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PRフットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向…
■エッチング、RCA洗浄、現像といった各種WETプロセスに好適 ■超音波を使わない有機剥離/リフトオフ処理に好適 ◎高圧Jetやスプレー処理に対応 ◎リフトオフ時のDry-Etch残差やバリ除去に有効な超音波使用時には、 「Spin Dipプロセッサー」をリコメンド。 ■1-チャンバーで薬液⇒リンス⇒乾燥のフルプロセスを、Dry-In/Dry-Outで対応 ◎従来方式:2-チャ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング
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PRカプセル化技術により、充填剤をマイクロカプセル化した高性能フッ素樹脂テ…
充填剤をマイクロカプセル化して、塗料と一体化することで、様々な高機能化、高効率化を実現。一般的なドライブレンドとの比較して、塗膜のどこの箇所でも充填剤の比率が一定です。 <特長> • 塗膜中での充填剤の均一分散により、塗膜の性能が安定 • 高い隠蔽性により、外観不良低減 • 薄膜でも、高い表面平滑性 • 製造工程での熱処理により、不純物やオリゴマーが除去されることによる高い純粋性 ...
メーカー・取り扱い企業: ケマーズ株式会社
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モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
応用範囲が広がり、様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。 MiniLabシリーズは、研究開発から小規模生産用途まで幅広く対応するハイコストパフォーマンスシステムです。 【スモールフットプリント・省スペース】 ・シングルラックタイプ(MiniLab-026):590(W) x 590(D)mm ・デュアルラックタイプ(MiniLab-060):1200(W) x 590(D)...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
MiniLab-026は、シリーズ最小の26L容積チャンバを使用した小型薄膜実験装置です。 【スモールフットプリント・省スペース】 ・シングルラックタイプ(MiniLab-026):590(W) x 590(D)mm 【優れた操作性・直観的操作画面】 Windows PC、または7”タッチパネ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…
・2inchスパッタリングカソード x 4(又は3inch x 3, 4inch x 2) ・プラズマエッチング:メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能 【スモールフットプリント・省スペース】 ・デュアルラックタイプ(MiniLab-060):1200(W) x 590(D)mm 【優れた操作性・直観的操作画面】 Windows PC、または7”タッチパ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。
膜厚/レートモニタ Model 855 制御機能はないがレートの監視、膜厚監視用途には経済的 ○クライオトラップ TVPシリーズ →クールダウンが早くサイクルタイムを短縮できる →小さいフットプリント、速いデフロストが可能 ○イオンソースシステム →SaintechシリーズIII イオンソース 軽量コンパクトで装置への取り付け自由が大きい 高効率の水冷構造により動作温度が非...
メーカー・取り扱い企業: VISTA株式会社
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リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…
バッチ内、バッチ間) T/S=900mm ○排気系 クライオポンプ、ドライポンプ、メカニカルブースターポンプ ○真空槽 W800mm × D800mm × H1300mm、SUS304製 ○フットプリント W3700mm × D4300mm × H2400mm 【所要諸元】 ○所要電力 本体 φ3 200V 約40KVA (115A) 蒸発源 φ3 200V 約...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
応用範囲が広がり、様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。 MiniLabシリーズは、研究開発から小規模生産用途まで幅広く対応するハイコストパフォーマンスシステムです。 【スモールフットプリント・省スペース】 ・シングルラックタイプ(MiniLab-026):590(W) x 590(D)mm ・デュアルラックタイプ(MiniLab-060):1200(W) x 590(D)...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
MiniLab-026は、シリーズ最小の26L容積チャンバを使用した小型薄膜実験装置です。 【スモールフットプリント・省スペース】 ・シングルラックタイプ(MiniLab-026):590(W) x 590(D)mm 【優れた操作性・直観的操作画面】 Windows PC、または7”タッチパネ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□
小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
MiniLab-026は、シリーズ最小の26L容積チャンバを使用した小型薄膜実験装置です。 【スモールフットプリント・省スペース】 ・シングルラックタイプ(MiniLab-026):590(W) x 590(D)mm 【優れた操作性・直観的操作画面】 Windows PC、または7”タッチパネ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□
蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…
源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchマグネトロンスパッタリングカソード x 4 ・プラズマエッチング:メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能 【スモールフットプリント・省スペース】 ・デュアルラックタイプ(MiniLab-060):1200(W) x 590(D)mm 【優れた操作性・直観的操作画面】 Windows PC、または7”タッチパ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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