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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも!非常に幅広い基板サイズに対応可能
当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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スパッタの基礎と装置の改善策 ~トラブルから見た膜厚分布改善
★スパッタプロセス時に要求される、膜厚分布の改善、パーティクルの低減改…
講 師 株式会社アルバック 半導体電子技術研究所 研究部 部長 様 対 象 スパッタリング、薄膜技術に関心のある技術者・研究者・担当部門・初心者など 会 場 東京中央区立産業会館 4F 第2集会室【東京・日本橋】 都営新宿線 馬喰横山駅 地下通路経由 B4出口 5分 (道...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社AndTech
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『高速スパッタリングによるさまざまな用途への成膜技術および装置面
※9月3日までに初めてお申込いただいた新規会員様は早期割引価格⇒42,…
第1部 スパッタの基礎と装置から見た改善策 1.スパッタリングの基礎 2.スパッタ装置の改善と変遷 3.膜厚分布の改善 4.ステップカバレージの改善 4-1 ステップカバレージの改善要求 4-2 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社AndTech
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【セミナー8/28】『スパッタリング』の基本と考え方 , 膜の
スパッタリング率の測定法は?
名古屋大学 客員教授】 <経歴> 1977年 キヤノン(株)にて半導体露光装置用光学薄膜プロセス, 膜設計の開発に従事 1982年 旭硝子(株)にて建築・自動車用硝子スパッタ,膜開発に従事 2003年 (有)アーステックを設立 2009年8月より 名古屋大学 客員准教授を経て客員教授 ■ 開催要領 日 時 : 2023年8月...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社技術情報協会
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次世代住宅に採用される高遮熱・透明断熱フィルム・シートの最新技術
★「省エネ住宅」で注目が集まる次世代住宅市場! ★市場に必要とされる…
結露を防止する断熱機能があり安価で簡単な工事ができる。2商業ビルや公共ビルにあっては特に夏の日射エネルギーを室内に持ち込まない省エネ効果と熱割れ危険のない遮熱フィルムであると考える。本講演では、新スパッタ技術による透明断熱フィルムの特徴について従来技術による製品との類似点、相違点について述べる。 【第3講 講演趣旨】 本発表では、レビューを含めた調光ガラスの概要や調光ミラーデバイスの諸特性...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社AndTech
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【技術セミナー】薄膜技術の高度化と素材デバイスへの応用の最新動向
薄膜形成・品質制御の高度化から先端分野の最新活用事例まで
ィスプレイ材、半導体フォトマスク、タッチパネル、次世代FPD用薄膜の技術開発に従事。 現在、技術士事務所ソメイテック、アイアール技術者教育研究所所長。 電子デバイス・半導体技術に携わり、蒸着、スパッタ、めっき、エッチング、フォト/電子線リソグラフィ、コンバーティング、表面分析に関する技術経験を有する。 薄膜プロセスは半導体用バッチ試作機による基礎開発から世界最大クラスのインライン、ロールツー...
メーカー・取り扱い企業: 日本アイアール株式会社
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シリコンウエーハ、ガラスなどを主に、お客様のニーズに応じた加工サービス…
)ホールパターンウエハ上にバリア層/Cuめっき膜製作(200/300mm) ○シャロートレンチアイソレーションCMP評価用ウエハの製作 ○層間絶縁膜 CMP評価用ウエハの製作 ○各種金属膜(スパッタ)の堆積 ○Cuメッキ膜の堆積 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: グローバルネット株式会社
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【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用…
テルモセラ・ジャパン株式会社