『積載荷重600kg・1000kg対応』小型ターンテーブル

PR今までの3ton仕様 (ISB-S型)より軽荷重かつ安価な製品としてラ…

お客様よりお問い合わせが多かった製品を標準品としてラインナップ致しました。回転式作業台やコンベヤの方向転換、ディスプレイや撮影用として使用されています。 ■回転速度：Φ600　1～6r.p.m（速度調整可能） 　　　　　 Φ1000　1～7r.p.m（速度調整可能） ■アンカーで固定したり、簡易的であればそのまま置いて使用できます。 ■フットスイッチなどのオプション品などもあり...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社井口機工製作所 本社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

マルトー 試料乾燥機　両手が使えるフットスイッチ、温度調節機能付

室温～60度まで送風温度が調整可能な試料乾燥機。電源ON/OFFはフッ…

電源のON、OFFはフット式なので、両手はいつでも自由に使えます。上下方向左右方向自在式で、試料の大きさに合わせてセットできます。 ■フットスイッチ式 　 電源のON、OFFはフット式なので、両手はいつでも自由に使える ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能で...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

K&Sのバンプボンダ『ATPremier PLUS』

12インチウェハも対応！ダイシングテープ上でのバンプボンディングを可能…

2インチウェハ対応のバンプボンダです。 優れた低温ボンディング性能。ダイシングテープに張り付けられたウェハそのままで 加熱することなくバンプボンディングが可能です。 独自設計の市場最小クラスのフットプリントで12インチをサポート。 更なるオプションで銅ワイヤ、銀ワイヤにも対応。アプリケーションの可能性を拡げます。 【特長】 ■ 最大12インチ径のウェハ、セラミックス、基板などへのボンディ...

メーカー・取り扱い企業： キューリック・アンド・ソファ・ジャパン株式会社

縦型減圧CVD装置

10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール可能！カスタマイズ可能

縦型、枚葉、ウェハーサイズ、ガス種、フットプリントなど多くの使用に対応。汎用性を重視したハイグレード縦型減圧CVD装置です。標準仕様を基にカスタマイズを施し、より安価に製造することも可能です。 【特長】 ■スモールフットプリントな...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ハイテクノサービス

フィルム貼付装置｜セミオートマウンター FM-664シリーズ

プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置

け圧力、スピード、温度など諸条件設定可 ・ノーマルテープの貼付けピッチ可変 ・テンションフリー貼付け ・バブルフリー貼付け ・表面非接触貼付け対応可 ・静電気対策装置 ・小型、軽量、小フットプリント ■メリット ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮すること...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

トの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・コンパクトサイズ化による省フットプリント実現 ・背面メンテナンスフリー構造 ・従来製品からの機能は踏襲 ・1チャンバー専用装置 ※量産用『TWPシリーズ』もございます。 　https://www.ipros.jp/...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」

ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、…

洗浄装置です。 ■特長： ・精密洗浄：ワークに上下、左右回転動作機能を持たせ隅々まで精密洗浄 ・強力洗浄：ウェハー収納ミゾ部全面に対し直角スプレーを実施 ・省スペース：縦型設計で、小フットプリントを実現...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

フラックスレス蟻酸リフロー装置

200mm/300mmウェーハ、ガラス、250mmのサブストレートPK…

【フラックスレス蟻酸リフロー】 ■処理時間：60~100枚/時 ■プロセス温度：100~260℃ (最大450℃) ■温度分布：±3℃以下 (9-point 測定) ■省スペースフットプリント: 4.95m2 / L x W x H =1.8 x 2.75 x 2.55 m 4層シングルウエハーチャンバー設計により、高精度なプロセス制御を実現 ...

メーカー・取り扱い企業： Yield Engineering Systems, Inc.

ウェハソーター

正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し…

ーダーキャリアへ戻す、自動ソーティング装置です。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ 【特長】 ■低価格を実現 ■2～8インチまで対応可能 ■フットプリントの低減（省スペース化） ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

ア） ○自公転数　6 軸：自転11～33rpm/公転1～3rpm 　　　　　　8 軸：自転13～37rpm/公転1～3rpm ○真空槽　Φ1600mm×H2300mm（SS400 製） ○フットプリント　W4700mm×D7000mm×H3100mm 【所要諸元】 ○所要電力 本機：Φ3　200V 約12KVA、抵抗蒸発源：Φ1　200V 40KVA ○所要水量 0.2MPa ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

脱気システム Livalley

気泡の原因を元から除去！既存プロセスに後付けするだけで溶存酸素を10p…

ロセスを改善できるシステムです。 ■特徴２：既存プロセスに後付けするだけ お客様の配管を切ってつなぐだけ！1pass使用が可能な超高効率脱気性能！ 従来脱気装置と比べ、大幅な低価格化・小フットプリント化を実現しました！ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東設 本社ヘッドオフィス

両面同時露光マスクアライナー『BS425』『BS620』

ウェハ表裏同時露光！セミオート動作で中ロット生産に対応

台」が必要です。 お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■最大φ4インチウェハ対応『BS425』 ■最大φ6インチウェハ対応『BS620』 ■コンパクト設計 ■1次露光時はフットスイッチによりセミオート運転が可能 ■手置き式のため規格外形状試料への対応が容易 ■ウェハ位置決めガイド搭載（オプション）　他 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

クリーンルームに適した耐震金具カタログ

アンカーレス耐震工法なので、床への穴あけ作業が無く粉塵や振動が発生しま…

置の適しています・対物側面に装着 ■ELシリーズ ・棚の下段もしくはキャスター部に装着 ■PSシリーズ ・ジャッキ機能で機器底面と床を圧着 ■SPシリーズ 既存のアジャストフットを交換するだけでOK ■ベルトストッパーシェルフ用 ・シェルフの対策に効果的・耐震荷重200kg ■キャビネット耐震金具 ・キャビネットや小型～中型スチール棚に・耐荷重125kg ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社旭電通

実験・研究用露光装置

コンパクトな設計のマニュアル式オートアライメント露光装置(マスクアライ…

【主な特長】 ・多品種・小ロット生産や実験・研究に最適なマニュアル一括露光装置 ・高精度オートアライメントおよび裏面アライメント機能を搭載。 ・割れ基板へのオートアライメントが可能。 ・フットプリントを縮小化することで省スペースを実現。 ・UV-LED光源搭載可能 ・レシピ管理機能 ・バーコードリーダーを用いたオペレータ補助とLOG保存。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大日本科研

フィルム洗浄装置（ロールtoロール）

機能性フィルム・有機ＥＬ用洗浄装置

低速搬送によるディップ処理で処理部をコンパクトにすることが可能。 純水使用量やフットプリントを大幅に低減できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

SSY-10010　EFEM

EFEM

m/sec 540度/sec 500mm/sec 繰り返し精度 ±0.1mm以内 <システム> ワーク保持方式 吸着による保持 クリーン度 ISO Class2(ISO14644) フットプリント 640mm×835mm(タッチパネルを除く) 重量 約350kg ユーティリティ 電源：単相 AC200V 15A 真空：-53kPa以上(吸着チャック取付の場合)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

全自動FOUP洗浄システム『UPC-12500 SORA』

高品質・高スループット・省エネ！SEMI規格はもちろん、ULやCE規格…

準拠。 自動搬送システム（AMHS）対応、通信プロトコルはGEM300に 対応しており、オンライン管理にも相応しい装置です。 【特長】 ■スループットの向上 ■省エネ対策 ■省フットプリント設計 ■GEM300対応 ■メンテナンス性の向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ヒューグルエレクトロニクス株式会社

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL2041（エッジグリップ仕様）

ウェーハ用アライナ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応 小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現 小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

0000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ 【ASAPのコーター・デベロッパー機能】 ●スピンコーティング ●HMDS処理 ●...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-408」

小型・軽量・小フットプリント装置

ワークを回転させながら照射させるため、 ウェーハー全領域に均一な照射を行なう事ができるUVフィルム硬化装置...■主な特長 ・独自の高効率、小流量N2パージ機能が搭載 ・N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる ・低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に 大きく貢献するばかりでなく、装置コストの削減、高価なクリーンルームの設...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

《新型》UDSスピン枚葉装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向…

■エッチング、RCA洗浄、現像といった各種WETプロセスに好適 ■1-チャンバーで「薬液⇒リンス⇒乾燥」のフルプロセスを、Dry-In/Dry-Outで対応 　◎従来方式：2-チャンバー構成（チャンバー間移送時に基板は薬液付着状態） 　◎新方式：UDS式では1-チャンバー構成。 ■基板の基本動作 　◎「上段部…基板のLD」⇒「下段部…ケミカル処理」⇒ 　　　　　　　　　　　　⇒「中段部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

キャリア厚さ測定機（CME-05型：手動タイプ）

シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、また…

作業者が測定位置を決めフットスイッチにより厚さ測定が可能です。 測定値はカウンタに表示されます。 オプションでパソコンに記録することも可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

TSCR3060N（2インチウェーハ搬送）

搬送部の小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気ロボット：フットプリント75%（□115x130mm）, 容積比80%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL1021（2インチウェーハ搬送）

搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気アライナ：フットプリント80%（□85x100mm）, 容積比80%ダウン 組み合わせにより、多彩な搬送シーンに貢献 透明体、半透明体にもそれぞれ対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル