リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』

PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…

『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと 楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。 加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。 ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。 はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

装置製作事例

真空装置の設計・製造ならお任せください！

【事例】 ◆スパッタ装置 　ジョセフン素子作成装置（アルミ・ニオブ）、タブテープ作成用ロールコータ 　（酸化クロム・銅）、プラスチック部品メタライズ装置、 　ワイヤー成膜要スパッタ装置、レーザービームスパッタ装...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

ガス配管製作

ガス配管製作

クラス１０，０００相当のクリーンルームにて行っております。 製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の 　設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な 　体制となっております。 ◆...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空容器事例「小型実験用チャンバー」

真空容器事例「小型実験用チャンバー」

真空容器製作事例 《フレキシブルな受注範囲》 チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、回転導入機構等を含む ユニットとしての対応が可能 《幅広い製作範囲》 材料(SUS,Al,Ti他)、形状(角型、筒型、水冷他) 《グレードに応じた表面処理》 1、酸洗...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空技術とFAの要素技術を融合！設計・製造からサポートまで対応

重ね合わせ装置やシール剤塗布装置と窒素置換容器、特型GBの設計・制作

半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位での設計製...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空装置設計・製作からサポートまで短納期でご対応

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

図面支給による製作】 ・部品加工、購入、組立、調整、検査、据付調整 ・量産装置向け組立、調整、検査、据付調整 【半導体プロセス応用製品】 ・実験用蒸着装置・有機ＥＬ蒸着基板用実験装置・スパッタ装置(実験設備/生産設備)・ＣＶＤ装置(実験設備/生産設備)・成膜装置(実験設備/生産設備) 【真空対応製品の設計・製作】 ・各種配管・各種フランジ応用製品・真空室内用応用部品の設計製作 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空装置受託製造

真空装置の受託開発承ります！

【受託製造事例】 ◆300Φメタライゼーション装置 ◆凍結真空乾燥装置 ◆有機ELディスプレイ製造装置 ◆銅配管スパッタ装置 ◆ドライエッチャー ◆有機薄膜形成装置 ◆真空排気装置 ※詳細はお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空チャンバー制作技術紹介

真空容器製作等にお困りの方は是非弊社まで！！

真空容器製作事例を紹介いたします！！ 《フレキシブルな受注範囲》 チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、回転導入機構等を含むユニットとしての対応が可能 《幅広い製作範囲》 材料(SUS,Al,Ti他)、形状(角型、筒型、水冷他) 《グレードに応じた表面処理》 ・酸洗浄：低...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空容器制作事例「実験用チャンバー」

真空容器制作事例のご紹介

チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、回転導入機構等を含ユニットとしての対応が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空装置設計・製作致します！

半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の…

装置完成後の現地搬入、立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位での設計製作も行っております。各種実験装置の設計・製作に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせていただきます。...【真空装置設計・取り扱い産業一覧】 ◆真空装置設計（スペースチャンバー、チェンバー、エンクロージャー等） ・各企業様の研究・開発部門や各種...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空装置設計・製作事例【スパッタ装置】

短納期対応でご希望の真空装置を設計製作いたします！

でご希望、または構想図面などございましたら 　下記までお問い合わせください。 【製作事例】 ・蒸着装置 ・ジョセフソン素子作成装置 ・タブテープ作成用ロールコーター ・メタライズ用スパッタ装置 ・酸化膜作成用 ・スパッタ装置 ・ワイヤー成膜用スパッタ装置 ・レーザービームスパッタ装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空配管、粗引配管設計及び制作

真空配管、粗引配管設計及び制作

外観検査にて除去し、 リークテストは全数実施しています。製品完成後は洗浄工程を通り、 減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を 　行っております。 ◆装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが 　可能な体制となっております。 ◆排気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス