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PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール!4-8…
『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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PRフットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向…
■エッチング、RCA洗浄、現像といった各種WETプロセスに好適 ■超音波を使わない有機剥離/リフトオフ処理に好適 ◎高圧Jetやスプレー処理に対応 ◎リフトオフ時のDry-Etch残差やバリ除去に有効な超音波使用時には、 「Spin Dipプロセッサー」をリコメンド。 ■1-チャンバーで薬液⇒リンス⇒乾燥のフルプロセスを、Dry-In/Dry-Outで対応 ◎従来方式:2-チャ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ソフエンジニアリング
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しぼった油を再利用!しぼりカスはらくらく廃棄が可能
【形式】 ■KO-TUP-12-1型 ・重量:約110kg ・仕様:スイッチBOX(蓋に取付)、フットブレーキ、タイマー ■KO-TUP-12-2型 ・重量:約140kg ・仕様:制御盤付タイプ (1型の機能に蓋開閉用電磁ロック及びブレーキモーター機能追加) ■共通 ・動力:200V...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社コマツ製作所
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