【グリスポンプ、グリス定量塗布の電動化】～電動式エンドシステム～

PR電動化にする事によりエアーでのシステムの電力の大幅なコストダウンを実現…

当社、カトー技研興業株式会社では、定量ポンプ・フロースイッチの開発設計から工事竣工、 そしてアフターサービスまでオールインワンサポート対応を承っております。 当社の自動塗布システムをご紹介いたします。 【電動式エンドシステム】 配管の末端圧力で給油完了を確認し、圧力調整弁の信号で電磁弁を切替え、 ポンプを停止させるシステムです。 【定量電動ポンプシステム】 マルチポンプへ...

メーカー・取り扱い企業： カトー技研興業株式会社

潤滑油入りPTFE有機繊維パッキン『S-5400』

PR機械的強度と耐薬品性を兼ね備えたパッキン。非常に高い耐熱サイクルも発揮

『S-5400』は非常に高い耐薬品性を持つ有機繊維をPTFEディスパージョンで 処理し、断面角形に編組後、潤滑油で更に処理を行った、 機械的強度・耐薬品性を兼ね備えたスペシャルパッキンです。 回転ポンプ、撹拌機、ミキサーなどの 回転機器での使用に適しています。 【特長】 ■優れた耐薬品性を持つ白色系パッキン ■高い機械的強度を持つ繊維を基材に使用し、優れた耐摩耗性を実現 ■...

メーカー・取り扱い企業： ソーワ工業株式会社

コンタミ・メンテ・振動を最小化　ベアリングレス磁気浮上遠心ポンプ

【国内正規代理店】LEVITRONIXベアリングレスポンプ 先端プロ…

つの“Minimal（最小化）”を実現！ “Minimal” コンタミネーション 接液部に発塵元となるベアリング・軸受・開閉バルブなどの部品を持たない非接触型構造となっています。そのため、ポンプ起因のコンタミネーションの心配がありません。 また、インペラとケース材料には、耐薬液性の高純度フッ素樹脂を使用しており汚染の心配もありません。構造的に、コンタミネーションリスクが最小限に抑えられ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

容積計量チューブポンプ式ディスペンサー『TME』

チューブポンプのイメージを一新するチューブポンプディスペンサー。 微少…

『TME』はいままで微量吐出には不向き、チューブ交換時の吐出量調整が難しいといったチューブポンプのイメージを一新します。 独自のカム動作を高精度小型DDモーターで低速回転から高速回転で制御します。 １ショットの吐出量はマイクロメータによりチューブ内容積を変更することで調整できます。 独自のチ...

メーカー・取り扱い企業： ESER Corporation-Japan(イーサージャパン） さいたまラボ

VP型ドライルーツ式　真空ポンプ　VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で 　運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能 　その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社四葉機械製作所

真空排気装置（真空ポンプユニット）

実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…

業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。 長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

テフロン製ベローズポンプ

使用温度、薬液、流用に応じ様々なアプリケーションに適したポンプを提供致…

White Knight 社製テフロン製薬液供給ポンプは、「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持ち、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。 ...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

耐久性と省エネを実現し、ランニングコストを低減 あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により 　ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良によ...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

８９００型シリーズ　脱気装置

装置のロングライフ運転に成功しました。脱気装置の高耐久性は、送液ポンプ…

大きな真空変動もなく、安定した溶存酸素を取り除いた溶媒を、送液ポンプに供給する高性能な脱気装置を開発しました。 パルスモータと独自の制御ソフトの組合せ、そして装置作動中は常時大気導入機構の自己クリーニング方式で真空ポンプの長寿命が実現できました。 脱気モジュールの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＡＱＵＡＴＨ

樹脂(PEEK、PTFE)製 無脈動定量ポンプ及び安全弁

無脈動定量ポンプと安全弁がメタルフリーに！ 金属と反応したり腐食させ…

FEといった非常に高強度な樹脂材）で構成する事で、金属イオンを嫌う液体や、強酸・強アルカリ等腐食性の高い液体の移送システムに組み入れ可能となりました。高強度な為、金属製と比べても遜色ない性能（定量ポンプ　■流量偏差／±0.1% ※清水・5R.P.M.以上・1MPa時　■耐圧／8MPa ※PEEK仕様）を実現しています。...

メーカー・取り扱い企業： 富士テクノ工業株式会社

精密ディスペンサー装置 GP2【基板実装/LED後工程】

高精度維持しながらの安価ディスペンサー決定版！ 高速ディスペンスによ…

・基板実装工程 & LED後工程 　　→高精度/高速処理を実現！ 　　　（X-Y繰返し精度：±30μm） 　　→高速ディスペンス化による設備投資台数の削減 　　　（ジェットポンプ or スクリューポンプ搭載） 　　→常温吐出による塗布量安定性UP! 　　→歩留まりの大幅削減、生産効率大幅UP 【アプリケーション】 ◆LED蛍光体 全般（SMD/サイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社進和 メカトロシステムセンター

コガネイ　高粘度定量吐出ポンプ

コガネイ　高粘度定量吐出ポンプ

均一な薄膜塗布が要求される液晶、ＰＤＰ、有機ＥＬ等の基板用スリットコーターに対応する電動ポンプ。高粘度吐出、高信頼のＣＴポンプ構造をさらに進化させて定流量性制御も可能になりました。高粘度については１０，０００cp以上実績があります。最大吐出量：３０ml、６０ml、１００ml、２００ml、３...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コガネイ

多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー *ラージチャンバーオプションMiniLab-070（450 x 450 x 450）有り ・最大基板サイズ：Φ8inch ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプ可） ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着：最大4源点（Model. TE1～TE4蒸着源） ・有機蒸着：最大4源（Model...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

【主仕様】 ・SUS304 60ℓ容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー *ラージチャンバーオプションMiniLab-070（450 x 450 x 450） ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可） ・最大基板サイズ：Φ8inch ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着：最大4源（Model. TE1～TE4蒸着源） ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

平面研削機 オートロンミニ1型　自動立軸平面研削　学術・研究向け

小型の自動立軸平面研削機として開発、材料特性に合わせて主軸回転数、切込…

■主電動機 　　三相200V 0.75kW ■テーブル左右送り 　　単相200V　6W ■砥石軸上下送り 　　高分解能ステッピングモータ ■クーラントポンプ 　　三相200V　40W ■砥石軸回転数 　　300～3、000rpm ■砥石寸法 　　ダイヤモンドカップホイールMAXφ100mm ■テーブル送り速度 　　7.4~140mm/min ■テーブ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

ディスペンス電動ポンプ

薬液使用量削減の最適ツール

低粘度・高粘度材料削減を目的とした高い再現性とシステム拡張性を備えたポンプシステムです。弊社は同製品の日本総販売代理店になっており、本ポンプの販売に伴い装置全体の技術サービスも提供しております。...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-090』（グローブボックス用）

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…

【主仕様】 ・最大基板サイズ：Φ10inch ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可） ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着：最大4源（Model. TE1～TE4蒸着源） ・有機蒸着：最大4源（Model...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

アニール炉『ANNEALウエハーアニール装置』

Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…

マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により３種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター：Max5...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-2000

寿命がある軸受や摩耗するシールを使わない、革新的な磁気浮上式遠心ポンプ…

BPS-2000ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動され...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

モータ・コントローラ一体型BPS-i100ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動され...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

BPS-4Hポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動され...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

油圧ポンプの研磨 加工事例

擦り合わせ作業の機械化を実現！油圧ポンプの研磨加工

長年培ったラッピング技術の経験と知識を活かし、特に斜板形 アキシャルピストンポンプの心臓部であるシリンダーブロックと バルブプレートの合わせ面を研磨するために擦り合わせ作業を 機械化した研磨装置ED-380ISR「テトラ」を開発いたしました。 その中でも、高いコンタク...

メーカー・取り扱い企業： 日本エンギス株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

nchシングル式ラックに全てを収納 ◉ 抵抗加熱蒸着源（最大4源）、有機蒸着源（最大4源）、又はΦ2"マグネトロン（最大3基）、基板加熱ステージなどを搭載 ◉ 高精度膜厚制御 ◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ（ドライポンプオプション） ◉ グローブボックス連結仕様（*要仕様協議） ◉ 豊富なオプション：基板加熱/冷却, 回転, 特型基板ホルダ, etc.. ＊その他のMin...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

半導体用真空ターボポンプの世界市場シェア2023

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル真空ターボポンプのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を10月23日に発行しました。本レポートでは、真空ターボポンプ市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

真空ポンプ/メンテナンス部品

真空ポンプ用メンテナンス部品

各種海外製真空ポンプ用メンテナンスキット、構成部品など...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミヤビインターナショナル

ポンプ・メンテナンスの改造、移設等、休日対応も承ります。

真空蒸着装置とこれらに関連する機器メンテナンスサービスを行っております…

真空蒸着機は一般的な稼働状態で１～２年に１度のメンテナンスが必要です。弊社では、これまでに新旧様々なタイプの真空蒸着機や真空ポンプなどのメンテナンス、修理、移設、カスタマイズ等を行ってまいりました。特にメンテナンス作業では装置の細かい部分まで分解しクリーニングすることを心がけております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジメカニック

排気配管内Ｎ２ヒーター（コントローラ内蔵型）

配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止し…

半導体・液晶製造装置の排気ラインは大量のパウダーにより常に汚染や閉塞の危険が伴います。当製品は既設の希釈用Ｎ２ガスを利用してこれらの諸問題を簡単且つ低コストで防止、解消します。また、クライオポンプのオーバーホールサイクルの向上、延命の他、ロードロック室のパージにも優れた効果を発揮します。...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

シリンジポンプ式二液混合吐出装置

二液型接着剤の安定した吐出を実現！

【製品特徴】 　〇　シリンジポンプによる安定した接着剤の供給が可能 　〇　シンプルな構造によりメンテナンスが容易 　〇　切り替えバルブにより樹脂の逆流を防止 　〇　多彩なオプションによるシステムの拡張が可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファスト

純水昇圧装置

工場内純水供給圧を増強させ、圧力不足を解消！さらに、純水供給圧力変動を…

純水供給安定化を検討の際、ぜひお問い合わせ下さい。 ・Levitronix社ベアリングレスポンプ（磁気浮上型遠心ポンプ） ・脈動が少なく、安定的な供給性能を備えます。 ・非接触式のインペラにより低発塵を実現。 ・メンテナンスフリー且つ高い耐久性を誇ります。 ・お客様のご要望に合わせて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

oventrop「不凍液注入器」

ソーラーシステムや暖房システムの充填作業に最適！強力なポンプの注入器

oventrop「不凍液注入器」は、1kwの強力なポンプ出力をもつ不凍液注入器です。 ソーラーサーマルと暖房の専門家の方にとって、注入とフラッシングは日常の作業です。 ”Regusol”注入とフラッシングステーションは専門的な性能を発揮するための理...

メーカー・取り扱い企業： 東西商事株式会社

簡易実験用スパッタリング装置（ＳＲＶ３１００型）

小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置　全手動操作で低コスト…

成膜系：φ３インチカソード　１元装備 　　　：高周波電源　　　　　１源装備　 　　　：基板加熱機構標準装備 　　　：排気系　拡散ポンプ＆油回転ポンプ 操作系：全手動 オプション機構 磁性材用カソード　コンベンショナルカソード　ＤＣバイアス 逆スパッタ機構　バイアススパッタ機構　基板高温加熱 主ポンプ変更（ターボ分子ポン...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

カーボンコーター　SC-701CT

個人差のないカーボン蒸着が可能に！ EPMA・分析SEMの前処理用とし…

い蒸着を実現し、試料に対する熱ダメージを低減します。 【特長】 〇フラッシュ式蒸着法を採用　→　個人差のないカーボン蒸着を実現 〇蒸着作業時毎にカーボン棒を削る手間を省く 〇ロータリーポンプのみによる排気(低真空)のため、試料表面へのカーボン粒子の回り込みに優れる 〇オプションのマグネトロンスパッタユニット(SC-MC)を取り付けることにより、金属のスパッタコーターとして使用するこ...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】

真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…

薄膜を作成することができます。 ガス系統最大3系統（プロセス圧力APC自動制御）、連続自動製膜（最大20層）、2源同時成膜など豊富な機能を備え、更に基板加熱ヒーター（500℃）、ドライスクロールポンプなど豊富なオプションも用意。 真空引き・成膜制御・ベント、レシピ作成、更に故障解析、ログ等全て前面の7"タッチパネルで操作、操作の一元管理が可能です。 IntelliLinkソフトウエア付属：...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

フッ素系溶媒対応チラー　ペルチェ式チラー・冷凍機式チラー

昨今入手困難で貴重なフッ素系溶媒の使用量を抑えることができるチラーです

Rack 1201 / 1801＞ 設定温度 : -10～80℃ / -15℃~70℃ 冷却能力 @20℃：1320W / (H)1600W (M) 1800W 1 (L) 2000W ポンプ：14Lpm@0.21MPa 外寸法(WxDxH)mm：483 x 610 x 221 ＜Thermo Cube＞ 設定温度 :５～50℃ (-5℃～65℃オプション） 冷却能力 @2...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

厚膜塗布に高粘度専用スピンコーター！自動ポリイミド塗布装置

～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…

【特徴】 ・高価な薬液の吐出量を高精度ポンプにて制御 ・均一良く塗るためのカップ構造（密閉式、回転カップ式） ・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ ・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能（オプション） ・高粘度材料...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに…

パッタカソード + 有機蒸着源x2 3. スパッタカソード + 抵抗加熱源x1 + 有機蒸着源x1（*DCスパッタのみ） ・蒸着範囲：Φ4inch/Φ100mm ・真空排気系：ターボ分子ポンプ + 補助ポンプ（ロータリー、又はドライスクロールポンプ） ・基板回転、上下昇降ステージ ・Max500℃基板加熱ヒーター ・水晶振動子膜厚センサー ・7”タッチパネルHMI操作（’Int...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、…

ー温度異常・過圧異常を監視SUS製 堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース 幅603 x 奥行603 x 高さ1,160mm（*ロータリーポンプ筐体内設置） 実験室での小片試料の超高温加熱実験、新素材研究開発などのさまざまな試料加熱実験が、簡単な操作で行えます。 本体は小型でありながらよりさまざまな分野の研究開発にお使いいただけま...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

■到達圧力 プロセスモジュール: < 3×10-5Pa トランスファー室: < 3×10-4Pa ロードロック室: < 3×10-4Pa ■真空排気系 プロセスモジュール: ターボ分子ポンプ 1300L/sec ドライポンプ: 600L/min トランスファー室: TMP 820L/sec ドライポンプ: 500L/min ロードロック室: TMP 350L/sec ドライ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

高真空蒸着装置『RD-1230』

サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能！排気操作は全自動…

1230』は、ぺロブスカイト太陽電池電極作成用 小型蒸着装置です。 抵抗加熱機構を2対装備しており、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、 電流値の調整が可能です。 排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動。 水晶振動式膜厚計もオプションで付けることができ、卓上型タイプとしては 高性能な成膜制御が可能です。 【特長】 ■ロブスカイト太陽電池電極作成用小型...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンバック 本社

コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」

ターゲットは3種類同時に装着可能！多層膜を作製することが可能です。

料選択：ステージ回転式 ○ターゲット／試料間(TS)距離：20mm、30mm、40mm ○ターゲット選択：シャッター方式 ○給電方式：単独給電切替式（電源パネル操作） ○排気系：ターボ分子ポンプ(TMP) 67L/s(N2)、油回転ポンプ(RP) 20L/min ○到達真空度：1×10⁻³Pa以下 ○真空度測定：コンビネーション型真空計（電離真空計+ピラニー真空計） ●詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全て…

・抵抗加熱蒸着源（最大4源） ・有機蒸着源（最大4源） ・Φ2"マグネトロンカソード（最大3基） ・プラズマエッチング ・基板加熱ステージなどを搭載 ◉ 高精度膜厚制御 ◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ（ドライスクロールポンプオプション） ◉ その他豊富なオプション ＊その他の詳細仕様は当社へお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール

液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール

◎ 液晶ガラスの手動搬送に最適です。 ◎ 外部配線、配管なしで作業性がよいです。 ◎ 真空源（真空ポンプ、エジェクタ）が不要です。 液晶メーカ様からの御要望でこの吸着ツールを開発しました。人による液晶製造装置への液晶ガラスの搬送に多数採用されています。この吸着ツールは、真空源（真空ポンプ、エジ...

メーカー・取り扱い企業： 大谷技研株式会社

省エネ、フロンガス対策チラー　※置き換え事例ハンドブック進呈

省エネ効果でカーボンニュートラル、カーボンプライシング対策に！ 温室…

Rack 1201 / 1801＞ 設定温度 : -10～80℃ / -15℃~70℃ 冷却能力 @20℃：1320W / (H)1600W (M) 1800W 1 (L) 2000W ポンプ：14Lpm@0.21MPa ＜Thermo Cube＞ 設定温度 :５～50℃ (-5℃～65℃オプション） 冷却能力 @20℃ ：200W～600W@20℃(6モデル） ポンプ：1...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

定量ポンプ防爆型（ふっ素樹脂PTFE製）

定量ポンプ防爆型（ふっ素樹脂PTFE製）

耐薬品性、定量性に優れた、エアー駆動によるふっ素樹脂PTFEベローズポンプです。 ■液体に最適 ■自吸式 ■定量性０．５％ ■運転音がきわめて低い ■防爆型、引火性流体に最適 ■独特なふっ素樹脂PTFE被覆整形のマグネット弁使用でスプリングを使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハルナ

大型真空オーブン

　高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱　乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…

６００ｍｍ□×６００ｍｍＨ／バッチの大量バッチ処理 炉内全面ヒーターの均一加熱 ドライポンプ＋ターボ分子ポンプの完全ドライ排気系 高真空・低真空・大気圧の各圧力下での加熱処理対応 基板と目的に合わせて排気系・ガス系・処理温度・炉内構造・治具選択可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

研究開発用スパッタリング装置

コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装…

標準仕様 ４インチカソード３元装備による多層成膜 ターボ分子ポンプ＋油回転ポンプの高速排気 逆スパッタと基板加熱機構の標準装備による高い膜質の実現 １ｍ□のコンパクトな筐体に多機能を実現 上位機種の各部ユニットを搭載可能...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店