高耐食性、コンパクト形状ながら高耐久！ソレノイドバルブ『CPv』

PR独自の「ピン構造」によりメンテナンス性大幅向上。開発したダイヤフラム形…

当社の製品は高い信頼性が求められる様々な医療分野で採用され、 今後さらに活躍の場を拡げていきます。　 『CPv 型式：C280-H804A』は生物学的安全性試験にも対応しており、 安心・安全にご使用頂ける、小型2ポートダイアフラム式ソレノイドバルブです。 「ピン構造」の採用で、ピンの抜き指しのみで分解・組立が可能となり、 メンテナンス性が大幅に向上しました。 また、人工透析装置...

メーカー・取り扱い企業： 伸和コントロールズ株式会社

コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、 低流量の測定が可能。 その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

『事例集』半導体製造用バルブのヒューマンエラー対策※無料進呈中

【特に人気のある3事例をまとめて進呈中！】「バルブを変える」ことでトラ…

キッツグループの一員である当社 ＫＩＴＺＳＣＴは 半導体製造工程用のバルブ・配管部材を20年以上製造・販売しております。 今回は半導体製造工程でのヒューマンエラー事例と対策をご紹介。 特に人気のある3事例をまとめて進呈中です。 ◎概要◎ ・バルブを閉止し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『事例』ガス供給ラインバルブの安全対策 ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』バルブ半開によるヒヤリハット事例がある方、狭所で…

バルブを閉止したつもりが実際には半開状態だった、バルブの閉止の確認や作業に手間や時間がかかる、といったお悩みはありませんか？ KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product/?...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『事例』 ヒューマンエラーによるバルブ誤操作対策 ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』錠やタグ付きワイヤーでバルブをロック！バルブ誤操…

お困りではありませんか？丸ハンドルのダイヤフラムバルブの安全対策。バルブ誤操作対策事例をご紹介します。 ・ガス供給機器のバルブのオペレーションミス防止 ・忙しい時期に起こりがちなケアレスミス防止...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

スリットバルブシール

スリットバルブシール

大型化に対応した製品を製造・販売しております。 ●同業界向けの製品群の１つとして、製造装置の成膜工程などの処理チャンバー内にウエハを搬送する入り口（ゲート）に使用できる、チャンバー用スリットバルブシール（ゲートバルブシール）をご提供しております。 【特長】 ★［設計・形状］ 断面形状の最適形状化により、Oリングに比べて、下記の優位性をもっています。 ・溝への装着性に優れる　　 ...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

真空バルブオーバーホール、アクチュエーター修理

真空装置周辺機器,バルブの修理なら　お任せ下さい！ 　　メーカーメンテ…

各種メーカー真空バルブ修理　振り子式バルブ修理・ゲートバルブ修理・バタフライバルブ修理・アングルバルブ修理等...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 近畿支店

『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中

除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温…

大手バルブメーカーKITZグループの一員である当社は、⽇々進化するエレクトロニクス産業おいてタイムリーな提案こそがお客様にとっての価値と考え、新製品開発とサービス向上に取り組み、お客様と共に成⻑を⽬指します...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『事例』　手動ダイヤフラムバルブの安全対策 ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』ワイヤーや錠の取付け不要！ヒューマンエラーによる…

バルブの誤作動対策はしたいが、ワイヤーや錠をつけると操作性が低下してしまう。緊急時は簡単に操作できるが誤作動対策のロック機能が備わったバルブはないか KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/con...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『事例』分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブ ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』半導体材料メーカー様　必見！分解洗浄を可能とした…

材料容器（キャニスター）に使用したバルブをクリーニングするが、内部に汚れが残ってしまう。 バルブが溶接されたキャニスターはバルブとキャニスターの両方を交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 シートとダイヤフラムが交...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『事例集』固体材料供給における高温化の課題への提案※無料進呈中

半導体材料メーカー様　必見！固体材料供給における高温化の課題への提案の…

250℃の供給プロセスでオールメタルバルブを使用しているが、耐久回数に不満がある。 200℃の供給プロセスでシート交換できないバルブを使用しているため、バルブを交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 200℃対応のバ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高温ウエハ用非接触ピンセット

高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様のピンセット

ＣＶＤ装置による半導体ウエハのエピタキシャル成膜後のサセプター上の高温ウエハを、気体を噴出することにより非接触によりウエハを懸垂保持し搬送する「フロートチャック」に手動バルブの付いた取っ手を装着し、ピンセットのようにハンドルを持つ手によるバルブ操作により気体供給のＯＮ−ＯＦＦを行い、高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様の「非接触ピンセット」。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

・排気ガス部材質は、処理対象ガス及び反応温度を考慮した材質を使用。 ・固定生成物が排気ガス中に混在している場合も、バグフィルターで除去が可能です。 ・排気ガス処理ラインにはフルボアタイプのバルブを使用し、装置内での 　閉塞が起こりにくい構造となっています。 ・処理剤破過検知のほかに、装置内圧力・処理剤温度等を 　常時モニタリングし、異常発生時に警報を発報します。（一部オプション）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート） 基板回転・上下昇降（ステッピングモーター自動制御） APC自動制御：アップストリーム（MFC流量調整）又はダウンストリーム（排気側バルブ自動開度調整） 寸法：1,120(W) x 800(D) ●プラズマエッチングはメインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれへも設置可能です。 ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・P...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ハイブリッドフィルター

ガス配管コンポーネント保護用ガスケット付きメタルフィルター

手部に装着することでハイブリットとし、０.３μｍ以上又は１μｍ以上の配管中の大きなパーティクルを粗取りすることで、精密濾過ガスフィルターやマスフローコントローラーの目詰まり防止に加え、メタルシールバルブ等のシール不良による出流れ防止に効果を発揮します。 ■フィルターメディアは、ＳＵＳ３１６Ｌ製です。 ■ガスケットの材質は、ＳＵＳ３１６Ｌ又はニッケルです。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

排気配管内Ｎ２ヒーター（コントローラ内蔵型）

配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止し…

ＣＶＤ装置や、ドライエッチング装置の真空ポンプやそこから除害装置間では常にデポ物堆積や、真空ポンプ故障、バルブ閉塞の問題が発生しています。当製品は、問題の発生原因の一つとなるポンプ直後（或いはポンプ内部）の配管内部に局所的に高温のＮ２ガスを流してやる事でこれらの問題を軽減し従来のポンプライフを向上させ、装...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

Aera Transformer　デジタルマスフローコントローラ

コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC

デジタルマスフローメーター（MFM）は、お客様のプロセス改良に寄与し、優れた柔軟性と効率を実現することによって、歩留まりの改善、生産性の向上、ならびにコストの削減に寄与貢献します。 新センサー・バルブ技術、フィールドで実績のある基幹部品、ならびに高速デジタル回路を搭載して、精密なガスフロー制御を実現します。優れた信頼性と卓越した応答性、正確性、再現性を誇り、汎用性に富んだ、お客様が重点を置く価...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

ラストマー（ゴム）シール ・VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ・10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-7Pa・m3/sec（He）以下の外部リークレート...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

Aera FC-DR980　デジタルマスフローコントローラ

優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MF…

特長 ・使用ガスおよび流量レンジの選択可能　＊ ・アナログ、アナログ/デジタル、デジタルのモード選択 ・ピエゾ制御バルブ ・各種のアラーム/診断機能 ・各種のアラーム/診断機能 ・1x10-10 の気密度を保つ金属シール ・電解研磨、UHP処理済み接ガス面 ＊ マルチガス・マルチレンジ仕様モデルにより対応...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

ALD/MOCVD容器

50CCから60L容量までのALDやMOCVD用途、SUS製カスタマイ…

創業から30年以上の経験と多くの納入実績を持つ米国PFL社製。 50CCから60L容量までのALD/MOCVD用途、SUSカスタマイズ容器を承ります。材質（ステンレスや高ニッケル鋼）、バルブ位置や数、容器の高さ/幅寸法、内表面粗度、安全認証など様々な組み合わせでカスタマイズ可能です。（400以上のバリエーションがあります） 容器の回収から洗浄、容器検査、安全認証の再取得、容器の...

メーカー・取り扱い企業： 黒岩ステンレス工業株式会社

フッ素コーティング施工事例2　各種工業製品

当社施工実績の一部をご紹介。フッ素コーティング施工事例2　各種工業製品

ー、化学工業の薬品貯蔵タンクや配管 ○半導体関連では、各種チャンバー、ウエハーチャック、バキュームプレートなどの製品に、 　フッ素樹脂コーティングは必要とされています。 ○糊受タンク、分岐バルブ、湿布製造部品 ○加圧タンク、純水ライン配管、インクタンク ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YMM コーティング事業部

チャンバー

真空チャンバーを製作いたします

高い溶接技術により、仕切りバルブや架台まで含めた複雑な形状の対応が可能...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

『事例』 装置輸送時のバルブハンドル緩み防止対策 ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』半導体ガス供給装置輸送時のリスクに先手を打つ。安…

出荷時に装置に付属するバルブが閉まっていることを確認していたが、輸送時の振動によりバルブハンドルが緩んでしまった。バルブハンドルに鍵をつけて管理しているものの作業者の鍵開け作業に時間がかかっている、など、装置輸送時における緩...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

スパッタリング装置 多機能スパッタ装置MiniLab-S060A

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート） 基板回転・上下昇降（ステッピングモーター自動制御） APC自動制御：アップストリーム（MFC流量調整）又はダウンストリーム（排気側バルブ自動開度調整） 寸法：1,120(W) x 800(D) ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着などの混在仕様も構成可能です。...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

Aera FC-R7800シリーズ　マスフローコントローラ

高精度・信頼性のメタルシールモデル

満で流量安定 ・耐腐食設計 ・メタルシール採用 ・VCR準拠の接続部 ・10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-11Pa・m3/sec（He）以下の外部リークレート...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社