超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』

PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…

『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと 楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。 加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。 ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。 はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

中性粒子DSMCモジュール（DSMCM）

新衝突計算法を指定することにより、平均自由行程以上のセルサイズでの計算…

て確率的に引き起こして挙動を 追跡していくといったDSMC法（粒子モデル）を用い、いろいろな真空装置内の 希薄気体の流れ場を解析するためのモジュールです。 エッチング装置、薄膜製造装置、スパッタリング装置内の電荷を持たない 中性粒子（バッファガス、ラジカル種、スパッタリング粒子）の挙動を 解析することが可能。 また、新衝突計算法を指定することにより粘性流領域(Kn<0.01)の...

メーカー・取り扱い企業： ペガサスソフトウェア株式会社

電子銃・イオンビーム・スパッタ解析／μ-Excel　軌道計算版

静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体…

μ-Excelは、2次元（又は軸対称）有限要素法を使用した解析ソフトウエアです。 μ-Excelシリーズは、解析テーマ毎の個別パッケージとなっており、 テーマ毎にカスタマイズされた入力・出力画面からスムーズに解析が行えます。 また、GUIにExcelマクロを使用し、普段から使いなれたExcelで違和感なく操作ができます。 電磁場解析だけでなく熱、構造、流体、電磁波へと豊富なテーマに進化...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

マグネトスパッタ・磁気シールド磁場分布／μ-Excel　静磁場版

コイル、永久磁石、非線形磁性体の磁場分布、磁性体飽和状態を可視化！「静…

μ-Excelは、2次元（又は軸対称）有限要素法を使用した解析ソフトウエアです。 μ-Excelシリーズは、解析テーマ毎の個別パッケージとなっており、 テーマ毎にカスタマイズされた入力・出力画面からスムーズに解析が行えます。 また、GUIにExcelマクロを使用し、普段から使いなれたExcelで違和感なく操作ができます。 電磁場解析だけでなく熱、構造、流体、電磁波へと豊富なテーマに進化...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック