スパッタ | イプロスものづくり

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』

PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…

『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...

メーカー・取り扱い企業：千代田交易株式会社

バイアススパッタリング装置『SPR-014-B』

良好な絶縁膜形成を実現するバイアススパッタリング装置！

『SPR-014-B』は、基板側にバイアスを印加しながら スパッタリングを行い、絶縁層用の成膜が可能なロードロック式バイアススパッタリング装置です。ピンホール密度が低く、良好なステップカバレージ性を備えた良好な絶縁膜形成ができます。【特長...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本シード研究所

粉体スパッタリング装置

お客様ご依頼サンプルによる受託成膜、立会実験にも対応いたします！

『粉体スパッタリング装置』とは、直径数μmまでの粉の表面に真空・プラズマを使って薄膜をコーティングする装置です。バレルスイング動作を基本とした攪拌機構を有し、 RFまたはDCスパッタ法による成膜が...

メーカー・取り扱い企業：エイ・エス・ディ株式会社技術研究所

真空装置　設計・製造サービス

実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて設計、製造し…

、お手持ちのポンプをご支給いただいたり、このメーカのバルブを使って欲しいなどのご要望にも柔軟に対応いたします。【真空装置、部品の製作事例】 ■PE-CVD装置 ■熱CVD装置 ■スパッタ装置チャンバ設計・製作（チャンバスケッチ・設計・製作） ■大気圧プラズマ用電極ユニット設計・製作 ■画像評価装置制御BOX製作　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業：株式会社DINOVAC

真空加熱乾燥炉

スパッタターゲットの真空乾燥や真空部品の真空乾燥、治具等の真空乾燥に利…

『真空加熱乾燥炉』は、自動乾燥プロセスレシピが30通りあります。使用温度範囲は最高450℃。スパッタターゲットの真空乾燥をはじめ、真空部品の真空乾燥や、治具等の真空乾燥にご利用いただけます。各種オーダーメイドも製作可能ですので、ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

ニードルスケーラー　SP-1470

船舶の錆び、貝殻取り等に最適なニードルスケーラー　日本製です。

ニードルスケーラー　SP-1470は、溶接部のスパッタ落としや船舶の錆び、貝殻取り等に最適。日本製です。【仕様】 ○ピストン径：25ｍｍ ○ピストンストローク：22ｍｍ ○ニードル径：3ｍｍ ○ニードル数：19本 ○ニードル長さ：180...

メーカー・取り扱い企業：エス・ピー・エアー

超精密研磨加工サービス

ケミカル強化、ガラス研磨（石英・青板）フォトマスクなら当社にお任せ下さ…

【営業品目】 ■研磨加工部門　・超精密平面研磨　・光学レンズ ■成膜加工部門　・インラインスパッタ 　・インターバックスパッタ 　・バッチスパッタ ■ガラス加工部門　・ケミカル強化　・切断・面取り・異形加工　・曲げ　・印刷 ■建築硝子部＜取扱品目＞　・強化硝子 ...

メーカー・取り扱い企業：東京特殊硝子株式会社

遮光用カーテン『プロテックウェルディングカーテンAC35』

溶接時の紫外線及び有害光線を遮断！目の安全を守ります

【その他遮断シート】 ■プロテックシート　・プロテックシートA70 　・プロテックシートA50　他 ■スパッタシートカーボンクロス　・スパッタシートジンタ24 　・スパッタシート#4001S　他 ■その他　・セラミッククロス#9500S 　・バイオクロス#9500BS　など ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪製作所

300mm チャージアップモニタウェハ『PT013』

ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ…

的にサポートしております。チャージアップダメージを評価するウエハのサービスは 12インチウエハでも提供可能であり、長期にわたり世界的に評価されています。ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ評価が可能となります。ウエハサイズは300mm、200mm、チップ測定に対応しており、お客様の設備でプラズマ処理を行ったウエハを測定し、 I/Vカーブ、V...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フィルテック　本社

ビームシェーパー『Focal-πShaper_1070』

スパッタ低減に好適！透過率が非常に高いフィールドマッピング型ビームシェ…

的なコリメータレンズの出力側に使われているマウントネジ（M30×0.75、またはM58×1）付きのマウントに取り付けられておりますので、インテグレーションが容易です。【特長】 ■スパッタ低減に好適 ■透過率が非常に高い ■高出力レーザでも安定して利用可能 ■非常に便利な付属のマウント ■既存装置へのインテグレーションがスムーズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プロフィテット

電磁石型コールドカソードイオン銃『OMI-0015CKE』

収束ビームとブロードビームの2タイプをご用意！放電電極に対スパッタ性の…

【その他特長】 ■放電電極に対スパッタ性のレアメタルを採用 ■Ar、He等の不活性ガスはもちろん、水素、酸素、窒素、メタン、ブタン等のガスを　イオンビームにできる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オメガトロン

FEP絶縁/ふっ素ゴムシースシールド付き補償導線

被覆耐熱温度は200℃！柔軟性・遮蔽効果に優れるK種/R種用補償導線を…

FEP絶縁/ふっ素ゴムシースシールド付き補償導線『KX-HS-FEPFRR-BT/ RX-H-FEPFRR-BT』は、耐熱性、可とう性、耐油性、耐スパッタ性に優れた 200℃耐熱の補償導線です。柔軟性に優れており可動部で使用可能。また、シールドを施しているため遮蔽効果も優れております。【特長】 ■耐熱性、可とう性、耐油性...

メーカー・取り扱い企業：株式会社福電

溶接溶断時の火花・ノロ受け皿『ノロ受け具』

取付け・取外しも簡単！デッキプレート作業に好適な火花・ノロ受け皿をご紹…

当社が取り扱う、溶接溶断時の火花・ノロ受け皿『ノロ受け具』をご紹介します。シンプルな受け皿で取付け・取外しも簡単。自立型で4.9mまで対応しています。また、スパッタシートにも取付けられ、デッキプレート作業に好適です。【特長】 ■シンプルな受け皿 ■簡単取付け・取外し ■スパッタシートにも取付け可能 ■自立型4.9m対応 ■デッキプレート...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大同機械

回転治具機械『ターニングロール（中・大型）』

ベッドの剛性が高く堅牢！制御部分にデジタル周速計を標準装備した回転治具…

『ターニングロール（中・大型）』は、従来に比べ搭載角度が充分にとれる回転治具機械です。 2モータ仕様によりドライブシャフトがなくなったため、埃やスパッタが噛込むなどのトラブルがなくなり、さらに故障も少なくなりました。また、最大搭載荷重5,000kgの「RD-5-INW」をはじめ、大型特殊ターニングロール「RD-500-IN」なども...

メーカー・取り扱い企業：マツモト機械株式会社

ポリイミドフィルムへのダイレクトめっき

ダイレクトに無電解めっきし、高密着性、納期の短縮、コストダウンを実現！

フィルム基板に蒸着やスパッタ等の下地膜を必要とせず、ダイレクトに無電解めっきし、高密着性、納期の短縮、コストダウンを実現しました。また、ご要望によってめっき後、エッチングにてパターン形成することも可能です。豊和産業はそんなご...

メーカー・取り扱い企業：豊和産業株式会社

半導体製造装置用電源『GEXUS』

マスタースレーブ運転により、大出力化が可能！15kWスパッタ用直流電源…

『GEXUS』は、半導体成膜（スパッタ）用の電源です。多段インバータ方式採用により、極めて少ないアークエネルギーを実現。ワイドレンジインピーダンスで、進化する高性能、高信頼性を有しています。ユニット単体出力は1.5...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オリジンエレクトロニクス事業

耐熱シート『プロテックシート #5070 A40』

耐スパッタ性に優れ火花が付着しにくいタイプの耐熱シートです！

『プロテックシート #5070 A40』は、絞織りのガラスクロス片面に特殊難燃性シリコンを厚くコーティングした耐熱シートです。シリコン塗布量を多くしており、耐スパッタ性に優れ、長寿命を実現します。【特長】 ■溶接火花の遮断効果が抜群 ■日光、紫外線、オゾン等温度変化に対して安定しており、　耐候耐薬品性に優れる ■水に濡らす必要性がなく取り...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪製作所

【1社1技術】レーザー・プラズマ消耗部品　総合カタログ

試作1個から量産まで！是非一度当社製品を使ってその良さを実感してくださ…

【掲載製品】＜レーザー加工機・溶接周辺用品＞ ■レーザーノンドロス（ドロス付着防止剤） ■スパッタ防止シート ■セラミシールド（スパッタ付着防止剤） ■F-880（反射防止剤） ■イオン交換樹脂 ■セラミックハニカム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社群協製作所

ハイブリットヘッド『OPTICEL HV-D30/D50』

銅への溶接がきれいできる！2波長の焦点アライメント機能を有します

『OPTICEL HV-D30/D50』は、グリーン、ブルーレーザに対応したハイブリットヘッドです。ブルー・グリーンレーザは共に銅への吸収率が高いため、効率的な銅の溶接が可能。スパッタの低減、溶接品質の向上に寄与します。また、豊富なオプション構成で、個別カスタマイズもできます。【特長】 ■グリーン、ブルーレーザに対応したハイブリットヘッド ■2波長の焦点アラ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社レーザックス

【DL可/GD-OES測定】変色したステンレスの組成調査

GD-OES（グロー放電発光分析）によりステンレス(SUS)の表面をス…

グロー放電発光分析法(Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry:GD-OES)は、スパッタリングにより試料表面から原子を弾き出し原子をプラズマ状態に励起し、生じた発光を測定することで試料の組成を分析する方法です。H(水素)が検出できるのも本装置の特長です。この事例では「変色した...

メーカー・取り扱い企業：セイコーフューチャークリエーション株式会社

有機EL用蒸着装置

プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択で…

プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択できます。【特長】 ■基板サイズは最大□300mm対応 ■蒸着セルは各種材料・サイズから選択可能 ■CVD室、スパッタ室等との組み合わせも対応可 ■各種オーダーメイドも製作可能 ■デモ機にてサンプル処理を実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

圧電膜成膜装置

MEMSやFBARの生産に特化した成膜装置です。

米国AMS社スパッタ装置(圧電膜、誘電体膜、メタルスパッタ装置)は、Al膜、Mo膜をメインに、その他多くの膜において高い面内均一性を達成します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

スパッタリングコーティング(成膜)サービス

試作装置・大型装置にて研究開発/試作/量産をアシストします！

『スパッタリングコーティング(成膜)サービス』は、低音高速マグネトロン スパッタを利用したアシストサービスです。試作装置・大型装置にて研究開発/試作/量産をアシストします。各種CVD・EB蒸着...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アシストナビ

小径パイプ用レーザースリット機『FLSM-100』

加工上発生したスパッタや加工片を容易に回収！小径パイプへのスリット加工…

『FLSM-100』は、ファイバーレーザー発振器を搭載した小径パイプへのスリット加工機です。自動ワーク供給と排出機構を備え、集塵BOXとダクトBOXを備え、加工上発生したスパッタや加工片を容易に回収できます。【仕様】 ■制御盤：1面　排気ファン付き ■レーザ操作用PC　12インチTFTカラー ■光学系：ファイバーレーザ装置　型式：JK500FL ■発振波長...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤスオカ

RAM インライン型スパッタリング成膜装置

パイロットラインから量産ラインへが展開が可能な装置です。

RAMカソード（4面対向式低ダメージスパッタリングカソード）及び強磁場プレーナーカソードを搭載したデポジションアップ式水平インライン型スパッタ装置です。下地層にダメージを与えないよう、初期層はRAMカソードで低ダメージスパッタ成...

メーカー・取り扱い企業：京浜ラムテック株式会社

ソリッドワイヤ『YR』

当社オリジナル！軟鋼及び490MPa級の高張力鋼フラックス入りワイヤ

の炭酸ガスで使用し、ロボットや自動溶接において、優れた性能を発揮するマグ溶接用ソリッドワイヤです。中高電流域での溶接ではアークが安定し、厚板のすみ肉及び重ねすみ肉溶接においては、低スパッタの溶接ビードを形成可能です。【特長】 ■軟鋼・490MPa級高張力鋼フラックス入り ■ロボットや自動溶接に最適 ■100％CO2の炭酸ガスで使用 ■中高電流域での溶接でアークが安定...

メーカー・取り扱い企業：吉川金属工業株式会社東京事業所

真空蒸着

蒸着加工を中心とした各種様々な工法により薄膜の製作が可能です（スパッタ加工・メッキ加工・メタライズ加工・PVD.CVD法等も取り扱っております）またフォトエッチング加工・リフトオフ・マスク加工あるいは精密スクリーン印刷法等の手法を用いて　複雑・微細なパターンの製...

メーカー・取り扱い企業：伸和商工株式会社

真空ウエハ接合R&D装置『WI-1000』

加熱・加圧機能に付加して表面活性化機能や陽極接合機能を追加可能です！

『WI-1000』は、真空中でサブミクロンのアライメント精度を達成した真空ウエハ接合R&D装置です。加熱・加圧機能に付加して表面活性化機能(ライン式ビーム照射、Siスパッタ、べーパーアシスト)や陽極接合機能を追加可能。オプションでCTCオートハンドリング化も可能です。【特長】 ■真空中真空アライメント精度：±0.2μm ■加熱加圧機能 ■M...

メーカー・取り扱い企業：ボンドテック株式会社

チャージアップモニタウエハ(8インチ、12インチ)

ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ…

パターンウエハ等を提供し、チャージアップダメージを評価するウエハのサービスは 12インチウエハでも提供可能であり、長期にわたり世界的に評価されています。ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ評価が可能、ウエハサイズは300mm、200mm、チップ測定に対応しており、お客様の設備でプラズマ処理を行ったウエハを測定し、 I/Vカーブ、Vbdマップ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フィルテック　本社

ミリング装置用アンペア級イオン源

MEMS加工装置用イオン源に！ご要望に合わせたオーダーメイドが可能です

当製品は、大面積イオンビームによる高速ミリング処理に適用できる大型イオン源です。耐熱/低スパッタ率電極材料の採用により、低エネルギーアンペア級イオンビームを発生。ご要望に合わせオーダーメイドいたします。【特長】 ■荷電粒子軌道シミュレーションによるビーム均一性の最適化 ...

メーカー・取り扱い企業：ノベリオンシステムズ株式会社

溶接部の解析

インプロセスサポートソフトを用いた溶接部の解析

溶接部から発生したスパッタ、ヒューム、高輝度部を自動で計測します。あらかじめ設定したしきい値を元に、溶接の自動良否判定が可能です。また、溶接条件を最適化できます。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしく...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＩＨＩ検査計測

成膜装置複合型ＰＬＤ装置

民間の研究所から国営研究施設まで、幅広く対応！半導体・液晶・プラズマデ…

70台以上の販売実績を誇る多目的ＰＬＤ装置です。豊富な実績に基づいた設計により安定した動作が可能で、他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることも可能です。...

メーカー・取り扱い企業：バキュームプロダクツ株式会社

高機能フィルム製造用ロールコーター

スパッタ・ＣＶＤ・蒸着の複合機

高性能な透明導電フィルムや透明バリアフィルムを乾式（スパッタやＣＶＤや蒸着）で製造するロールコーターです。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

後酸化式スパッタリング装置

多層の光学薄膜に最適な後酸化式スパッタリング装置です。

特長 ■後酸化方式の採用で高生産性を実現 ■優れた膜厚均一性±１％以下を実現 ■水平基板搬送による全面スパッタが可能...

メーカー・取り扱い企業：芝浦メカトロニクス株式会社

被覆チューブ専用カッター　チューブストリッパーカッター

本体樹脂製の為、軽量で被覆カットが簡単

被覆チューブ(スパッタチューブ)をカットするのに最適です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本ピスコ

真空蒸着システム　UBM Sputter

合金、化合物、絶縁膜の蒸着が可能

内部磁石と外部磁石の磁場の強さを異なるように設計し、 スパッタの効率を増大させた、真空蒸着システム...

メーカー・取り扱い企業：パーカー熱処理工業株式会社川崎事業所

溶接煙（ヒューム）回収装置『ケムトリくん2』　じん肺予防に好適！

捕集率99.97%以上の超高性能（クラストップ）。小型・軽量で移動もし…

【『ケムトリくん　２』湿式フィルター追加採用で集じん力、スパッタ対策大幅向上！！！一般電源仕様　　ＡＣ100Ｖ　50/60Ｈｚ可搬性抜群　　　軽量小型（27ｋｇ）　キャスター付き高処理能力　　　0.3㎛を99.97％捕集の超高性能フィルター仕様...

メーカー・取り扱い企業：日下部機械株式会社本社

【分析事例】ポリイミド成分の深さ方向分析

TOF-SIMSによる高分子・樹脂・フィルムの表面改質層の深さ方向の評…

から、電子部品をはじめとして様々な分野で用いられている材料です。表面改質を行うことで他の材料との密着性を高めることができることから、改質層の状態を把握することが重要です。今回、有機成分が壊れにくいスパッタ条件にてTOF-SIMS測定を行い、深さ方向にポリイミド成分を評価しました。GCIB（Arクラスター）をスパッタに用いると着目する有機成分を深さ方向に測定することが可能です。※GCIB：Gas C...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

受託開発・加工

保有の設備・機器・技術を活かし試作・少量生産など開発の御手伝いをします…

当社では『受託開発・加工』を行っています。合成・分析評価・精製・微粒子化・分散をはじめ、コーティング・フィルム加工（蒸着、スパッタ）、ラミネートなどを取り扱い。保有の設備・機器・技術を活かし試作・少量生産など開発の御手伝いをします。【特長】 ■合成、分析評価、精製、微粒子化、分散 ■コーティング、フィルム...

メーカー・取り扱い企業：日本資材株式会社

皮革手袋スパークガードグローブ SG8721-7

手袋内部へのスパッタ混入を防ぐ！

手袋着用時にできる裾部分の隙間は溶接作業時のスパッタによる火傷事故の多くの原因となります。「スパークガードグローブ」は独自のカフスマジックファスナーで安全性を高めます。...

メーカー・取り扱い企業：日光物産株式会社

Dynavac社天体望遠鏡用成膜装置

2 m以上の望遠鏡基板に光学多層膜を成膜（スパッタ、蒸着）します。

Dynavac社は望遠鏡へのコーティングにおいて、リーディング企業です。・スパッタと蒸着による成膜・様々な鏡の形状にあわせます・膜厚均一性：±5 %未満 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

ミオレックス PMX-561 菱電化成環境を配慮した断熱板です

優れた断熱性・機械強度、卓越した寸法安定性、アスベストを使用しない安全…

）になります。高い耐熱性を有しているため断熱板としてのご利用が多い材料です。成形機、プレス機、金型の断熱板として、また誘導加熱炉や電気炉の断熱板として使用実績がございます。 スパッタに強く溶接用治具としても最適な材料となります。他の樹脂と同様に機械加工、切削加工をメインとしますが、比較しますと粘りが無く多少欠けやすい印象があります。工具の消耗が激しいといった特...

メーカー・取り扱い企業：株式会社藤電気（FRP、樹脂、配線ASSYの専門企業）

【分析事例】角度分解XPS（ARXPS）による極薄膜組成分布評価

基板上の極薄膜についてデプスプロファイルを評価可能です

分解XPS（ARXPS）はX線照射によって放出される光電子を取出角ごとに検出し、それぞれ検出深さの異なるスペクトルを用いてサンプル表面極近傍のデプスプロファイルを評価する手法です。従来のArイオンスパッタを用いた方法と比較すると、深さ方向分解能が向上し、かつ選択スパッタやミキシングによる組成変化が無いといったメリットがあり、基板上の極薄膜（数nm程度）のデプスプロファイル評価に有効です。本資料...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

溶接・業務用集塵機『ダスミックEXN-2HBFW』新東工業

特化則改正に伴う溶接ヒューム対策に！ちょっとした溶接作業時に最適！

10m3/min フィルタ材質：耐熱ナイロンフェルト払い落とし方式：手動シェーキング寸法(WDH)：840×750×1,505mm 電源ケーブル：10m ■火災対策オプション スパッタガード内部確認窓出口ダンパ...

メーカー・取り扱い企業：新東工業株式会社

カーボンコーター　SC-701CT

個人差のないカーボン蒸着が可能に！ EPMA・分析SEMの前処理用とし…

のないカーボン蒸着を実現〇蒸着作業時毎にカーボン棒を削る手間を省く〇ロータリーポンプのみによる排気(低真空)のため、試料表面へのカーボン粒子の回り込みに優れる〇オプションのマグネトロンスパッタユニット(SC-MC)を取り付けることにより、金属のスパッタコーターとして使用することができます。 ...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

真空容器事例「小型実験用チャンバー」

真空容器製作事例《フレキシブルな受注範囲》チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、回転導入機構等を含むユニットとしての対応が可能《幅広い製作範囲》材料(SUS,Al,Ti他)、形状(角型、筒型、水冷他) 《グレードに応じた表面処理》 1、酸洗...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス