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33件 - メーカー・取り扱い企業
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PR脱炭素関連、新エネルギー関連の研究開発用プロセスポンプ! CO2、水素…
脱炭素社会、新エネルギー開発において、従来のガスポンプでは対処しきれない多くの技術的課題があります。 KNFプロセスポンプは下記の特長を活かして技術的な課題解決に貢献します。 燃料電池及び評価システムをはじめ、脱炭素関連や新エネルギー関連の研究開発企業や研究機関でご利用いただけます。 【主な特長】 ◆コンタミフリー ◆豊富な接ガス材質 ◆加圧特化仕様 許容最大吐出圧 1.2 MPa...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ケーエヌエフ・ジャパン KNF JAPAN
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PR『西垣ポンプは特殊仕様品が短納期!』その秘密に迫ります!
西垣ポンプへは、特殊仕様品のご相談が非常に多いです。 その理由の一つに『特殊仕様品の短納期対応ができること』が挙げられます。 なぜ西垣は短納期対応ができるのか? 他のメーカーとは、一体何が違うのか? 詳しくは資料をご覧ください! 資料をご覧になり、ご興味を持たれた方は、ぜひ西垣ポンプの営業にお問い合せ下さい。 その他、ポンプのお困りごとも気軽にお問い合わせください! WEB会議も対応しており...
メーカー・取り扱い企業: 西垣ポンプ製造株式会社 本社
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コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…
容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー *ラージチャンバーオプションMiniLab-070(450 x 450 x 450)有り ・最大基板サイズ:Φ8inch ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプ可) ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着:最大4源点(Model. TE1~TE4蒸着源) ・有機蒸着:最大4源(Model...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…
【主仕様】 ・SUS304 60ℓ容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー *ラージチャンバーオプションMiniLab-070(450 x 450 x 450) ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプも可) ・最大基板サイズ:Φ8inch ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着:最大4源(Model. TE1~TE4蒸着源) ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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真空蒸着装置『MiniLab-090』(グローブボックス用)
グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…
【主仕様】 ・最大基板サイズ:Φ10inch ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプも可) ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着:最大4源(Model. TE1~TE4蒸着源) ・有機蒸着:最大4源(Model...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
nchシングル式ラックに全てを収納 ◉ 抵抗加熱蒸着源(最大4源)、有機蒸着源(最大4源)、又はΦ2"マグネトロン(最大3基)、基板加熱ステージなどを搭載 ◉ 高精度膜厚制御 ◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ(ドライポンプオプション) ◉ グローブボックス連結仕様(*要仕様協議) ◉ 豊富なオプション:基板加熱/冷却, 回転, 特型基板ホルダ, etc.. *その他のMin...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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真空蒸着装置とこれらに関連する機器メンテナンスサービスを行っております…
真空蒸着機は一般的な稼働状態で1~2年に1度のメンテナンスが必要です。弊社では、これまでに新旧様々なタイプの真空蒸着機や真空ポンプなどのメンテナンス、修理、移設、カスタマイズ等を行ってまいりました。特にメンテナンス作業では装置の細かい部分まで分解しクリーニングすることを心がけております。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フジメカニック
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小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置 全手動操作で低コスト…
成膜系:φ3インチカソード 1元装備 :高周波電源 1源装備 :基板加熱機構標準装備 :排気系 拡散ポンプ&油回転ポンプ 操作系:全手動 オプション機構 磁性材用カソード コンベンショナルカソード DCバイアス 逆スパッタ機構 バイアススパッタ機構 基板高温加熱 主ポンプ変更(ターボ分子ポン...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】
真空蒸着(金属・有機蒸着源)、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…
薄膜を作成することができます。 ガス系統最大3系統(プロセス圧力APC自動制御)、連続自動製膜(最大20層)、2源同時成膜など豊富な機能を備え、更に基板加熱ヒーター(500℃)、ドライスクロールポンプなど豊富なオプションも用意。 真空引き・成膜制御・ベント、レシピ作成、更に故障解析、ログ等全て前面の7"タッチパネルで操作、操作の一元管理が可能です。 IntelliLinkソフトウエア付属:...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】
スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに…
パッタカソード + 有機蒸着源x2 3. スパッタカソード + 抵抗加熱源x1 + 有機蒸着源x1(*DCスパッタのみ) ・蒸着範囲:Φ4inch/Φ100mm ・真空排気系:ターボ分子ポンプ + 補助ポンプ(ロータリー、又はドライスクロールポンプ) ・基板回転、上下昇降ステージ ・Max500℃基板加熱ヒーター ・水晶振動子膜厚センサー ・7”タッチパネルHMI操作(’Int...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装…
標準仕様 4インチカソード3元装備による多層成膜 ターボ分子ポンプ+油回転ポンプの高速排気 逆スパッタと基板加熱機構の標準装備による高い膜質の実現 1m□のコンパクトな筐体に多機能を実現 上位機種の各部ユニットを搭載可能...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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各種研究開発、材料開発等に幅広く対応できる成膜装置。多様性・拡張性を持…
対応基板サイズ: Max.φ4インチ×1枚 ・膜厚分布: ±5%以内(Al成膜時、基板回転併用) ・基板加熱機構: ●ランプヒータ 常用400°C ※オプション ・排気系: 1) ターボポンプ 2) ロータリーポンプ ● ドライポンプ ※オプション ・最大ガス導入量: 1) Max.50sccm(Ar) 2) Max.10sccm(O2) 3) Max.10scc...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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初期導入コストを抑え、拡張で高性能化が可能!研究ステージに合せてグレー…
『FDS/FRSシリーズ』は、必要な機能を備えた研究開発用の 卓上型マグネトロンスパッタ装置です。 基本仕様は、DCスパッタ/シングルカソード/ロータリーポンプで 構成される金属薄膜用スパッタ。 RF化、カソード増設、ターボ分子ポンプ仕様などの 拡張オプションにより、研究ステージに合せて グレードアップしていただくことが可能です。 【特...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社FKDファクトリ
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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用)…
(最大6)、Φ3"(最大4) ・プラズマ電源:RF150W, 300W, DC850W, HiPIMS 5KW ・MFC x 3系統(Ar, O2, N2)反応性スパッタリング ・ターボ分子ポンプ + ドライスクロールポンプ ・メインチャンバー RIEエッチングステージRF300W ・LLチャンバー <30W 低出力制御*ソフトエッチング *独自の"Soft-Etching"技術で基...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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ロードロック方式スパッタリング装置 「SPH-2500-II」
膜厚分布:トレー内 ±1.2%、トレー間 ±1.5%を達成しました。
○DC電源 800V、3.75A (MAX1.5kW) ○トレイサイズ L350mm×H210mm ○基板搬送方式 ラック&ピニオン搬送 ○ストッカー 10トレイ収納 ○排気系 ターボ分子ポンプ 2式/油回転ポンプ 2式 【性能】 ○膜厚分布 トレイ内 ±1.2% トレイ間 ±1.5% ○ターゲット使用効率 44%(最大) ○タクト 3分/サイクル ※1枚目を除く ○到達...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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放電操作が容易!RF電源にオートマッチングを採用したコンパクトな設計
ッチング仕様 ■カソード:φ2インチ/マグネトロンカソード ■適用ターゲット:Au/Ag/Pt/Pd/Ni/Cu/W/Cr/Ti/Ta/Mo/各種酸化物/各種窒化物 ■真空排気系:ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ ■真空計:フルレンジゲージ ■ガス流量調整:アルゴン用MFC 50sccm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社FKDファクトリ
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高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…
570(D) x 600(H)mm ・重量:約70kg ・電源:200VAC 50.60Hz 15A ・チャンバーサイズ:Φ225(内径)x 250mm ・真空系:TMP + RP(ドライポンプ オプション) ・ペルチェ冷却機構...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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大型サンプルの全面コーティングに最適なイオンコーターです。4~8インチ…
【仕様】 ○適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd 〇スパッタ方式:DC/平行平板型 〇排気操作:手動式 〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 100L/min(自動リーク付) 〇寸法(W/D/H):282/450/440mm ...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコータ…
能ターゲット:Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al etc. 〇試料サイズ:φ70mm(Max) 〇排気操作:手動式 〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 100L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型 〇寸法(W/D/H):360/422/265mm...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 フルオートマチック…
仕様】 〇ターゲットサイズ:φ49mm 〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag 〇試料サイズ:φ50mm(Max) 〇排気操作:自動 〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型 〇寸法(W/D/H):225/420/320mm...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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SEM用試料作製に適した全自動イオンコーター
【仕様】 〇ターゲットサイズ:φ49mm 〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd 〇試料サイズ:φ50mm(Max) 〇排気操作:自動 〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付) 〇寸法(W/D/H):225/420/320 ...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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小型設計ながら性能はキープ!高温での基板加熱が可能なスパッタ装置
【仕様】 ■到達真空度:1×10^-4 Pa以下 ■リーク量:1×10^-8 Pa・m3/sec以下(Oリング透過分を除く) ■排気系:TMP+ダイヤフラムポンプ(またはロータリーポンプ) ■真空計 フルレンジ真空計(コールドカソード+ピラニーゲージ) +キャパシタンスゲージ(オプション) ■基板ステージ:2インチ対応ステージ ■基板加熱温度...
メーカー・取り扱い企業: アリオス株式会社
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良好な絶縁膜形成を実現するバイアススパッタリング装置!
低く、良好なステップカバレージ性を備えた 良好な絶縁膜形成ができます。 【特長】 ■低いピンホール密度 ■良好なステップカバレージ性 ■次の電極層に有利な平坦性 ・排気系はドライポンプと磁気浮上型TMPの排気システム ・基板側とターゲット(カソード)に高周波電力を同時に印可 ・ロードロック式の1元スパッタリング装置(容易に基板セット可能) ※詳しくはPDFをダウン...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本シード研究所
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逆スパッタも可能!500Wの高周波電源を1台搭載し、金属・酸化物・絶縁…
【その他の特長】 ■誤作動防止のための安全回路を搭載 ■ターボ分子ポンプによるクリーンな排気により良質な成膜が行える ■冷却水循環装置、小型コンプレッサはオプションで装備可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サンバック 本社
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スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを装備!各試料ホルダーへ…
6420」間、 あるいは、パスカル社製「PLD装置」間で、大気暴露なしに成膜試料を 超高真空下で移載搬送できる移動ロードロックシステムです。 L/L室と接続ポート部は、独立したターボ分子ポンプで排気され、 試料を常に超高真空下に持ちます。また、スパッタ装置用、PLD装置用の 2つの接続ポートを備え、各試料ホルダーへの試料の移載が可能。 無停電電源でバックアップされ、30分以上...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社コメット
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省スペースで大容量!各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能!
】 ■ワーク:最大18L(形状・サイズ・材質等で異なります) ■スパッタカソード:マグネトロン方式 ■スパッタ電源:RFまたはDC ■プロセスガス:Ar、O2、N2、他 ■真空排気:拡散ポンプ+RP ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…
【主仕様】 ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプも可) ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着:最大4源点(Model. TE1~TE4蒸着源) ・有機蒸着:最大4源(Mode...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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スパッタリング装置 多機能スパッタ装置MiniLab-S060A
コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…
容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー *ラージチャンバーオプションMiniLab-070(450 x 450 x 450)有り ・最大基板サイズ:Φ8inch ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプ可) ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着:最大4源(Model. TE1~TE4蒸着源) ・有機蒸着:最大4源(Model....
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
nchシングル式ラックに全てを収納 ◉ 抵抗加熱蒸着源(最大4源)、有機蒸着源(最大4源)、又はΦ2"マグネトロン(最大3基)、基板加熱ステージなどを搭載 ◉ 高精度膜厚制御 ◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ(ドライポンプオプション) ◉ グローブボックス連結仕様(*要仕様協議) ◉ 豊富なオプション:基板加熱/冷却, 回転, 特型基板ホルダ, etc.. *その他のMin...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□
蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…
0ℓ容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー *ラージチャンバーオプションMiniLab-070(450 x 450 x 450) ・最大基板サイズ:Φ8inch ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプも可) ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着:最大4源(Model. TE1~TE4蒸着源) ・有機蒸着:最大4源(Model...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□
グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…
【主仕様】 ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプも可) ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着:最大4源(Model. TE1~TE4蒸着源) ・有機蒸着:最大4源(Model...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□
小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
nchシングル式ラックに全てを収納 ◉ 抵抗加熱蒸着源(最大4源)、有機蒸着源(最大4源)、又はΦ2"マグネトロン(最大3基)、基板加熱ステージなどを搭載 ◉ 高精度膜厚制御 ◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ(ドライポンプオプション) ◉ グローブボックス連結仕様(*要仕様協議) ◉ 豊富なオプション:基板加熱/冷却, 回転, 特型基板ホルダ, etc.. *その他のMin...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用)…
(最大6)、Φ3"(最大4) ・プラズマ電源:RF150W, 300W, DC850W, HiPIMS 5KW ・MFC x 3系統(Ar, O2, N2)反応性スパッタリング ・ターボ分子ポンプ + ドライスクロールポンプ ・メインチャンバー RIEエッチングステージRF300W ・LLチャンバー <30W 低出力制御*ソフトエッチング *独自の"Soft-Etching"技術で基...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…
570(D) x 600(H)mm ・重量:約70kg ・電源:200VAC 50.60Hz 15A ・チャンバーサイズ:Φ225(内径)x 250mm ・真空系:TMP + RP(ドライポンプ オプション)...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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