スピンドライヤー | イプロスものづくり

自転式スピンドライヤー

試作・少ロット生産ラインなどに最適な自転式スピンドライヤー、OKVシリーズです。従来のN2置換方式とは異なり、前面扉より環境エアーを取り込む遠心力＋吸収エアー乾燥方式を採用しました。 ...

安全でクリーンな乾燥を実現！スピンドライヤー

バランシングテクノロジーが静かな回転性能を実現 ●イオナイザー、ＵＬＰＡフィルターを標準装備 ●オプションとして、自動バランス修正機構・ウエハ割れ検出装置を御用意 ●シリコンウエハ以外のスピンドライヤーも対応可能です。ご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業：大宮工業株式会社営業本部営業課

スピンドライヤー（乾燥機）

【デモ機貸し出し可能！】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン…

〜概要〜・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。・異常振動が発生した場合、自動的に停止します。...〜概要〜・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー　SFH type

【デモ機貸し出し可能！】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です

SFH typeは卓上型のスピンドライヤーです。特に150mm□以下の基板をカセットに収納し、2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです。蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵し...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー

カセットに収納したウェハーを回転による遠心力を利用し、効率の良い乾燥(リンスオプション)を可能にしています。小口径サイズから大口径サイズまで 1カセット卓上型から4カセット自立型まで各種対応【特長】・小型コンパクト設計・高乾燥能力 ◆詳細仕様はカタログをご覧ください。◆...カセットに収納したウェハーを回転による遠心力を利用し、効率の良い乾燥(リンスオプション)を可...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

スピンドライヤー　SPD-1200G

【デモ機貸し出し可能！】蓋にULP又はHEPAフィルターを内蔵し、クリ…

本機は、ガラス基板やセラミックス基板、フィルム基板等の乾燥を行う装置です。乾燥物は、専用カセットに入れた物をスピンドライヤーのローターにカセット枠を設け、其処にセットします。チャンバー内は回転で陰圧となり、蓋に組み込まれたHEPAフィルターを通過したクリーンの風により、チャンバー内のクリーン度を高め、高品質のス...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピンドライヤー

1キャリアから4キャリア処理まで対応可能。

自動機組込可能。 ※割れ易い（GaAsなど）ワーク用も有ります。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 ■1キャリアから4キャリア処理まで対応可能。 ■自動機への組込も可能です。 ■割れ易い（GaAsなど）ワーク用もあります。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン

ドライヤー　オートバランススピンドライヤー

特許取得製品です！

オートチューニング機構を持つスピンドライヤーです。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケミカルアートテクノロジー

スピンドライヤー　SFシリーズ

【デモ機貸し出し可能！】シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用。…

SFシリーズは、シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用として、コンパクトな卓上型の乾燥用に広く使用されています。操作は極めて簡単で、ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけで、安全なスピンドライ仕上げを行います。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用 ○コンパクトな卓上型の乾燥用 ○操作は極めて簡単...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…

SPM等の無機薬品、IPA、現像液等の有機薬品及び各種洗浄液ならびに機能水・搬送状態カセット／ドラムならびにキャリアレス（※搬送ロボットは上部／下部の2種類があります。）・乾燥 スピンドライヤー／リンサードライヤー／IPAドライヤー（※IPAは内製品です。） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

スピンドライヤー　SPD型

【デモ機貸し出し可能！】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内の…

SPD型は、2又は4キャリーヤーを同時乾燥するもので、上部にクリーンフィルターを設け、本体内を常にクリーンな風を通し、チャンバー内のクリーン化を計っています。クレドールの交換により4～12インチ、ウエハーの乾燥が出来ます。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

改造・メンテナンス

スピンドライヤーの改造メンテナンスはお任せ下さい。回転機械等その他の装置も対応可能です。大宮工業の製品のみならず、メーカーを問わずスピンドライヤーの改造・メンテナンスを承ります。シングルスピンドライヤーも対応可能です...

メーカー・取り扱い企業：大宮工業株式会社営業本部営業課

スピンドライヤー　SRD型

【デモ機貸し出し可能！】高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）…

SRD型は、従来のすぐれた乾燥性、操作性に加えて高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）処理タイプの乾燥装置です。蓋にULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上させます。クレドールの交換により2～3種類の、ウエハーの乾燥が出来ます。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

半導体製造装置　自動レジスト剥離装置

【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれて…

本機はレジスト剥離装置になります。ローダーにセットされたカセットをロボットが自動的に搬送し、各処理工程を経た後、温風ブロー/スピンドライヤーで乾燥し、アンローダーに払い出す装置です。詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社