンスの良い機能を持っています。 ＭＳ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴ

ターゲットは大きい試料もそのままコーティング可能な４インチサイズ。

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴは電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。４インチサイズのターゲット仕様。大きな試料・多数の試料を処...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１Ｓ

SEM試料のために。試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです。

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１Ｓは低電圧でコーティングするとともに試料台がフローティング式なので試料損傷がありません。試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです。小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。詳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１２インチ

φ300ｍｍサイズに対応する大面積試料ステージを搭載。

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１２インチはマグネトロンターゲット電極で、φ300ｍｍサイズに対応する大面積試料ステージを搭載。膜厚ムラは10%以内、ステージ全域を有効に使えます。コーティング電圧500V以下で、イオ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

近接センサ　製品カタログ

耐高温・耐高圧・耐スパッタ等、特別仕様製品も多数ラインナップ！

充電製品の開発・製造・販売を行う 株式会社ビー・アンド・プラスの『近接センサ』をご紹介しています。 高周波発振型近接スイッチの製品構成をはじめ、技術資料や仕様を掲載。 耐高温・耐高圧・耐スパッタ等、特別仕様製品も多数ラインアップしています。 【掲載内容】 ■製品構成 ■技術資料 ■製品仕様 ■センサ用アクセサリ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ビー・アンド・プラス

TruPlasma MF 7000（G2）シリーズ

重要なプロセスにおける完全なコントロール！最大限のスパッタ率が確保され…

ことが可能。豊富な周波数ラインアップにより、 様々なプロセスで活用いただけます。 【主な利点】 ■高い反応速度とそれに対応する残留エネルギーの低減により、 　安定したプロセスと最大限のスパッタ率が確保される ■フレキシブルな冷却コンセプト ■独自技術"イグニッションサポート"技術により、効果的なプラズマ点火 ■豊富な周波数ラインアップにより、様々なプロセスで活用可能 ※詳し...

メーカー・取り扱い企業： トルンプ株式会社

デジタル溶接機『TPS／i+CMT』

非常に安定した溶接プロセスを実現！インテリジェント・デジタル溶接機

『TPS／i+CMT』は、低スパッタ・低入熱の非常に安定した溶接プロセスを 実現したデジタル溶接機です。 精密な波形制御性能と特殊なワイヤ送給制御により溶融池を強制的に冷却。 この制御を繰り返すことにより、溶接速度の高速化...

メーカー・取り扱い企業： 愛知産業株式会社

半導体製造装置用電源『GEXUS』

マスタースレーブ運転により、大出力化が可能！15kWスパッタ用直流電源…

『GEXUS』は、半導体成膜（スパッタ）用の電源です。 多段インバータ方式採用により、極めて少ないアークエネルギーを実現。 ワイドレンジインピーダンスで、進化する高性能、高信頼性を有しています。 ユニット単体出力は1.5...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オリジン エレクトロニクス事業

メンテナンス・リサーチ株式会社　会社案内

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

メンテナンス・リサーチ株式会社は、米国Materia Is Research Corporation製造スパッタリング装置のメンテナンスを目的に2008年に設立しました。 メンテナンス・リサーチは新しい真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、製造中止パーツの置き換え、電...

メーカー・取り扱い企業： メンテナンス･リサーチ株式会社

カタログ『自動車　車体アプリケーション集』

ドイツのセンサーメーカー、ピーアンドエフ社の自動車産業、車体向けアプリ…

現場改善をお考えのエンジニアの方は必見です。 ※センサーによってはデモ機貸し出し可能（お問い合わせください） 【特長】 以下センサーは実績数も多く特にお薦めです ■耐磁界、スパッタ用、長距離検出近接センサー ■光切断方式とビジョンセンサの融合！形状認識センサーSmart Runner ■塗装ライン用高温IDシステム ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

□防水対策に！　防水コネクタ・防水テープ等をセレクト！

防水関連製品をピックアップ！　情報収集に是非ご活用ください！

→完全防塵および防水保護、スペースの制約が厳しいアプリケーションの省スペース化 ■ M12(マイクロチェンジ） M8(ナノチェンジ) →省配線化によるトータル配線コストの削減、耐水　耐油　（耐スパッタあり） 【日本航空電子工業製】 ■ 『JL04V/JL05シリーズ』『JN1/JN2 シリーズ』 →産業用機器のインターフェイス用、IP67の防水、耐塵 【スリーエムジャパン製】 ...

メーカー・取り扱い企業： 丸紅エレネクスト株式会社

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＵＭ

電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す為に。マグネトロンスパッタ装置。

マグネトロンスパッタ装置　ＭＳＰ－２０ＵＭは電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。 アルゴンガス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－８インチ

8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－８インチはマグネトロンターゲット電極で、8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。コーティング厚さのムラは10%以内、ステージ全域を有効に使えます。コーティング電圧500V以...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

電線保護管　MAS規格フレキ＆コネクタ　WFM フレキ

機械配線用フレキシブルチューブ

耐摩耗・耐スパッタの可動部・振動部に適した 機械配線用フレキシブルチューブ ■□■特徴■□■ ■日本工作機械工業会規格(MAS506・507)に基づいた電線保護管 ■耐油・耐熱・可動部などの使用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アスト