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3軸円筒座標型クリーンロボット
ロボット仕様 被搬送物 ~300mmウェーハ 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ 2相パルスモータ 動作範囲※ アーム第3関節中心 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 312mm 340度 300mm 搬送速度(平均)※ アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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モールドをワークに転写する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術…
品により機械的に固定可能とすること レプリカモールド 材質 PDMS熱可塑性樹脂 サイズ φ12.5mm 固定方法 押さえ部品により,機械的に固定可能とすること 転写機構部 駆動源 パルスモータ 荷重センサ 圧電素子 (分解能1 N) 荷重 最大 1kN まで設定可能とすること 荷重設定 パラメータ入力 (最大1KN) 加圧分解能 0.1 μm...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ライズワン
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真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。
R3060N-020-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 落とし込みによるラフガイド方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ 動作範囲 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ±119mm 360度 20mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 230mm/s...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…
ェーハ (その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します) ○ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着 ○機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 ○モータタイプ 全軸2相パルスモータ ○動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 552.7mm 340度 300mm ○搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…
ェーハ (その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します) ○ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着 ○機械構造形式 円筒座標型 制御軸 4軸 ○モータタイプ 全軸2相パルスモータ ○動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 575mm 340度 300mm ○搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。
ロボット型式 STWHR4156-200-PM 被搬送物 ~300mmウェーハ ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着で保持 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 4軸 モータタイプ 2相パルスモータ 動作範囲 アーム第3関節中心 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 312mm 340度 200mm 搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 3...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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搬送部の小型化に寄与します。
ト型式 TSCR3060N-135-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 真空吸着保持方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ 動作範囲 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ±119mm 360度 135mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 230mm/...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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