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8件 - メーカー・取り扱い企業
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PR高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…
当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析(リーク量測定)を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2%BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。 封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。 半導体デバイスの不良解析、...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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PR様々な工場設備からリアルタイム情報を取得し、生産性向上を実現するスマー…
SliFas(スリファス)は、工場内の設備や機械からリアルタイムで情報を取得し、管理者や作業員のスマートデバイスに異常通知を送信することが可能なシステムです。 このシステムを通じて、生産ラインの稼働状況や設備の異常を即座に把握し、迅速な対応が可能になります。また、SliFasはお客様の既存業務にジャストフィットするよう、柔軟なカスタマイズが可能です。 【SliFasの特長】 ■柔軟な...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サンテック
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大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…
水素の還元力を最大限に活用し従来に無い薄膜・基板表面の高品位化を実現 デリケートな化合物デバイスや誘電体基板の熱処理(べーく・アニール)に最適。 実績と経験に支えられた信頼性の高いハード構成で安全性も確保 電極・配線膜の高品質化に、高融点金属膜の抵抗値・応力制御に研磨後のウェハの終端処理...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハ…
ワイドバンドギャップ半導体デバイスの歩留まりを向上するためには、応力に起因する欠陥や転位を最小限に抑える必要があります。その手法の一つとして、半導体結晶の超高温熱処理があります。c.CRYSCOO HTA高温アニール炉は、ワイドバ...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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ボイドレス半田付のスタンダード装置。車載用パワーデバイスモジュールを支…
豊富な実績を誇るバッチ式真空半田付装置を本格量産用に展開。 従来のH2雰囲気プロセスに加え蟻酸対応をプラス。より高い信頼性を持つボイドレス半田付を量産ラインで実現。 車載用パワーデバイスモジュールの半田付の標準装置。 社内デモ機によるプロセスサポートと柔軟なハード対応で要求に対応。...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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ポリイミドキュア装置(300mmウェハ対応 クリーンベーク装置)
300mmウェハ対応ポリイミドキュア、ベーキング、低温アニール、多層基…
低酸素雰囲気中で熱風加熱。温度均一性とクリーンネスを両立。先端デバイスの量産ラインで採用実績豊富な高信頼性装置。 半導体用ポリイミドキュアだけでなくフレキシブル基板ベーク・太陽電池セルアニール等幅広い用途に対応。 オプションにて高真空タイプ。高温処理タイプ対応。...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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電子・半導体業界用!1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール
従来のシリコンデバイス用途のみならず、シリコン系パワーデバイス(IGBT)の熱処理用途や化合物半導体(GaN、SiC)のアニール処理、エピ成長装置としてご検討下さい。 ...
メーカー・取り扱い企業: アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー
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半導体・電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用各種実験装…
研究開発分野向け、各種薄膜実験装置・コンポーネントを紹介します。 【nano Benchtopシリーズ】 ハイパフォーマンス!nano Benchtopシリーズ薄膜実験装置 コンパクトサイズに、高機能・ハイスペックな薄膜装置を収納 【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置】 多彩な装置構成、必要なコンポーネントを要求仕様に合わせて組み合わせ構成する「フレキシブル実験装置」...◉...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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R&D~量産まで使用可能!3~6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉
『VF-3000H』は、超高温処理が可能で、パワーデバイス製造に適した 活性化アニール炉です。 ミニバッチ、50枚の処理が可能で、3インチ~6インチまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D...
メーカー・取り扱い企業: 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
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神港精機の真空半田付装置に新型登場 優れた均熱性・昇降温特性と雰囲気制…
パワーデバイスモジュールの生産を支える神港精機の真空半田付装置がアップグレード。昇降温特性と均熱性能を向上させ処理寸法も拡大。従来通りの雰囲気制御性能と処理温度の高温化によって金属ペーストの焼結接合に対応。 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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