リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

提案事例　マグネトロンスパッタ用磁気回路の短納期製作

様々なご要望にお答えいたします。

半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ、太陽電池等のエレクトロニクス製品や光学部品や、装飾品等など、薄膜の製膜に用いられるスパッタなど、真空中でのプラズマの制御に磁場が持ちられます。 磁場の強度、発生位置、磁場方向、磁場勾配など様々なパラメータを管理し所望の効果を得るために、永久磁石が用いられます。 これらの特性を引...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東和製作所

提案事例　カソードマグネットの修理

様々なご要望にお答えいたします。

半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ、太陽電池等のエレクトロニクス製品や光学部品や、装飾品等など、薄膜の製膜に用いられるスパッタなど、真空中でのプラズマの制御に磁場が持ちられます。 磁場の強度、発生位置、磁場方向、磁場勾配など様々なパラメータを管理し所望の効果を得るために、永久磁石が用いられます。 これらの特性を引...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東和製作所

回転式マグネトロン用コンポーネント『マグネットバー』

最適化された冷却コンセプト！逆マグネット配列（インバート）も提供可能

【メリット（抜粋）】 ■優れた磁場均一性 ■レーストラックの最適リターン設計と様々な種類のエンドキャップ ■±15°～±60°のスパッタ角度 ■逆マグネット配列（インバート）も提供可 ■最適化された冷却コンセプト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

提案事例　既存イオン源製品の性能改善

様々なご要望にお答えいたします。

半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ、太陽電池等のエレクトロニクス製品や光学部品や、装飾品等など、薄膜の製膜に用いられるスパッタなど、真空中でのプラズマの制御に磁場が持ちられます。 磁場の強度、発生位置、磁場方向、磁場勾配など様々なパラメータを管理し所望の効果を得るために、永久磁石が用いられます。 これらの特性を引...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東和製作所

マグネット製品　スパッタ用カソードマグネット

要求仕様・製品仕様に合わせカスタマイズいたします。

お客様のご希望を満たす、永久磁石製品をご提案いたします。 磁気特性等のご要求仕様、あるいは製品図面等の製品仕様において、 1：製作数　２：納期　３：目標価格などの条件を総合的に満足できる最善のご提案をさせていただきたいと考えております。...【特徴】 ○空隙に任意の磁場発生させる磁気回路。 ○主に、マグネット上面より規定の高さHgにおけるXY成分の磁束密度を規定する。 ○要求仕様・製...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東和製作所