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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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PR【変わる世界に、光でこたえを。】高出力Blueレーザによる高速・高品質…
『ALCIS』 日々進化する素材や工程に対応する柔軟な加工機 高出力Blueレーザ発振器/ファイバーレーザ発振器を搭載 「高出力Blueレーザ」 高出力BLUEレーザ(3kW/4kW)により、高速・スパッタレスの銅溶接を実現します。 「スキャナヘッド」 スキャナヘッドにより多数の加工点の高速加工を実現。 コンビ加工、オンザフライ加工、スキャナ加工の三つの加工方法で、 好適な加工方法を選択可能で...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アマダ(アマダグループ)
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真空容器事例「小型実験用チャンバー」
真空容器製作事例 《フレキシブルな受注範囲》 チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、回転導入機構等を含む ユニットとしての対応が可能 《幅広い製作範囲》 材料(SUS,Al,Ti他)、形状(角型、筒型、水冷他) 《グレードに応じた表面処理》 1、酸洗...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社コスモ・サイエンス
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真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを!
図面支給による製作】 ・部品加工、購入、組立、調整、検査、据付調整 ・量産装置向け組立、調整、検査、据付調整 【半導体プロセス応用製品】 ・実験用蒸着装置・有機EL蒸着基板用実験装置・スパッタ装置(実験設備/生産設備)・CVD装置(実験設備/生産設備)・成膜装置(実験設備/生産設備) 【真空対応製品の設計・製作】 ・各種配管・各種フランジ応用製品・真空室内用応用部品の設計製作 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社コスモ・サイエンス
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工作機械、半導体・液晶製造装置、産業用ロボット、医療・福祉、輸送機器、…
す。同程度の許容荷重の場合でも、 「点接触」タイプの直動システム製品に比べ、 コンパクトに設計できます。 ■製品オプション ▢異物の混入対策 粉塵・切削屑・スパッタ等の対応オプションを準備。 ブロック裏面からの異物混入対策もあります。 ▢潤滑不足による破損対策 潤滑メンテナンス間隔を延長できる潤滑装置もご用意しています。 ▢リ...
メーカー・取り扱い企業: THK株式会社
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半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、CVD装置等の成膜装置の…
装置完成後の現地搬入、立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位での設計製作も行っております。各種実験装置の設計・製作に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせていただきます。...【真空装置設計・取り扱い産業一覧】 ◆真空装置設計(スペースチャンバー、チェンバー、エンクロージャー等) ・各企業様の研究・開発部門や各種...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社コスモ・サイエンス
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オーダーメイド型スパッタリング成膜装置
難しい材料、様々な基板形状、用途にも!非常に幅広い基板サイズに…
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社 -
超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』
狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低…
千代田交易株式会社 -
【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用…
テルモセラ・ジャパン株式会社