スパッタ | イプロスものづくり

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』

PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…

『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...

メーカー・取り扱い企業：千代田交易株式会社

ロボット溶接用ノズルクリーナー『ロペット』

スパッタ除去をきれいに速く安全に、ロボット溶接効率化

となり、生産性・品質・安全性が向上します。・特徴、事例 ●偏心スプリング式回転ドリル機能により１，ノズル内面、チップ外面を同時清掃する２，左右だけではなく下への力も働き、効果的にスパッタをかき落とす ●強力吸引装置により１，ノズル奥深くのスパッタを吸引除去。同時にトーチ先端に塗布した付着防止液を霧状に変え、　　トーチの奥深くまで均一に塗布する２，ノズル清掃の間に４０...

メーカー・取り扱い企業：大和精工株式会社

回路形成材料　電子部品、ウェハーレベルパッケージ工程エッチング液

ウェハーレベルＣＳＰや精密電子部品をはじめとするあらゆる分野で

エッチング剤、ハーフエッチング剤なども取りそろえ ○銅再配線工程や素子電極形成等に各種金属膜のエッチング液を提供【ラインナップ】 ○アデカスーパーケルミカ　ＷＡＤシリーズ →用途：銅スパッタ膜エッチング液 ○アデカテック　ＤＰシリーズ →用途：銅スパッタ膜エッチング液 ○アデカスーパーケルミカ　ＷＣＲシリーズ →用途：クロムバリア層エッチング液 ○アデカテック　ＷＴＩ／ＶＶ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ADEKA

溶接リアルタイム良否判定システム『Weld-Judge』

500Hzでリアルタイム判定！ログ・動画保存ができ、加工機へフィードバ…

『Weld-Judge（ウェルドジャッジ）』は、高輝度、スパッタ、ヒューム3種をユーザー側がパラメーターを設定し、リアルタイムで良否判定する装置です。専用に開発された処理ボード、ソフトウェア、制御・開発用PC、映像を取得するカメラ（C-Cam）...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナックイメージテクノロジー

ステンレス鋼用マグ溶接フラックス入りワイヤ

MT-308LF、MT-309LF、MT-316LFをラインアップ！光…

当社が取り扱う『ステンレス鋼用マグ溶接フラックス入りワイヤ』をご紹介します。ソリッドワイヤに比べて溶接条件範囲が広く、アークは非常に安定。また、スパッタがほとんどなく、ブローホール・割れなどの溶接欠陥のない光沢のある美しいビード外観が得られるなど優れた溶接性を示します。極低炭素の19Cr-9Niの溶着金属が得られる「MT-308L...

メーカー・取り扱い企業：特殊電極株式会社

中・高厚板溶接用混合ガス『ハイアコム』

橋梁、造船の軟鋼中厚板に、ヘリウム添加によるアーク熱量を増加させるガス

『ハイアコム』は、中電流から高電流で抜群のアーク安定性があります。「Law-θ溶接工法」を用いた事例では、ソリッドワイヤを組み合わせ、深いと溶け込みと、スパッタ発生量の減少を実現。建設機械など中厚板溶接において、施工時間の大幅短縮を図ることが可能です。【特長】 ■中高電流域でのアーク安定 ■余盛りの少ないフラットビード ■溶け込...

メーカー・取り扱い企業：東日本イワタニガス株式会社開発本部

【精密かしめ機導入実績】溶接に代わる低コスト組立

サイクルタイムを短縮！電気コスト削減、後処理工程不要などのメリットも

コスト高、スパッタ、歪変形などの溶接工法の問題点や、引抜き強度・ねじり強度などに課題がありました。そこで当社の精密かしめ機「RN381」及び角型ポンチを適用。溶接10secに対してかしめでは2....

メーカー・取り扱い企業：仲精機株式会社

多種金属対応！業界最小クラスの超コンパクトコーターです。

Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコータ…

「SC-701Mk II ADVANCE」は、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックコンパクトコーターです。 DCスパッタのカテゴリーの内でシリーズ最小の超コンパクトモデルです。各種金属の薄膜作製を、コンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。【特徴】 ○真空計を装備し、成膜条件の再現性を確保 ○ス...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

ヒューム集塵機『ヒュームコレクター HMF』：ムラコシ

本格的な溶接ヒューム用集塵機。1.5kW～3.7kWのモーターを搭載し…

ヒューム吸引時に吸い込むスパッタや火花は、ハニカム形状のメタルフィルターを組み込んだスパッタボックスで本体内への流入を抑制します。本体を基本ベースに、オプションのフリーアームなどを組み合わせることができます。フリーアームは、...

メーカー・取り扱い企業：高津伝動精機株式会社

丸型ジャバラ『IRシリーズ』

長さ350mm以上に中間板を付属！外径φ50～φ100まで5mm毎に1…

『IRシリーズ』は、ネオプレンクロス厚さ0.35mm（黒色）を標準とした丸型ジャバラです。耐熱は、コーネックス厚さ0.36mm（グレー）をご用意。 スパッタ対応品で、瞬間耐熱温度180℃です。ネオプレンは、ナイロンメッシュ、耐熱にはSUSメッシュを貼付けております。【特長】 ■標準はネオプレンクロス厚さ0.35mm（黒色）　ナイ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハギテック本社工場

スピードコントローラブラス

耐スパッタ用黄銅製ワンタッチ継手内蔵型速度制御弁

開放リングも黄銅製の為、難燃性、耐スパッタ性に優れています。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本ピスコ

薄板・高張力鋼板溶接用混合ガス『アコムHT』

溶け落ち防止・低スラグ溶接の実現！輸送機器、事務機器などに好適なガス

スです。薄板溶接の溶け落ち防止や、低スラグ溶接の実現が可能。シールドマスターシリーズは幅広いラインアップで、高品質・省力化によるコストダウンも両立します。【特長】 ■スパッタ低減 ■薄板溶接の溶け落ち防止 ■高速化 ■ビード外観向上 ■溶接金属の性質向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：東日本イワタニガス株式会社開発本部

【セミナー8/28】『スパッタリング』の基本と考え方，膜の

スパッタリング率の測定法は？

名古屋大学客員教授】　 <経歴> 1977年キヤノン(株)にて半導体露光装置用光学薄膜プロセス，膜設計の開発に従事　　　　　　 1982年旭硝子(株)にて建築・自動車用硝子スパッタ，膜開発に従事　　　　　　 2003年 (有)アーステックを設立　　　　　　 2009年8月より名古屋大学客員准教授を経て客員教授 ■　開催要領日　時： 2023年8月...

メーカー・取り扱い企業：株式会社技術情報協会

多機能スパッタリング装置【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

0W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF300W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャンバー）基板加熱：Max500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコー...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

溶接関連製品のご紹介

溶接作業の省力化と安全性に優れたケミカル製品。多様な製品ラインアップで…

株式会社タイムケミカルでは『溶接関連製品』を取り扱っております。溶接前に塗布する母材用のスパッタ付着防止剤である「スパドール」をはじめ、電気コード、エアホースなしでどこにでも持ち運び可能なポータブルスプレー「イージーショット2500」や、染色浸透探傷剤の「ハイチェック」などを豊富...

メーカー・取り扱い企業：株式会社タイムケミカルつくば本社・工場/業務本部・東日本事業所

超精密スパッタ技術による「高品質光学フィルタ」

【Chroma Technology社製】紫外から近赤外までの波長対応…

『蛍光フィルタ』は、薄膜の光フィルタの設計・製造を行っている Chroma Technology社の高品質光学フィルタです。【特長】 ■超精密スパッタ技術 ■高品質 ■紫外から近赤外の波長対応【用途例】 ■バンドパスフィルタ ■ビームスプリッタ ■ダイクロイックミラー ■レーザー用反射鏡 ■蛍光顕微鏡 ■マシンビジョン　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック

スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置下記蒸着源から組合せが可能・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着・2inchスパッタリングカソード x 4（又は3inch x 3, 4inch x 2）・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能【スモールフットプリント・省ス...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

研究開発用スパッタリング装置

コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装…

少量生産対応可能な上位機種の能力を手動操作型の簡易実験機で実現８インチ対応の多元高周波スパッタリング装置。高速排気と高いプロセス性能によりＭＥＭＳ・化合物半導体・電子デバイスの基礎研究に対応電子部品の量産対応実績を持つバッチタイプスパッタリング装置シリーズ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

【技術資料無料贈呈！】粉体スパッタリングとは

表面改質から触媒利用まで！成膜事例付きで密着性が高い粉体スパッタ技術を…

当資料は、エイ・エス・ディ株式会社の取り扱う『粉体スパッタ技術』についてご紹介しています。「粉体コーティングにおけるめっき(湿式)とスパッタ(乾式)の比較について」や、「成膜事例(光学顕微鏡観察像)」「粉体スパッタリング装置外観図」などを...

メーカー・取り扱い企業：エイ・エス・ディ株式会社技術研究所

新対向ターゲットスパッタリング（NFTS）装置

超伝導薄膜応用分野やMEMS応用分野などに！低ダメージ・低温成膜で有機…

新対向ターゲット式スパッタ（New Facing Targets Sputtering：NFTS）技術は高密度プラズマを箱型空間に拘束することにより、堆積基板へのエネルギー種（反跳粒子、イオン、電子）の衝撃によるダ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トヤマ

耐スパッタ用結束保護ホックチューブ OTP-R(S)

火気使用所での配線結束に対応！

・RoHS指令10物質適合品・専用工具不要で後付け対策可能・溶融物やノロ対策にも最適...シート部：アラミド繊維混紡(片面シリコーン加工) サイズ(Φ)：15、20、25、30、40、50、70、100 定尺：10m ...

メーカー・取り扱い企業：日本ジッパーチュービング株式会社

多層膜スパッタリング装置『S600』

ヒーターステージ(1000℃)搭載！開発工程～量産工程まで様々な用途へ…

『S600』は、多層・積層成膜プロセスの改善により電子部品の品質強化と生産性向上に貢献する多層膜スパッタリング装置です。高品質・高精度な成膜によりデバイス品質の向上。高スループット、生産歩留り向上、材料利用効率の最適化によりコスト競争力をアップします。多様な成膜条件に対応したオプ...

メーカー・取り扱い企業：パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社

表面処理剤『AHS (Appre Hybrid System)』

塗装前の下地処理剤として使用可能な表面処理剤です！大幅な省エネや生産効…

ず、処理後、水洗または拭き取りのみでOK。有害な重金属を含んでいません。使用方法は、原液を10～30倍に希釈し製品を投入し、10～30分を目安に浸漬するだけ。サビと合せて酸化皮膜・スパッタも除去します。【特長】 ■主成分は食品添加物、PRTR非該当 ■手に触れても皮膚を傷めない ■処理後、水洗または拭き取りのみでOK ■有害な重金属を含んでいない ■簡単にできる除...

メーカー・取り扱い企業：日本化材株式会社

ナベル製ロボットカバー『Robot-flex』

耐熱・耐スパッタ性や、防塵・防水性など、用途に合わせて6種類の素材のラ…

耐熱・耐スパッタ性や、防塵・防水性など、用途に合わせて6種類の素材のラインナップ。用途に合わせて使用することができます。 ◆マジックテープ採用により着脱が簡単 ◆協働ロボットメーカー計4社に標準対応　...

メーカー・取り扱い企業：因幡電機産業株式会社産機カンパニー

【必見】下地処理の革命！１回の処理でできる除錆・防錆剤

【下地処理剤】酸洗い・リン酸処理が不要！従来の工程短縮が可能に！大幅に…

ず、処理後、水洗または拭き取りのみでOK。有害な重金属を含んでいません。使用方法は、原液を10～30倍に希釈し製品を投入し、10～30分を目安に浸漬するだけ。サビと合せて酸化皮膜・スパッタも除去します。【下記に該当する方必見！一度ご相談ください】除錆(脱錆)工程・硫酸や塩酸を使用している方化成皮膜処理工程・クロム酸(クロメート)の使用をしている・リン酸亜...

メーカー・取り扱い企業：日本化材株式会社

【防塵用部品・サイドシール】スパッタ、ゴミからボールねじを守る！

改正食品衛生法に適応！少ない抵抗で細かいゴミの侵入を防ぎ、工作機械の寿…

三和テクノで取り扱っている『ネオパイルシール』のご紹介です。 スパッタでお困りの方必見！細かいゴミの侵入を防ぎ、機械の寿命を延ばします。中のベアリングから出てくる油をパイルで防ぎます。着脱容易性を有しており、改正食品衛生法に適応しています。 ...

メーカー・取り扱い企業：三和テクノ株式会社

機能性＆環境配慮商品　スパッタシート・耐熱シート製品

特殊アクリル繊維を焼成炭化、織物シートにシリコン樹脂をコーティング

特殊アクリル繊維を原料とし焼成炭化した繊維で、耐炎性・耐熱性に優れています。特殊コーティングした織物で作られ、瞬度1300℃ 連続使用約250℃で使用でき、空気中ではガラス繊維のように赤熱するだけで溶融しません。アスベストのような粉塵・公害問題はありません。使用環境に合わせたタイプ・サイズがあり、溶接・溶断時のノロ・火花に対して、最大限の保護を与えます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログを...

メーカー・取り扱い企業：菊地シート工業株式会社

ガラスコーティング技術

各種基板に応じたコートを行うことが可能な、蒸着装置を各種保有しており、…

●各社要求事項に合わせ、イオンアシスト、プラズマアシスト、スパッタ等信頼性の高い成膜での量産対応が可能です。 ●薄板ガラス(0.145T等)での成膜も対応可能です。 ●アシストコートにより、耐熱によるノンシフト膜の生産が可能です。 ●高い密着強度及び膜硬...

メーカー・取り扱い企業：松浪硝子工業株式会社

フロニウス　デジタル溶接機『TPS/i』

2つの溶接プログラムで高品位な高速溶接を実現！プログラムの自由選択が可…

『TPS/i』は、「低スパッタ・コントロール・プログラム（LSC）」と「パルスマルチ・コントロール・プログラム（PMC）」搭載で高品位な高速溶接を実現したデジタル溶接機です。溶接機本体内部に搭載されたCPUが、...

メーカー・取り扱い企業：愛知産業株式会社

溶接ヒューム集じん機『ケムトリくん2』　99.97％捕集

吸引力を従来機より25％ＵＰ！　　３層ハイブリットフィルターと慣性衝突…

動も可能　　上部ハンドルにワイヤー等を掛けて吊り下げて移動可『ケムトリくん2』は、従来の「ケムトリくん」より性能を大幅に向上した溶接ヒューム用集じん機です。従来機より処理風量25％UPし、スパッタ侵入対策を強化したハイブリットフィルター採用。（詳しくはカタログをご確認ください）ヒューム発生箇所近くで吸引するので捕集効率が高く、また標準でダクトホース5mとノズルが付属している...

メーカー・取り扱い企業：日下部機械株式会社本社

ロードロックタイプスパッタリング装置（枚葉搬送タイプ）デモ対応中

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハ…

基板の枚葉搬送を基本としたロードロックタイプスパッタリング装置、上位機種（マルチチャンバタイプ）のプロセスチャンバと搬送機構を共用。高いレベルの膜質要求に対応、各種ＩＣ（ディスクリートＩＣ、カスタムＩＣ，化合物）の量産・試作。次世代デバイス...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

当社は30年以上真空技術に携わり、ユーザー様の仕様に合わせた製品を主に研究機関に提供してまいりました。 2系統のガス導入が可能な「RFマグネトロンスパッタ装置」や安価で手軽に薄膜作製が可能な「小型真空蒸着装置」など真空成膜装置を多数ラインアップ。その他「真空チェンバー」や「ターボ真空排気装置」などの各種研究用装置もご用意しており...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤシマ

【市場(マーケット)別　応用例】パワートレインコンポーネント

スループットの向上！レーザによる処理を加速し、後処理ステップも排除しま…

簡単に自動化して生産に統合できます。高出力半導体レーザは、空間的に選択的なレーザ焼入れ、より小さな粒子構造、優れた耐摩耗性をもたらし、部品の準備と後処理を排除。最大80％のスパッタ低減により、より良い溶接結果が得られます。【特長】 ■部品の歪みを避けるために、空間的に選択性の高い方法で熱を加える ■最大80％のスパッタ低減により、より良い溶接結果が得られる ■...

メーカー・取り扱い企業：コヒレント・ジャパン株式会社本社、大阪支店、厚木TEC

フラックス入りワイヤ『GFW309』

溶接金属のなじみは良好！スパッタの発生が少なく、スラグのはくりが容易な…

『GFW309』は、1.2mmでは不可能な1.5～2.5mm厚の薄板の溶接に適しているフラックス入りワイヤです。アークの安定性は良好。スパッタの発生が少なく、スラグのはくりが容易となっています。ステンレス鋼と炭素鋼あるいは低合金鋼との異材溶接、ステンレスクラッド鋼の初層溶接及びステンレス鋼肉盛溶接の初層溶接に使用され...

メーカー・取り扱い企業：有限会社本瀬商会

【溶接機】パナソニック　TAWERS　溶接ロボットシステム

従来機比１／５～１／７とスパッタの大幅減！パルス溶接の入熱低減＆極少ス…

ナソニック　TAWERS　溶接ロボットシステム」は、ロボット自身が溶接波形を直接コントロールする溶接電源融合型ロボットです。革新的短絡波形制御法「SP-MAG」により、従来機比１／５～１／７とスパッタの大幅な削減を実現しました。 ●詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：扶桑産業株式会社

【抗ウイルス対策】～成膜加工～

金属/合金で菌/ウイルスの増殖を抑制！繊維へのスパッタ加工が可能

積水ナノコートテクノロジーの『スパッタリング技術』をご紹介します。金属/合金で菌/ウイルスの増殖を抑制し、抗ウイルス対策などに好適。多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富です。また、最大34...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社

【市場(マーケット)別　応用例】EVバッテリー製造

優れた導電性、高い機械的強度、浸透深さの正確な制御！異種材料を接触させ…

するレーザー技術でバッテリー製造の課題に対処します。優れた導電性、高い機械的強度、浸透深さの正確な制御により、アルミニウムと銅などの異種材料を接触。熱影響部を最小限に抑え、スパッタを発生させず、正確な浸透深さ制御により、大きなフォームファクタの円筒形バッテリーコンポーネントを接合します。【特長】 ■より高い歩留まりと拡張性を提供するレーザー技術でバッテリー製造...

メーカー・取り扱い企業：コヒレント・ジャパン株式会社本社、大阪支店、厚木TEC

作業用照明『UFOガード』

驚きの軽さ、わずか271g！溶接現場に飛散するスパッタ対策品をご紹介

く光照射が可能。長寿命なインバータランプを搭載しており、省エネルギーを実現します。さらに、電球交換はワンタッチ。ねじ込み構造により工具無しでランプを交換することができます。【特長】 ■スパッタ対策品 ■耐衝撃テスト実証済み ■軽さはわずか271g(UFOセット<小>電球別) ■溶接に耐える ■電球交換もワンタッチ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社長谷川製作所

【抗菌対策】～成膜加工～

各種抗菌/抗ウイルス加工、抗カビなど！繊維・フィルムへのスパッタ加工

積水ナノコートの『スパッタリング加工』をご紹介します。多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富。金属/合金で菌/ウイルスの増殖を抑制することができます。また、最大3400mm幅まで...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社

フルデジタル CO2/MAG溶接機『GZ4シリーズ』

高電流領域での低スパッタと理想的な溶込みを実現！3種類の溶接法をご紹介

お客様から賞賛されたSP制御を採用した「SP-MAG」をはじめ、「MTS-CO2」「HD-Pulse」をご用意。用途に合わせてお選びいただけます。【SP-MAG　特長】 ■スパッタ低減（除去工数削減） ■短絡周期が短くなり高速溶接に好適 ■アーク長が短くなり美しいビード外観 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社本瀬商会

中型エアーリール『リーレックスエアーM』

自動巻き取りボタンで、ホースを簡単収納！作業の効率化に貢献します

ボタンを押すだけでスムーズにホースの収納が可能。ボタン解除でロックが掛かり、引き出したホースを任意の位置で固定することもできます。また、従来のゴムホースの約1/3と軽く、取り回しの良いスパッタ対応ホース「NAR-1110W」もラインアップ。外皮に難燃材を使用し、スパッタや切粉による穴空きを軽減します。【特長】 ■持ち運びに便利なグリップ ■ワンプッシュ自動巻取りボタ...

メーカー・取り扱い企業：中発販売株式会社

小型研究用　イオンビームスパッタリング装置

イオンソースを搭載した実験用装置　精密光学の超薄膜多層成膜に活用可能

OSIの「イオンビームスパッタリング装置」は、お客坂の使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭載した実験用装置です。Veeco社の SPECTOR 相等の能力を発揮します。 RFイオンソースをスパッタ用およびス...

メーカー・取り扱い企業：アールエムテック株式会社

硬質膜用スパッタリング装置ＳＴＬ５５２１型（精密レンズ金型用）

最大５元カソードによる多元・多層成膜。耐摩耗性・耐熱性・平滑薄膜。ロー…

精密レンズ金型のコーティングに必要な耐熱性の高い耐摩耗膜のに形成に最適。レンズ金型のコーティングに適したＰｔやＲｕなどの貴金属合金を多元同時スパッタで小径カソードで効率的に形成。またナノ多層構造の積層膜により耐熱性と硬度に優れた膜も形成可能。精密レンズ金型のような基板を高速に加熱できる特殊基板台と専用ロードロック機構でスループット向上を実...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

レーザ溶接時のスパッター対策

レーザ溶接時のスパッター対策を行った事例をご紹介！

パルスYAGレーザ溶接のメリットとして、高ピーク・短パルスで熱影響の少ない溶接が可能ですが、過剰なエネルギーで溶接を行うと金属同士の相性やギャップ精度、材料の特性によって"スパッタ"と呼ばれる金属粉が飛散します。 スパッタ発生の原因がわかれば、ある程度の対策が可能です。根本的には発生する時点で加工条件が適正では無い可能性が考えられます。レーザ溶接機の機...

メーカー・取り扱い企業：ＵＷＪＡＰＡＮ株式会社

Ｒ＆Ｄ向け小型ロールコーター　FRC-100V

実験用小型スパッタリング装置！コンパクトでリーズナブルな設計！品質…

FRC-100Vは研究開発、小ロット生産に適した小型・高性能のマグネトロンスパッタ式ロールコーターです。樹脂フィルムに光学特性を持たせた透明導電膜や機能性膜を手軽にコーティングできる様に設計されています。スパッタによる緻密な成膜が可能で、走行パターンも多種設定可能です。使い勝手...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富士アールアンドディー

薄膜作成コンポーネント

単品試作から用途に合わせて製作可能！「EBガン」や「Kセル」などをライ…

当社の取り扱う『薄膜作成コンポーネント』をご紹介します。世界最小クラスのUHV対応「マグネトロンスパッタカソード」をはじめ、 ICF70よりマウント可能な「EBガン」やルツボ最小2cc～100cc対応の「Kセル」などをラインアップ。また、有機・金属材料対応の「マルチ抵抗加熱ソース」や「...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社