スパッタ | イプロスものづくり

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池やバッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や表面保護のためのコーティングにも対応。サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

【スパッタ吸引による発火リスクを軽減！】消炎ボックス

コンパクトで簡単設置！スパッタ吸引による集塵機の発火（火災）リスクを低…

『消炎ボックス』は、溶接ヒュームコレクター（KSC-W01、W02、WL200T）に接続して使用する、火災リスク低減ユニットです。侵入したスパッタを水に吹き付けることで、ヒュームコレクター本体への スパッタ等の侵入を抑えます。 4か所のロックを外すだけで簡単に清掃が可能。上下を分割してボックス内に堆積した粉じん等を清掃できます。【特...

メーカー・取り扱い企業：コトヒラ工業株式会社

【３D溶接定盤】移動式リフティングテーブル

高さ調整、キャスター移動が可能な取り回しのよい溶接作業台。少量多品…

れている大型キャスターは重量物用に設計された特別なキャスターです。重たいワークを載せた状態でも軽々と水平移動できるので、ちょっとした水平移動がとても楽になります。 ■キズ・錆に強く！スパッタも付着しづらい！当社で取扱いのリフティングテーブルは全て表面にプラズマ窒化処理をされております。キズ、錆に強く、さらに溶接スパッタが付着しづらいため、スパッタ除去にかかる手間も最小限に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エステーリンクメタルエステ事業部

高レートイオンビーム・スパッタ高速成膜装置（HR-PVD）

誘電体、強磁性体成膜を高レートかつ高品位に高速成膜

従前のマグネトロンスパッタでは成膜レートが低くなるAl2O3、SiO2などの誘電体、 Feなどの強磁性体の成膜で力を発揮する高速イオンビームスパッタ（IBD)装置です。　ヘリコンプラズマソースをイオン源とし、そこから得ら...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

油圧機器　アンチスパッタ油圧シリンダ　「手動ポンプセット」

超高圧油圧機器　アンチスパッタ油圧シリンダ・手動ポンプ

【特徴】 ◯特殊形状の鋳物製カバーがスパッタを防止し、シリンダの損傷を防ぐ ◯ダストシールが更に粉塵を防止 ◯シリンダ内部への粉塵混入を、Ｏリングが防止 ◯ベースプレートでシリンダ底部の強度をアップ ●詳しくはお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業：エナパック株式会社本社　営業部

研究・試作に最適な小型スパッタ装置『VS-R400G』

実験・研究・評価・試作に好適！ガラス、金属などの平板基材に高速、高精度…

『VS-R400G』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、超高速、高品質な真空成膜を実現するスパッタ装置です。 LIA方式の誘導結合型プラズマ(LIA-ICP)によるアシスト効果により、成膜速度を落とすことなくダメージを低減し、高品質な成膜を実現。また、高密度プラズマの特性を活...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SCREENファインテックソリューションズ

耐摩耗・耐スパッタチューブ

ガラスクロス・アラミド繊維を使用した耐摩耗・耐スパッタチューブ溶接…

ガラスクロス・アラミド繊維を用いて作製された、耐摩耗・耐スパッタ用チューブです。溶接によるスパッタから、配線の保護を行いたい、マシニングロボット等の可動部にある配線を保護したい、というニーズをお持ちの企業様にご採用いただいております。ま...

メーカー・取り扱い企業：日本ジッパーチュービング株式会社

研究・試作に最適な小型スパッタ装置『VS-R400F』

実験・研究・評価・試作に好適！樹脂フィルムや金属箔に高速、高精度、低ダ…

『VS-R400F』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、超高速、高品質な真空成膜を実現するスパッタ装置です。 LIA方式の誘導結合型プラズマ(LIA-ICP)によるアシスト効果により、成膜速度を落とすことなくダメージを低減し、高品質な成膜を実現。また、高密度プラズマの特性を活...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SCREENファインテックソリューションズ

樹脂成形品＋金属スパッタ

製作工程の短縮、コスト減、CO2削減！機能製樹脂部品でのモジュール化、…

樹脂成形品＋金属スパッタ(金属膜、酸化膜形成)の機能部品への取組みをご紹介いたします。高密着性、高耐久性の特性より、メッキ、蒸着工法からの代替。当社は、精密プラスチックメーカーとして開発段階からの材料...

メーカー・取り扱い企業：日邦産業株式会社

高精密光学フィルター成膜用マグネトロンスパッタ装置

「FHR.Star.600-EOSS」は、精密な光学フィルター成膜用と…

の安定成膜・最大４基のカソードの搭載による、幅広い多層膜の成膜など、高品位な光学薄膜成膜に特化した装置です。特徴 ■傑出した光学多層膜の再現性 ■優れた膜厚均一性 ■シリンダー型カソードとスパッタアップとの組み合わせによる　膜質の改善と欠陥の無い成膜 ■In-situモニタリングによる、成膜状態の連続監視 ■完全に自動化されたプロセス制御　 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

デスクトップRFスパッタ装置『SVC-700RFIII』

コンパクトな卓上サイズで3源のカソードを搭載。絶縁薄膜、酸化物・窒化物…

『SVC-700RFIII』は、卓上に置けるコンパクトなサイズながらφ2インチのカソードを3基搭載。3種類のターゲットを使用した積層膜の形成が可能なRFマグネトロンスパッタ装置です。ガス導入機構を増設でき、アルゴンガスを含めた最大3種類のガス導入が可能。金属薄膜に加え、絶縁薄膜、酸化物・窒化物薄膜など様々な薄膜作製に対応できます。【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

スパッタ保護スプレー『E-WELD2』

溶接時のスパッタが表面に付着するのを防ぎ、溶接時の手間を軽減！

『E-WELD2』は、Bio-Circle社の天然成分を基にした溶接時のスパッタ保護スプレーです。水を主成分に、ヘーゼルナッツ、ひまわりの成分を配合し、溶接時のスパッタが表面に付着するのを防ぎ、溶接時の手間を軽減します。また、一時的な腐食防止機能を備え、...

メーカー・取り扱い企業： TSK株式会社

小型集塵・集煙機器「ポータブル溶接ヒュームコレクター」

コンパクトで収納･移動が簡単！有害な溶接ヒュームを発生源で絶ちます

「ポータブル溶接ヒュームコレクター」は、5段階のスパッタ対策（3枚の衝突板＋金属フィルタ＋フィルタ保護版）で安全構造です。火災の原因となる火花が内部に侵入しにくい構造になっています。衝突板の清掃や取り外しは、扉を開くだけで工具不要で行えます。オプ...

メーカー・取り扱い企業：コトヒラ工業株式会社

【レポート】スパッタリングターゲット・スパッタ膜装置の世界市場

Sputtering Targets and Sputtered Fi…

世界のスパッタリングターゲット・スパッタ膜装置の市場規模は、2020年は6億9、040万米ドルで、予測期間中に5.2%のCAGRで拡大すると予測されます。当レポートでは、世界のスパッタリングターゲット・スパ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社グローバルインフォメーション

【調査資料】溶接用スパッタ付着防止剤の世界市場

溶接用スパッタ付着防止剤の世界市場：水性スプラッシュ防止剤、油性スプラ…

本調査レポート（Global Welding Anti-Spatter Agent Market）は、溶接用スパッタ付着防止剤のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の溶接用スパッタ付着防止剤市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】スパッタコーティングの世界市場

スパッタコーティングの世界市場：金属・元素、合金・化合物、その他、フラ…

本調査レポート（Global Sputter Coating Market）は、スパッタコーティングのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のスパッタコーティング市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】DC真空スパッタ装置の世界市場

DC真空スパッタ装置の世界市場：シングルルーム、ダブルルーム、マルチル…

本調査レポート（Global DC Vaccum Sputter Equipment Market）は、DC真空スパッタ装置のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のDC真空スパッタ装置市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】スパッタ塗料の世界市場

スパッタ塗料の世界市場：金属・元素、合金、化合物、その他、フラットパネ…

本調査レポート（Global Sputter Paint Market）は、スパッタ塗料のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のスパッタ塗料市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チャ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】スパッタターゲットの世界市場

スパッタターゲットの世界市場：金属ターゲット、合金ターゲット、セラミッ…

本調査レポート（Global Sputter Targets Market）は、スパッタターゲットのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のスパッタターゲット市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

【調査資料】真空スパッタ装置の世界市場

真空スパッタ装置の世界市場：DCスパッタリング、RFスパッタリング、そ…

本調査レポート（Global Vaccum Sputter Equipment Market）は、真空スパッタ装置のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の真空スパッタ装置市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ーゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜プロセスの構築など、幅広い研究に対応できる装置です。これまでのスパッタ装置で成膜が難しいとされる強磁性体ターゲットや、金属ターゲットとセラミックターゲットなどの異物質Co-スパッタ研究など、先端材料研究やプロセス構築研究を強力にサポートする装置です。直進性の高い...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

スパッタカソード『ONYXシリーズ』販売・修理/メンテも対応可能

高機能・高品質なマグネトロンスパッタカソード！

安定した成膜とコストダウンの両立を実現します。アメリカオングストローム・サイエンス社製の高機能・高品質な「マグネトロンスパッタカソード」です。特許技術のShaped Magnet採用により、ターゲットの広い面積を利用するため、エロージョンの進行によるスパッタ状態の変化が起こりにくく、安定した成膜とターゲット交換のための...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

移動式小型集塵機/ヒュームコレクター『PT-700』

小型ながら捕集効率99.9％！モノタロウでも販売開始！

ろ材「ウルトラウェブ」を採用。処理風量の向上やフィルターの目詰まりを一目で確認できる差圧計、フィルターをより長持ちさせるダスト払落し機構など便利な機能が豊富。溶接作業時の火花対策に効果的なスパッタトラップなどのオプションも取り揃えています。【特長】 ■処理風量UP ■捕集効率99.9％ ■静かな稼動音 ■作業場への移動が簡単な、可動式ダクト【速報】モノタロウでも販売開始しました！...

メーカー・取り扱い企業：日本ドナルドソン株式会社

ホース「耐スパッタブレードホースGH」

外皮に難燃材使用し外部のスパッタや切粉による穴空き軽減

「耐スパッタブレードホースGH」は、どなたでも簡単に継手（千代田通商株式会社ホースフィッティング）に接続が可能です。外皮に難燃材使用し外部のスパッタや切粉による穴空き軽減。重量は従来のゴムホースの約1...

メーカー・取り扱い企業：千代田通商株式会社

スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置コンパクトフレームに…

抵抗加熱蒸着源（金属蒸着）、有機蒸着源（有機材料）、マグネトロンスパッタ（金属・絶縁材）、3種類の成膜コンポーネントをチャンバー内に設置、様々な薄膜実験装置に1チャンバーで対応が可能です。 ◉組み合わせは3種類 1. スパッタカソード + 抵抗加熱蒸着源x2 2...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

高性能コーティング膜製造用スパッタ装置

戦略的基盤技術高度化支援事業車載センサー向けのコーティング膜製造用装置

『高性能コーティング膜製造用スパッタ装置』は、次世代自動車に搭載されている車載カメラやセンサーに用いられる反射防止膜を製膜する装置で、戦略的基盤技術高度化支援事業車載センサーに最適です。従来のスパッタ法に最新技術を取...

メーカー・取り扱い企業：株式会社広島

研究・開発実験用　RFスパッタ装置

実験目的にあわせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置

☆金属薄膜は勿論、絶縁薄膜/酸化薄膜作製に対応した小型RFスパッタ装置☆ お薦めPOINT　＜実験目的にあわせたカスタマイズ!!＞ 1．試料サイズに合わせ3種類のチャンバーをご用意 2．カソードサイズは2〜6インチに対応 3．2インチカソードタイプは3源式にも...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

【MiniLab-SA125A】多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

ジ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） -3) Max1000℃（SICコーティング）ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(＜30W）システム主制御：'IntelliDep'制御システム Windows PC（又はTP HMI）インターフェイス...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

高機能繊維シート織物【熱・スパッタ・火の粉よけ・間仕切り】

高機能織物を使用してスパッタ、火、熱を防ぎ、飛散防止用途にも！

スパッタや熱を持った飛散物がある環境で、弊社の高機能織物を、間仕切りシートの代わりなどにご使用いただけます。こんなことでお困りではないでしょうか。。火花やスパッタが思いのほか飛んでいて、周りにあるケーブルが溶けてダメになってしまう、周りの機械が劣化してしまう・・・。短時間だが、炎があたる為に、何か簡単なもので保護したい・・・。装置に火花があたるが、フレキシブルに動くも...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テイアイテイ柏営業所

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔ

多目的、実験用全自動成膜装置。マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔ型…

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔは多目的､多金属､実験用イオンスパッタ成膜装置です。電極分離型試料台で試料損傷回避、高速排気・簡易操作で能率的成膜、低価格・コストパフォーマンスの良い機能を持っています。ＭＳ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社真空デバイス

ユニフォームプラズマスパッタ装置

均一性プラズマ閉じ込めによる高品質スパッタリング

「ユニフォームプラズマスパッタ装置」はいわゆる対向ターゲットスパッタ方式を採用しています。従来の対向ターゲットスパッタ方式はミラー磁場をそのまま利用したものですが、ミラー磁場の特性を生かしつつスパッタリングすることを目的として...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤシマ

耐スパッタ用スパッタチューブ

耐スパッタ性に優れた難燃性樹脂(V-0相当品)を被覆してあるので、溶接機器等の配管に最適な製品 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本ピスコ

スパッタ装置 QKG-Sputtering

フルオートで大気に曝されることなく成膜完了！〜サンプル測定実施中！…

従来のスパッタ装置では困難であった“1バッジ内での複数材料の成膜”をワークマスク採用で可能にし、フルオートモードで試料が大気に曝されることなく成膜完了します。 ○省スペースで作業スペースにメリット ○成膜の...

メーカー・取り扱い企業：九州計測器株式会社

大気非暴露型多元スパッタ装置

硫化物対応も可　薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置ターゲット～成膜…

薄膜固体二次電池の研究用の専用スパッタ装置後処理が可能。多元カソードによる負極・電解質・正極の一括形成と成膜後の大気非暴露による基板の封止が可能。Ｌｉの専用ターゲットによる事前成膜テストも対応可能（有償）材料（ターゲット）...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

空気圧機器用チューブ　ALE型エルフレックス型

エアに限らず冷却水配管にも使用可能！空気圧機器用耐スパッタ用3層チュ…

耐スパッタ用3層チューブです。エアに限らず冷却水配管にも使用可能です。 LEのインナーにアルミニュウムを被覆し、さらに耐スパッタ性を向上し、弊社スパッタ用インナーチューブでは最強仕様の三層チューブです。 ...

メーカー・取り扱い企業：千代田通商株式会社

スパッタソース「超高真空対応マグネトロンRFスパッタソース」

スパッタソースを超高真空に保持したまま、マグネットの取り外しが可能

「超高真空対応マグネトロンRFスパッタソース」は超高真空対応の汎用型小型マグネトロンスパッタソースです。本体がすべてベーカブルであるため、反応性の高いターゲットでも、不純物の少ない成膜が可能です。【特徴】 ○Oリングを使...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

スパッタ成膜ユニット

マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した スパッタ成膜ユニット【特徴】 ○優れた膜厚分布を実現 ○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて　使用する事が可能 ○2種類のスパッタ源...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メープル

ALNコーティング装置（高密度プラズマスパッタADMS装置）

高密度プラズマスパッタで結晶性ＡｌＮ膜を形成、立体形状への全面コーティ…

独自開発の高密度プラズマスパッタ　ADMS法（アーク放電型マグネトロンスパッタリング法）により従来に無い緻密なＡｌＮ膜を立体形状基板に成膜。従来の10倍のイオン量の高密度プラズマスパッタを実現。他には無い高反応性スパッタで結...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

三元マグネトロンスパッタ装置『NS-023』

三元同時スパッタによる新素材の薄膜開発！実験内容や予算に応じてカスタマ…

『NS-023』は、三種のターゲットを同時に成膜可能な三元マグネトロン スパッタリング装置です。多元同時スパッタ以外にも、白金ヒーターを採用することで、基板の高温活性化（ヒータ温度：950℃）や反応性スパッタなど様々な使い方に対応しています。また、アシスト...

メーカー・取り扱い企業：株式会社片桐エンジニアリング

水素フリーDLCコーティング装置（高密度スパッタＡＤＭＳ装置）

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優…

従来に無い水素フリーDLC膜（膜中水素含有量１％以下）を量産装置で実現成膜プロセスに水素を使用しない高密度プラズマスパッタ技術を採用、新方式PVD装置（ADMS＝アーク放電式マグネトロンスパッタリング装置）水素フリーの緻密なDLC膜は従来の水素含有DLC膜に比べＭｏ添加の潤滑油中の摺動特性を１／１５以下に低減（１...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

実験用スパッタ装置

簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/…

ット　1元カソード ●　RF300W電源、自動マッチングボックス付 ●　ガス系統：1系統(オプションにて3系統まで対応可)、　　マスフローコントローラーによる調整 ●　酸化物など絶縁体のスパッタが可能。 ●　オプションにて基板ヒーターの取付可。 ●　余分なものを省きながら使いやすいシンプルな構造。 ●　800W×600L×900Hの省スペース ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤシマ

レーザ溶接用スパッタモニタリングシステム

量産における品質管理の支援ツールとして威力を発揮！溶接の条件出しにも有…

当製品は、レーザ溶接中に発生するスパッタを常時監視するモニタリングシステムです。監視できる測定機能は、溶融池から飛び出すスパッタの「数」「飛散軌跡」「サイズ」です。これにより溶接中のスパッタの発生状況を取得するこ...

メーカー・取り扱い企業：前田工業株式会社本社

【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション

粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、…

Particle-PLUS は希薄気体中に発生する非平衡プラズマの数値解析に優れたシミュレーションソフトウェアです。マグネトロンスパッタ、PVD、プラズマCVD、容量結合プラズマ ( CCP )、誘電体バリア放電 ( DBD ) などに活用可能です。各種モジュール（下段の製品説明参照）のうち、スパッタ粒子モジュールを活用するこ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社