高精度かつ高強度！『メタルコアシリーズ』

PR高強度・耐食性に加え表面処理性に優れ、加熱処理も可能！

メタルコアは、カッター刃でキズも付かない等、 樹脂コアに優る耐久性によりリユースコア用途としてもその特性を発揮します。 メタルの管材は、元来巻き芯に求められる内外径・肉厚精度を満たすものが少ない中で、 当社のメタルコアは、高い真円度を実現しフィルムの巻シワの発生を抑えることが可能！ ■メタルコアシリーズ（アルミコア）のご紹介 特殊硬化処理を行う事により表面改質が可能！ 通常Hv...

メーカー・取り扱い企業： 三協紙業株式会社

給水・給湯配管部材『ハードロックS』

PRポリブテンパイプ＋ワンタッチ継手！ブラックライトでリングが発光します！

『ハードロックS』は、ワンタッチ接続で安全・簡単・スピード施工が 可能な給水・給湯配管部材です。 挿入確認は段付リングで簡単・確実。差込み確認ラインまでパイプを 挿入し、段付きリングの段差がなくなり平らになると差込み完了です。 また、ブラックライトでリングが発光するため、暗所での確認作業が スムーズにできます。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ワンタ...

メーカー・取り扱い企業： バクマ工業株式会社

マイクロツール『ハードメタルツール』

切削・マーキングに最適

対象物を突付く・押し退ける・擦る・切削する・こそぐ・切る等、大変多用途に使用可能なハードメタル製のプローブです。 5μmのプローブは、金属・シリコンウエハ・硝子の様な硬質材料の微小エリア切削や、FIB加工前のターゲット用マーキングが実現できます。 マイクロピーラーは、先端が彫刻ノミ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロサポート 本社営業部・開発部

量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。 基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装置...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

量産用真空半田付装置（蟻酸対応タイプ）

ボイドレス半田付のスタンダード装置。車載用パワーデバイスモジュールを支…

Ｈ２雰囲気プロセスに加え蟻酸対応をプラス。より高い信頼性を持つボイドレス半田付を量産ラインで実現。 車載用パワーデバイスモジュールの半田付の標準装置。 社内デモ機によるプロセスサポートと柔軟なハード対応で要求に対応。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

の精密エッチング ■独自機構による抵パーティクルプロセス ■メタル膜、化合物半導体基板など幅広い用途へのプロセス対応 ■ナノインプリントモールド用「SERIO」の基本構成を生かした 　高いハードの信頼性 ■ウェハだけでなく特殊材質、形状基板への積極対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水素アニール装置（電子デバイス用、サンプルテスト対応中）

大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…

水素の還元力を最大限に活用し従来に無い薄膜・基板表面の高品位化を実現 デリケートな化合物デバイスや誘電体基板の熱処理（べーく・アニール）に最適。 実績と経験に支えられた信頼性の高いハード構成で安全性も確保 電極・配線膜の高品質化に、高融点金属膜の抵抗値・応力制御に研磨後のウェハの終端処理に、特殊用途の熱処理に多くの実績を元に初期段階からテストを含めて対応...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合…

ーまで一貫して丁寧な対応を 行っています。 【特長】 ■リーズナブルなコストと高いプロセス性能 ■少量生産にも対応可能な高い信頼性 ■豊富な実績に支えられた豊富なオプション類と柔軟なハード対応 ■先端分野の薄膜開発にロードロック機構と事前成膜テストで 　プロセス開発をサポート ■デモ機を常設し、サンプルテスト対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

研究開発用真空蒸着装置

目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。

易実験型の2機種をラインアップしています。 両機種（前扉型・簡易実験型）とも目的・コストに合わせて柔軟な 仕様対応が可能。デモ機を常設し、サンプルテスト対応いたします。 【特長】 ■実績豊富なハードと柔軟なコスト対応 ■目的に合わせた豊富なオプション機構(高温加熱・基板冷却・多元同時蒸着・ 　有機物用蒸発源　リフトオフプロセス対応） ■プラズマ電極・RFコイルなどのイオン化機構・プラズマ電極...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

成膜 ⇔ エッチング装置『210D』

簡単なハードウエハ交換で、CVD及びRIEとして使用可。ご要望に応じて…

『210D』は、エッチング及び成膜を必要とする様々な製品の開発に お使いいただける、誘導結合プラズマによる成膜装置です。 十数分の時間でハードウエアを交換し、誘導結合プラズマエッチング装置 として使用する事が可能。 現場でのハードウエアの交換で、CVD及びRIEとして使用できる為、 導入コストを抑える事が出来ます。 【特...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

大気非暴露型多元スパッタ装置

硫化物対応も可　薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット～成膜…

。多元カソードによる負極・電解質・正極の一括形成と成膜後の大気非暴露による基板の封止が可能。 Ｌｉの専用ターゲットによる事前成膜テストも対応可能（有償） 材料（ターゲット）ソフト（成膜テスト）ハード（専用装置）一貫対応 硫化物ターゲット及び専用グローブボックスも装備可能。汎用性と個別対応を両立. ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

側面電極用イオンプレーティング装置（面実装小型部品対応）

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプ…

の側面電極をドライプロセスで形成。 廃液処理不要なクリーンプロセス。部品の端面のみに強い密着力で電極被膜を形成。Ｓｎ、Ｎｉ等の金属膜をハイスループットで形成。（酸化膜形成にも対応） 実績豊富なハードと独自の成膜プロセスで小型電子部品の生産プロセスのドライ化・低コスト化、安定生産に貢献いたします。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ワイエイシイメカトロニクス株式会社　事業紹介

生産環境の課題を解決する各種製造装置およびシステムを提供いたします

ワイエイシイメカトロニクス株式会社は、ハードディスク関連製造装置 の製造・販売を主要業務としているワイエイシイホールディングスの グループ会社です。 HDD用バニッシャー装置、クリーンコンベアといったハードディスク 関連やテスト...

メーカー・取り扱い企業： ワイエイシイメカトロニクス株式会社 本社

エレクトロニクス･半導体業界向け硬さ･弾性率･粘弾性評価

セミコンダクタ・スマートフォンなどの研究開発のためのナノインデンテーシ…

百ナノ～数百ミクロンの薄膜や柔らかいポリマーの評価が可能です。 測定例 -スマートフォン等のディスプレイ用有機材料・ポリマーフィルム (絶縁体・光ファイバー・半導体) -磁気記憶媒体 (ハードディスクドライバー) -太陽光発電バックシート -プリント基板のSi3N4及び高誘電率セラミック層 -サファイヤコーティングゴリラガラス アントンパール社製ナノインデンテーションテスタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン

HDテクスチャ加工用　半導体製造装置　

HDテクスチャ加工用　半導体製造装置　

超精密フィルムラッピングマシン 【特徴】 ○クリーンルーム内でのHD（ハードディスク）製造工程における、ラッピング（研磨）マシン ○クリーニングテープと洗浄装置も搭載し、多くの素材に対応 ○高精度の超精密研磨が要求される場面でも安定した作業が行えます ●現在、世...

メーカー・取り扱い企業： 泉谷機械工業株式会社 大仙工場

歯車検査装置(歯溝検査方式)

歯溝検査に！操作性を高めたユーザインターフェースな歯溝検査装置。

歯溝検査装置は接触式の検査方法を採用し、切削油などの液体が付着しても安定した検査精度を実現します。データ管理もハードディスク内の任意の指定場所に保存できExcelファイルやプリンタ出力が可能です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： システムセイコー株式会社

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

耐久性と省エネを実現し、ランニングコストを低減 あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により 　ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良により 　従来製品に対し、消費電流を40%低減 ●その他機能...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

卓上AFM

電磁スキャナー式（特許取得済み） ダメージレスで非破壊で測定可能 …

微細線幅測定 　・シリコン、化合物ウエハ表面形状測定 　・石英ガラス表面検査 　・マスクパターン測定 　・研磨、CMP後の表面検査評価 　・薄膜段差測定、成膜時の連続、不連続測定 　・ハードディスクの磁気フィールドの観察 　・フィルム表面検査 　・高精度金型の表面解析 　・光学部品、精密部品の評価...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

ポストＣＭＰ／スクラバー用ＰＶＡブラシ

ウエハのポストCMP洗浄に最適！特殊洗浄で高度なクリーン度を実現。

ＫＭ−ＰＶＡブラシはポストＣＭＰ，ホトマスク，ガラス/アルミ ハードディスク，ＬＣＤパネル基材等のスクラブ洗浄に最適な高度に洗浄された製品です。 国内外の装置に合わせて多種のスムースブラシ，イボ付ブラシ，パックブラシ，ペンタイプブラシを用意しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： ＫＭジャパン株式会社

UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー

光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、…

スクの自動平行調整が行えます。 超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。 露光方式としてプロキシミティ、ソフト、ハードコンタクトにも対応。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 【特長】 ■i線（365n...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

oO(低ランニングコスト) 【用途】 　・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール(NSG) 　・パワー半導体用層間絶縁膜(NGS/PSG/BPSG) 　・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) 　・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)

少量・多品種向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　枚葉式…

・コンパクト筐体とミラータイプとの隣接設置による省スペース対応 　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 　・パワー半導体用層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) 　・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) 　・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) 　・光導波路(NSG/BPSG) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

システム精工株式会社　事業紹介

お客様にご満足いただくことが、システム精工の変わらぬ企業姿勢です

システム精工株式会社では、主にハードディスク自動製造装置およびその他 装置の設計・製造・販売を事業とするメーカーで、独自の要素技術を活用した 装置を提案するエンジニアリング企業です。 起きている事象・現象を素直な目と心で見...

メーカー・取り扱い企業： システム精工株式会社

小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)

試作・開発・小ロット生産向け　NSG(SiO2)/BSG/PSG/BP…

処理 　・高い成膜速度 　・シンプルメンテナンス 　・省フットプリント 　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 　・層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) 　・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) 　・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) 　・太陽電池(セル)向け固相拡散用ソース膜(BSG,PSG)/キャップ膜(NSG) ※詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

バッチタイププラズマリフロー装置（フラックスリフロー）

微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応　省…

後のウェット工程を削減。ウェット装置のスペース・処理・ユーティリティーを削減する省エネ・省スペース・クリーンプロセス。 ３００ｍｍウェハ対応の処理ステージによる最先端量産プロセスをバッチタイプのハードで小径基板のニッチデバイスに対応 短タクトのバッチ処理で多品種少量生産やR&D用途に対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

SUSS MicroTec 手動マスクアライナMJB4

最大4インチ角基板対応 手動露光機

・対応基板サイズ 小片 5×5mm～最大φ100mm ※100×100mm対応はオプション ・露光モード コンタクトソフト, ハード, バキューム ギャップ露光(1~300μm) オプション：フラッド露光 分割露光 ・露光光学系 波⾧ UV400 350~450nm UV300 280~350nm UV250...

メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社

太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)

結晶Si太陽電池セル量産用　NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用…

圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・156mm角/125mm角ウェハ対応 　・1500枚/hの高生産性 　・太陽電池用薄型ウェハ対応 【用途】 　・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) 　・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) 　・固相拡散用ソース膜(BSG,PSG)/キャップ膜(NSG) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』

サイズは4inと8inをご用意！〇型□型試料に対応した高い汎用性を有し…

【仕様】 ■露光光源：照度分布±5％以内 ■露光解像度 ・ソフトコンタクトL/S 3μm ・ハードコンタクトL/S 1μm ■アライメント精度 ・Top-side ±1μm ・Bottom-side ±3μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』

露光光源照度分布は±5％以内！デスクトップ型と自立型のモデルをラインア…

にて±5μm としております。 【仕様（抜粋）】 ■ウェハサイズ：4in/6in/8in ■露光光源照度分布：±5％以内 ■露光解像度 　・ソフトコンタクト：L/S 3μm 　・ハードコンタクト：L/S 1μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…

極や磁性材用カソード、基板加熱用メインロールなど豊富なオプション機構を揃えており多目的なフィルム連続処理装置として運用可能 Ｒ＆Ｄ用小型機やシート対応のバッチ型装置など目的・用途に合わせて柔軟にハード＆ソフトの実現...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

『日本研紙の研磨材　総合カタログ』　※無料進呈中！

耐水研磨紙、研磨ベルト・研磨ディスクなど、多数収録！幅広い研磨ニーズに…

です！ 耐水性に優れ、空研ぎ・水研ぎに対応する「耐水研磨紙（シート）」、 木製キッチン扉・家具の生地など木工用途の「研磨紙ベルト」、 耐熱ファイバーを使い、鉄板面に最適な「研磨ディスク（ハードタイプ）」 など、様々な研磨ニーズに適した製品が揃っています！ 【掲載概要（一部）】 ＜紙タイプ＞ 　■ドライタックペーパー（使いやすいノリ付きタイプ） 　■マジックタックパーパー（...

メーカー・取り扱い企業： Mipox株式会社

クリーニングペーパー、研磨パッド/フィルム、クリーニングローラー

ＦＰＤ業界や半導体向けの研磨パッド、研磨フィルム、クリーニングローラー…

FPD業界、半導体業界をはじめとしてLCDガラス、ガラス基板、セラミック、シリコンウエハ、ハードディスクなどの研磨、艶出し、異物除去、フィニッシングのための製品を提供しています。 ペーパー、フィルム、パッド、ホイール、ローラーなど目的にあわせた形状での提供が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 大韓貿易投資振興公社(KOTRA)

ビトリファイドダイヤモンド・ＣＢＮダブル平面研削ホイール

研磨能率と仕上がりに優れ、ドレッシング間隔延長、低切削エネルギー、チッ…

●用途：鋼、鋳鉄、銅、超硬合金、PCD / PCBNインサート、硬質合金、セラミック、単結晶シリコン及びその他のワーク表面の研削加工に適しています。 ●ボンド：ビトリファイド＆レジン ●直径：300〜1500mm ●ダイヤモンドとcbnの形状：円筒形、六角形、正方形、セグメント ●グラインダー：Wendt WBM、Viotoo、AMT、Stahli、Peter Wolter...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社MORE SUPER HARD PRODUCTS CO.,LTD.

赤外線反射防止膜用ＤＬＣコーティング装置

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定の…

硬質膜・表面処理用途で実績豊富なＰＩＧ式ＤＬＣ膜形成装置を赤外線光学用途に展開。９０％以上の高い透過率を持つＤＬＣ膜を基板両面に一括形成 硬質・高い透過率のＤＬＣ膜を高い生産性で実現。 ...独自開発高密度プラズマ源（ＰＩＧプラズマ源）を装備 自公転機構によるハイレート全面成膜機構 各種赤外線光学素子の対応した充実のソフトウェア...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ICPプラズマエッチング装置『SERIO』

平滑なエッチング面と高い加工精度を実現！サンプルテスト対応いたします！

【仕様】 ■ハード構成：ロードロック式　ロードロック室　エッチング室各1室構成 　　　　　　　※量産用　マルチチャンバタイプもラインアップ ■処理基板：～φ8インチウェハ形状品（矩形基板対応可能） ■対応基板：Si...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

SUSS MicroTec 手動マスクアライナMA/BAGen4

最大8インチ対応角基板まで対応可能 セミオートアライメント対応露光…

応基板サイズ MABA6 : 小片～最大φ150mm MABA8 : 小片～最大φ200mm ※150×150,200×200mm対応はオプション ・露光モード コンタクトソフト, ハード, バキューム プロキシミティ露光ギャップ: 1~300μm オプションフラッド露光分割露光 ・露光光学系 波⾧ UV400 350~450nm UV300 280~350nm ...

メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社

化合物半導体用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１６５０ＳＰＢ型）

先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…

従来型よりコンパクトなチャンバに大口径クライオポンプを採用、チャンバ各機構部に超高真空対応を採用し、クリーンな高真空環境を可能にしました。 蒸発源には水冷式反射電子トラップ付きの電子銃を使用しており、基板への電子の乳を防いだ低ダメージ成膜を実現しています。 実績豊富な６連式電子銃は高融点金属を含む多層膜電極形成に対応しています。また安定した蒸着が特徴でマイクロアークによる基板ダメージやドロップ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

高周波超音波洗浄機（メガソニック）　UMCシリーズ

精密洗浄に適する高い周波数洗浄機（500kHz、1MHzHz）----…

きる。 ３、外部制御用コネクタ付き、コンピューター等によるリモートコントロールができる。 ４、投込型、振動板型振動子の製作が可能。 この高周波数超音波洗浄機UMCシリーズは、半導体ウェハー、ハードディスク基板、ディスプレイ用ガラス、サファイア基板、水晶ウェハー、石英ガラス、メタルマスク等の洗浄に適する。 ...

メーカー・取り扱い企業： 新科産業有限会社

水素プラズマクリーニング装置（イオンクリーニングタイプ）

H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効…

実装基板用のプラズマクリーニング装置「POEM]及び量産用プラズマクリーニング装置のハードを応用、クリーニング用ガス及びプロセスレシピをバージョンアップ。 豊富なレシピによる目的別クリーニングプロセスを実現。 水素ガス単体によるプラズマクリーニングの高還元性クリーニングに加え、Ａｒ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

リフトオフプロセス対応真空蒸着装置

高周波・通信デバイスに多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置で…

0°±3°at6インチウェハ） ■基板水冷機構による低温蒸着（70℃以下＝実績値） ■大口径排気系による高速排気とクリーンなバックグラウンドによる緻密な膜質 ■豊富なオプション類による柔軟なハード＆ソフト対応（枚葉式＝CtoC化 　ロードロック化　複合プロセス化＝ロードロック化＋他プロセス室接合） ■デモ機を常設し、サンプルテスト対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水素雰囲気コンベア炉（還元雰囲気連続熱処理装置）

豊富な実績を誇るベストセラータイプ、高温半田付やペースト焼成・金属粒子…

炉内を水素還元雰囲気置換。Ｎ２による不活性雰囲気では実現できない低酸素濃度と還元雰囲気処理をコンベア炉による連続処理で実現。 水素雰囲気の還元効果を応用し、通常のリフローでは対応できない高い信頼性を求められる高温半田付や連続還元雰囲気処理熱処理に対応。 各種ペーストの焼成にも実績豊富。 ３００ｍｍウェハ対応のＣｔｏＣタイプでシステムＬＳＩのウェハバンプのリフロー工程もカバー 従来の半田付・...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマ溶岩コーティング装置（STV6301スパッタリング装置）

最新プラズマ技術で桜島溶岩をコーティング。天然由来の機能性表面処理。あ…

リング装置 独自機構により各種機材の全周およびコップ・タンブラーの内面にコーティング 溶岩コーティングだけでなく一般的な金属・セラミックスコーティングも可能な構造になっており、電子部品・基板やハードコーディングえを含む幅広い用途に対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

イットリアコーティング装置（ＡＦ－ＩＰ装置）

耐プラズマ性に優れたイットリア（Ｙ２Ｏ３）膜をＰＶＤ法で形成。 新開…

電子ビームによる各種材料の蒸発とアークフィラメント式イオン化法により安定して反応膜生成膜（窒化膜・酸化膜・炭化膜）を形成。 成膜レートも反応ガス流量のみで制御。シンプルで信頼性の高いハードにより最新の成膜プロセスを提供 充実の成膜プロセス ・耐プラズマ性イットリア膜（１０μｍ） ・耐酸化性硬質膜ＳｉＣ（７μｍ） その他従来型硬質膜　ＴｉＮ、ＴｉＣ，ＣｒＮ その他成膜対...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

HCD型高密度プラズマエッチング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓ…

結合型プラズマエッチング装置にくらべ一桁高い密度のプラズマを実現。高周波アンテナや磁石を使用せず、電極構造のみの工夫によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置（CCP型・ICP型）とのハード上の互換性も高く低コスト・高い信頼、稼働率の実現に寄与。 ウェハレベルの基板だけでなく大型基板のエッチングにも対応可能 基板の大型化にスムースに対応可能な新型高密度プラズマエッチング装置...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

Micro Point Pro（マイクロポイントプロ）株式会社

ウェッジボンディングツールをはじめ、世界で9000台以上の実績を持つ卓…

【その他取扱製品】 ■特殊セラミック＆ハードメタル製品 ■薄膜・被膜処理 ■ウエハ抵抗値測定用プローブヘッド ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： Micro Point Pro ltd株式会社 本社

標準バッチバッチタイプ蒸着装置（ＡＭＦシリーズ）

電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。Ｒ＆Ｄ用の多目的小型研究用から…

豊富な標準仕様から個別要求に細やかに対応。 蒸発源・加熱温度・基板機構（プラネタードーム・公転ドーム）操作・ロギングソフト　全てカスタマイズＯＫ 社内デモ機でプロセステストも対応　幅広く柔軟なハード＆サポート　 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

表面処理用多目的スパッタリング装置 STV6301型

立体形状部品や外周全面や平板基板の両面、立体形状の成膜に特化した表面処…

立体形状品の外周全面に成膜可能な基板機構と複数の目的を想定した成膜機構（カソード）を装備したスパッタリング装置。 冶金用途やハードコーディングで実績豊富で信頼性の高い機構と最新の成膜技術で従来に無い表面処理を実現。 独自機構でコップやタンブラーなどの凹形状の内面にも成膜を可能とし...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店